中國(guó)半導(dǎo)體真空泵行業(yè)市場(chǎng)及競(jìng)爭(zhēng)格局分析

真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備.通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置.在光伏鋰電半導(dǎo)體面板等要求較高的領(lǐng)域,生產(chǎn)商往往需要一個(gè)極其潔凈的環(huán)境以保證生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)品不受空氣污染或擾動(dòng)的影響.比如在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過(guò)程中,每一半導(dǎo)體器件都包含著許多層各種各樣的材料,如果在這些不同的材料層之間混入氣體分子,就會(huì)破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能；或者在半導(dǎo)體器件的加工過(guò)程中,需要用電子束、離子束和分子束等粒子對(duì)材料進(jìn)行照射和轟擊,在大氣中氣體分子就會(huì)和這些粒子發(fā)生碰撞,大大縮短它們的行進(jìn)路程,結(jié)果導(dǎo)致絕大多數(shù)粒子到達(dá)不了材料表面.因此,真空泵是光伏鋰電半導(dǎo)體面板等領(lǐng)域中必備的通用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程,更高的真空要求對(duì)真空設(shè)備提出了更高的技術(shù)要求.

干式螺桿真空泵是微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備.真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到應(yīng)用場(chǎng)合的影響,一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿足清潔無(wú)油的耐腐蝕的要求,螺桿真空泵是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔組件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn)占據(jù)市場(chǎng).介于其優(yōu)越的性能,在歐美日國(guó)家已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備.

半導(dǎo)體真空泵是半導(dǎo)體各工藝制程環(huán)節(jié)必備的通用設(shè)備.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要分為IC設(shè)計(jì)、晶圓制造和芯片封測(cè)三大環(huán)節(jié).一般來(lái)說(shuō)晶圓制造可以細(xì)分為前道和后道兩個(gè)工藝步驟.前道工藝是將硅材料加工制造成晶圓片,通過(guò)光刻機(jī)曝光等多道工序?qū)C設(shè)計(jì)圖案加載到晶圓上,制成集成電路；后道工藝是將載有集成電路的晶圓分割成基本單元,通過(guò)封裝、測(cè)試后制成最終的集成電路產(chǎn)品,半導(dǎo)體真空泵可廣泛應(yīng)用于晶圓制造過(guò)程中的單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程.

一、半導(dǎo)體真空泵行業(yè)市場(chǎng)空間預(yù)測(cè)

2019年全球半導(dǎo)體投資放緩,預(yù)計(jì)2020年回暖.2019年全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模4110億美金,同比下降12.36%,在全球景氣度下行的背景下,受中國(guó)大陸智能手機(jī)銷量等因素影響,2019年的全球半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)萎縮.半導(dǎo)體投資與行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模高度同步,觀察全球半導(dǎo)體行業(yè)投資規(guī)模,2018/2019年投資規(guī)模774.44/718.15億美元,同比下降0.45%/7.27%,連續(xù)兩年下滑,受益于技術(shù)革新需要以及5G網(wǎng)絡(luò)更新設(shè)備需求,預(yù)計(jì)2020年全球半導(dǎo)體行業(yè)資本支出將回暖至732.40億美金,同比+1.98%.2019年半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模萎縮

預(yù)計(jì)2020年全球半導(dǎo)體投資回暖

預(yù)計(jì)2019-2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)銷售規(guī)模可達(dá)依576/608/668億美元,每年增長(zhǎng)6%-10%.中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售市場(chǎng)受益5G推動(dòng)創(chuàng)歷史新高,預(yù)計(jì)2020~2021增速可達(dá)10%-16%,快于全球平均增速,預(yù)計(jì)2020年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售市場(chǎng)規(guī)模約160億美元.按照真空設(shè)備約占整個(gè)FAB廠半導(dǎo)體投資的3%-4%測(cè)算,2020年全球半導(dǎo)體真空設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)128-170億元,中國(guó)半導(dǎo)體真空設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約34-45億元.考慮到新一代3dNAND/EUV光刻技術(shù)對(duì)真空環(huán)境提出了更高要求,對(duì)真空設(shè)備需求更大,半導(dǎo)體真空設(shè)備在整個(gè)FAB廠的投資占比也有望進(jìn)一步提升.2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模預(yù)計(jì)達(dá)719億

