犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１４６０１—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３

電子工業(yè)用氣體氨

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犃犿犿狅狀犻犪

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１４６０１—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３《電子工業(yè)用氣體氨》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３相比主要變化如下：

———修改標準的名稱；

———修改適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內容（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加對氨尾氣處理的要求（見４．３）；

———刪去按ＧＢ５８３１規(guī)定的方法測定氧含量（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．２．１）；

———修改氧、氮、一氧化碳含量的測定（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．２、４．３、４．４，本版的４．４）；

———增加氫、氬含量的測定（見４．４）；

———增加二氧化碳含量的測定（見４．４）；

———修改烴含量的測定（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．５，本版的４．４）；

———修改水含量的測定方法（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．６，本版的４．５）；

———增加金屬離子的測定方法（見４．６）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦放電離子化氣相色譜法測定氨中的氫、氧（氬）、氮、一氧化碳、

二氧化碳和烴（Ｃ１～Ｃ３）含量組分的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標準的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會歸口。

本標準起草單位：大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有

限責任公司、西南化工研究設計院。

本標準主要起草人：孫福楠、劉澤軍、付永成、謝國清、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３。

Ⅰ

書

犌犅／犜１４６０１—２００９

電子工業(yè)用氣體氨

１范圍

本標準規(guī)定了氨的技術要求，試驗方法，檢驗規(guī)則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。

本標準適用于半導體工業(yè)，氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積，也可用于硅或氧化硅的氮化。

分子式：ＮＨ３。

相對分子質量：１７．０３１（按２００５年國際相對原子質量）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０—２００９危險貨物包裝標志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產品采樣安全通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術監(jiān)察規(guī)程

３技術要求

３．１氨電子級產品的質量應符合表１的要求。

表１電子級產品技術指標

項目電子級

－２

氨（ＮＨ３）純度（體積分數）／１０≥９９．９９９５

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數）／１０＜１

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數）／１０＜１

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分數）／１０－６＜１

－６

烴（Ｃ１～Ｃ３）含量（體積分數）／１０＜１

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數）／１０＜３

總雜質含量（體積分數）／１０－６≤５

３．２氨光電子級產品應符合表２的要求，重金屬含量應符合表３的規(guī)定。

表２光電子級產品技術指標

項目光電子級

－２

氨（ＮＨ３）純度（體積分數）／１０≥９９．９９９９４

－６

氧（Ｏ２）（氬）含量（體積分數）／１０＜