標準解讀
GB/T 14604-1993 是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業(yè)用氣體 氧》。這項標準規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氧氣的質(zhì)量要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保電子工業(yè)應(yīng)用中氧氣的純度與質(zhì)量,滿足半導(dǎo)體制造、平板顯示、光纖生產(chǎn)等多個領(lǐng)域的高精度需求。
標準內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了本標準適用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中作為保護氣體、反應(yīng)氣體或工藝環(huán)境氣體使用的氧氣。
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規(guī)范性引用文件:列出了實施本標準時所直接引用或參考的其他相關(guān)標準和文件,這些文件對于理解和執(zhí)行標準的具體要求至關(guān)重要。
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術(shù)語和定義:對標準中涉及的專業(yè)術(shù)語進行了明確界定,幫助讀者準確理解各項要求。
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要求:
- 純度:規(guī)定了氧氣的最低純度要求,通常要求極高純度,以避免雜質(zhì)影響電子元件的性能和壽命。
- 雜質(zhì)含量:詳細列出了各種可能的雜質(zhì)氣體(如氮、氬、二氧化碳等)的最大允許含量,確保氧氣的純凈度。
- 水分含量:嚴格限制氧氣中的水分含量,因為水分可以引起電路腐蝕或其它不良反應(yīng)。
- 顆粒物:規(guī)定了氧氣中固體顆粒物的最大允許濃度,以防止對精密設(shè)備造成污染。
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試驗方法:描述了如何通過化學(xué)分析、氣相色譜分析等方法來測定氧氣的純度和雜質(zhì)含量,確保檢測結(jié)果的準確性和可重復(fù)性。
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檢驗規(guī)則:包括產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、合格判定準則等,確保每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標準要求。
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包裝、標志、運輸和儲存:
- 包裝:規(guī)定了氧氣容器的材質(zhì)、密封性要求,以防止外界污染物滲透。
- 標志:要求在容器上清晰標注產(chǎn)品信息、純度等級、生產(chǎn)日期等,便于識別和追溯。
- 運輸:提供了運輸過程中的安全措施和注意事項,以防止物理損壞或泄漏。
- 儲存:指明了適宜的儲存條件,如溫度、壓力范圍,以維持氣體品質(zhì)不變。
實施意義:
該標準的制定與執(zhí)行,為電子工業(yè)氣體供應(yīng)商和用戶提供了統(tǒng)一的質(zhì)量控制依據(jù),有助于提升電子元器件的生產(chǎn)效率和成品率,保障電子產(chǎn)品的可靠性和使用壽命,促進了電子工業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。
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文檔簡介
UDC661G86中華人民共和國國家標準GB/T14604—93電子工業(yè)用氣體氧Gasesforelectronicindustry-Oxygen1993-08-26發(fā)布1994-07-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
中華人民共和國國家標準CB/T14604-93電子子體氣Gasesforelectronicindustry--0xygen主題內(nèi)容與適用范圍本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氧和散裝液態(tài)氧的技術(shù)要求,檢驗方法,檢驗規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標志、運輸、財存及安全要求。電子工業(yè)用氧主要用于二氧化硅化學(xué)氣相淀積,用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應(yīng)劑,用于等離子體蝕刻和剝離。也可用于光導(dǎo)纖維。分子式:O:相對分子質(zhì)量:31.999(1989年國際相對原子質(zhì)量表)·引用標準GB190危險貨物包裝標志GB3863:工業(yè)用氣態(tài)氧GB4844氨氣GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶GB5832.2氣體中微量水的測定露點法GB6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則GB7144!氣瓶顏色標記GB7445氫氣GB89844氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB8991氣體中微量氫的測定氣相色譜法GB/T14605氧氣中微量氬、氮和氯含量的測定氣相色譜法GB/T14606氣體中總烴的測定火焰離子化檢測法3技術(shù)要求電子工業(yè)用氣體氧的質(zhì)量應(yīng)符合下表的要求超大規(guī)模集成電路級半導(dǎo)體及集成電路級電子級和散裝液態(tài)氧氧純度,10-499.985399.599.5氫含量,10-氫含量,10-"
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