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額近5年CAGR達(dá)30.59%

從晶圓廠產(chǎn)能測(cè)算,全球/中國(guó)大陸/中國(guó)臺(tái)灣真空泵20年市場(chǎng)規(guī)模超150/60/30億元.以12寸晶圓生產(chǎn)線為例,每3.5萬(wàn)片產(chǎn)能需要約2000臺(tái)真空泵.

1）全球真空泵市場(chǎng)規(guī)模近150億元；2019年全球晶圓在運(yùn)產(chǎn)能折合8寸約1956萬(wàn)片/每月（折合12寸約869.63萬(wàn)片/每月）,2019年新增產(chǎn)能折合8寸約66萬(wàn)片/月（折合12寸約29.3萬(wàn)片/月）,假設(shè)存量真空泵按每年更換20%,按單臺(tái)真空泵均價(jià)15萬(wàn)元估算,2019年全球真空泵市場(chǎng)規(guī)模約149億元.

2）中國(guó)大陸真空泵市場(chǎng)規(guī)模2019-21年達(dá)36/65/80億元；2018年中國(guó)大陸/中國(guó)臺(tái)灣晶圓在運(yùn)產(chǎn)能折合8寸約236.1/412.6萬(wàn)片/月（折合12寸約104.9/183.4萬(wàn)片/月）,2019年新增產(chǎn)能折合8寸約39.09萬(wàn)片/月（折合12寸約17.4萬(wàn)片/月）,據(jù)統(tǒng)計(jì)當(dāng)前在建FAB廠產(chǎn)能合計(jì)折合12寸約92.6萬(wàn)片/月,按20/21年分別投產(chǎn)42.6/50萬(wàn)片/月測(cè)算,中國(guó)大陸真空泵市場(chǎng)規(guī)模2019-21年分別為36/65/80億元,年均增速近50%.

3）中國(guó)臺(tái)灣真空泵2018年市場(chǎng)規(guī)模超30億元；2018年中國(guó)臺(tái)灣晶圓在運(yùn)產(chǎn)能折合8寸約412.6萬(wàn)片/每月（折合12寸約183.4萬(wàn)片/每月）,不考慮新增產(chǎn)能中國(guó)臺(tái)灣2018年空泵存量更新的市場(chǎng)規(guī)模也有約31億元.全球晶圓廠2019年在運(yùn)產(chǎn)能2019年排名公司產(chǎn)能（萬(wàn)片/月，折合8英寸）全球市占率1三星293.515.00%2臺(tái)積電250.512.80%3美光184.19.40%4SK海力士174.38.90%5Kioxia140.67.20%全球合計(jì)1956100.00%2019年中國(guó)大陸和中國(guó)臺(tái)灣在運(yùn)產(chǎn)能2019年排名公司產(chǎn)能（萬(wàn)片/月，折合8英寸）全球市占率1中國(guó)臺(tái)灣412.621.80%2韓國(guó)403.321.30%3日本316.816.80%4美國(guó)242.612.80%5中國(guó)大陸236.112.50%全球合計(jì)1889100.00%2020年中國(guó)大陸在建FAB廠情況序號(hào)項(xiàng)目名稱規(guī)劃月產(chǎn)能（萬(wàn)片）規(guī)格工藝1士蘭微廈門(mén)一期412寸MEMS、功率器件2武漢弘芯912寸CIDM3三星西安二期第二階段712寸3DNAND4成都紫光國(guó)芯3012寸3DNAND5芯恩青島512寸/8寸CIDM、光掩模板6泉芯-12寸-7賽萊克斯38寸MEMS8積塔半導(dǎo)體1112寸/8寸IGBT9中芯寧波N24.58寸高壓模擬、射頻前端、特種半導(dǎo)體10士蘭集昕二期3.68寸MOS、IGBT11無(wú)錫海辰108寸DDI、PMIC12富能半導(dǎo)體一期1512寸/8寸MOSFET、IGBT13華微電子28寸MOSFET、IGBT14山東興華38寸/6寸CMOS中國(guó)大陸真空泵市場(chǎng)規(guī)模2019-2021年約36/65/80億元-201920202021大陸12寸晶圓新增產(chǎn)能（萬(wàn)片/月）17.442.650單位產(chǎn)能真空泵數(shù)量（臺(tái)/萬(wàn)片/月）571571571真空泵數(shù)量（臺(tái)）99432434328571真空泵單價(jià)(萬(wàn)元）151515市場(chǎng)空間（億元）153743大陸12寸晶圓存量產(chǎn)能（萬(wàn)片/月）122.3164.9214.9真空泵數(shù)量（臺(tái)/萬(wàn)片/月）571571571爐子更新數(shù)量139771884624560真空泵單價(jià)(萬(wàn)元）151515市場(chǎng)空間（億元）212837半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模（億元）366580

