ICS17.040.01N33中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T16594-1996微米級長度的掃描電鏡測量方法MicrongradelenghtmeasurementbySEM1996-11-04發(fā)布1997-04-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

CB/T16594-1996前本標(biāo)準(zhǔn)是一個(gè)測量方法標(biāo)準(zhǔn)，其量值可以湖源到長度基準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)主要用于測量微小顆粒的直徑、薄層厚度、線條寬度、線條距離、線維直徑、刀刃的曲率半徑本標(biāo)準(zhǔn)可與JG550—88掃描電子顯微鏡檢定規(guī)程并列使用。本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：上海市測試技術(shù)研究所、中國船崩總公司725研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張訓(xùn)彪、徐國照、高文華。

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)微米級長度的掃描電鏡測量方法GB/T16594-1996MicrongradelenghtmeasurementbySEM1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測量微米級長度的方法，適用于測量0.5～10m的長度，也適用于電子探針分析儀測量微米級長度。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。在標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)，所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。JJG550-88掃描電子顯微鏡檢定規(guī)程3基本原理這是一種比較測量方法。其基本原理是：先用掃描電鏡獲得待測樣品和微米級標(biāo)尺（以下簡稱標(biāo)尺)的二次電子像，然后用比長儀測量出底片上標(biāo)尺圖像的分度長度（A)和樣品圖像中待測的兩個(gè)特征點(diǎn)之間的長度(B)。樣品中待測的實(shí)際長度(L)按式(1)計(jì)算、········（1）式中一·標(biāo)尺分度的標(biāo)定值4標(biāo)準(zhǔn)器和儀器設(shè)備4.1標(biāo)尺：應(yīng)經(jīng)過法定計(jì)地機(jī)構(gòu)標(biāo)定、4.2掃描電鏡：分辨力優(yōu)于0.01gm.4.3比長儀：量程不小于60mm,誤差不超過士5m:4.4光學(xué)顯微鏡：放大倍數(shù)不小于40倍。5試驗(yàn)方法5.1樣品的準(zhǔn)備5.1.1將待測樣品置于樣品柱上，用光學(xué)顯微鏡觀測，將樣品的工作面調(diào)整到與樣品柱垂直，然后用導(dǎo)電膠將樣品固定、5.1.2若樣品不導(dǎo)電，應(yīng)在樣品表面噴鍍厚度大約為10nm的金5.1.3將樣品柱置于樣品座上，并調(diào)整到標(biāo)準(zhǔn)高度5.1.4按5.1.1～5.1.3方法，將標(biāo)尺于樣品座上。5.1.5用光學(xué)顯微鏡觀測,先將樣品暨于視場中，調(diào)節(jié)光學(xué)顯微鏡，使樣品工作面正焦5.1.6平移樣品座，使標(biāo)尺置