1、1目的：通過AOI光學(xué)檢查機對外層板蝕刻后板面進行檢驗，為外檢的批量檢查，品質(zhì)鑒定提供工作指引。2適用范圍：外檢課檢驗作業(yè)。3檢驗工具：100X、3X、10X放大鏡、AOI機。4檢驗方法：分為目視與 AOI掃描兩種方式。4.2干膜首件專人、專機掃描機檢測，掃描參數(shù)定義好后須經(jīng)當(dāng)站技術(shù)以上人員同意后才可調(diào)整。檢測要求：量產(chǎn)前首件掃描1PNL過程中每72PNL抽測2PNL掃描1PNL核對1PN樣品與小于72PNL的小量產(chǎn)可按要求檢驗。5不良板分析圖:5.1殘銅、凸出:殘銅凸出殘銅AC D/5凸出BK D/5殘銅L2MIL注：1.缺口小于焊盤的十分之一中心孔到缺口區(qū)需保留 2MILAW W/5線 寬

2、BK W/5LW W注：一條線長2.5MM內(nèi)不允許有兩處缺口或針孔不合格品：內(nèi)外層蝕刻板經(jīng)檢驗有不良缺陷已超出檢驗范圍即判定為不合格,表示缺口 /針孔，。表示短路/殘銅表示固定的缺陷。且將不良缺陷在板面用表示開路,6判定標(biāo)準(zhǔn)：詳見下表。外層組檢驗標(biāo)準(zhǔn):實物圖片缺陷圖片解說明使用工具作業(yè)方法異常處理（圖1）斷線（膜碎）.單元內(nèi)任何形式的開路均不允 許（圖1）.不影響設(shè)計線寬的20%,任何方 向的長度要w 5mil（圖2）.線路減少不得大于原設(shè)計線寬的-20%（圖 3）5. a.任何臟點不允許造成短路。b.臟點造成殘銅，面積不可超過5mm2圖 4）（圖2）缺口 （ 圖3）線細10倍鏡6.脫膜不允許

3、影響設(shè)計線寬的土20%（圖 5）50倍鏡AOI機9.干膜板刮傷造成短路不允許。VRS機（圖8）.殘銅面積不允許超過 5mm減造成 線路橋接和銅面粗糙（圖6）.任何因蝕刻不凈造成短路都不允許（圖7）（圖4）臟點 （ 圖5）脫膜.殘銅面積不允許超過 5mm減造 成短路不允許。（圖19）.成型區(qū)內(nèi)無底銅刮傷造成斷線 等問題不允許。（圖10）.人為刮撞傷造成線路彎曲或斷 線不允許。（圖11）（圖6）銅渣 （圖7）蝕刻不凈實物 圖片缺陷圖片解說明使用 工具作業(yè)方法異常 處理.孔偏破邊不超過焊盤的1/4 ,且不允許造成斷脖子。.滿足最小線距要求,不影響原線 寬的20%喻:/，神in（圖8）干膜板刮傷(圖9

4、）后底銅刮傷15a任何金手指、焊盤不允許有缺 損現(xiàn)象。b.銅面缺損不允許超過 5mrri_ Illi1缺 陷1VU-LI1QIII1修刀10倍 鏡50倍 鏡三、說明：.在前制程中造成的不良問題（如 短路、殘銅、凸出等）,在客戶允 許的修補的范圍內(nèi)進行修補，使 產(chǎn)品在完全良好的狀態(tài)卜流入下 制程。.修補短路時用刀片隨著線路邊緣 的兩邊切開，再用刀片刮開，修 補時所造成的線路凸出或缺口不 得影響原線寬的土 20%,如客戶有 特殊要求時，即按照客戶的標(biāo)準(zhǔn) 執(zhí)行。.補線標(biāo)準(zhǔn)：汽車板不允許補線；重工（圖10）無底銅刮傷(圖11）舌I撞傷說 明泡eAOI機VRS機報 廢F,攵（圖12）孔偏（4.以下問題需拿到光臺強光下進行 修理：連線短路超