二、半導(dǎo)體真空泵行業(yè)特點(diǎn)

半導(dǎo)體用真空泵對(duì)產(chǎn)品可靠性、定制化、能源效率要求較高.

1.可靠性：半導(dǎo)體用真空泵直接關(guān)系到芯片的性能、良率,對(duì)產(chǎn)品可靠性有較高要求,工作過(guò)程需要不斷保養(yǎng),可靠性高的產(chǎn)品能減少維修次數(shù),降低客戶使用成本.

2.定制化：在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,由于每條生產(chǎn)線工況都不相同,客戶對(duì)解決方案和產(chǎn)品的需求更加定制化.

3.能源效率：在Fab能源消耗中,真空產(chǎn)品占整個(gè)能源消耗的20%,提高能源效率能夠減少客戶的能源消耗.

三、半導(dǎo)體真空泵行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局

半導(dǎo)體真空泵當(dāng)前由國(guó)外廠商主導(dǎo),國(guó)產(chǎn)廠商市占率不到5%.全球半導(dǎo)體用真空泵領(lǐng)域由歐洲、日本企業(yè)主導(dǎo),國(guó)產(chǎn)廠商市占率不到5%.干式真空泵的生產(chǎn)需要較高的精密加工技術(shù),同時(shí)需要對(duì)核心零部件轉(zhuǎn)子/涂層材料性能有足夠的研發(fā)積累.目前全球半導(dǎo)體用真空泵領(lǐng)域三家公司占據(jù)主要市場(chǎng)份額導(dǎo),分別是Edward（愛(ài)德華）、Ebara（荏原制造所）、Kashiyama（樫山工業(yè)株式會(huì)社）.中國(guó)生產(chǎn)干式真空泵的公司主要為漢鐘精機(jī)與沈科儀,目前市場(chǎng)份額相對(duì)較低,市占率不到5%.

1）Edward（愛(ài)德華）：Edward隸屬于AtlasCopco,于2014年被收購(gòu),可提供油潤(rùn)滑螺桿泵、旋片泵、滑閥泵、干爪泵等一站式真空解決方案,在半導(dǎo)體真空泵領(lǐng)域,Edward市場(chǎng)占有率超50%,是絕對(duì)的龍頭,公司在青島設(shè)有工廠,2018年二期投入運(yùn)營(yíng),主要生產(chǎn)半導(dǎo)體用高端真空泵.

2）Ebara（荏原制造所）：公司從事以泵等旋轉(zhuǎn)機(jī)械為中心的開(kāi)發(fā)活動(dòng),成立于1912年.公司經(jīng)營(yíng)三個(gè)部分：流體機(jī)械和系統(tǒng),環(huán)境工程和精密機(jī)械.其流體機(jī)械和系統(tǒng)部門(mén)從事制造