ICS37020

N32.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T27788—2020/ISO167002016

代替:

GB/T27788—2011

微束分析掃描電鏡

圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—

Guidelinesforcalibratingimagemagnification

(ISO16700:2016,IDT)

2020-06-02發(fā)布2021-04-01實(shí)施

國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T27788—2020/ISO167002016

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

圖像放大倍率

4……………3

參考物質(zhì)

5…………………3

校準(zhǔn)過程

6…………………4

圖像放大倍率和標(biāo)尺的準(zhǔn)確度

7…………7

校準(zhǔn)報(bào)告

8…………………7

附錄資料性附錄放大倍率參考物質(zhì)

A()………………9

附錄資料性附錄影響掃描電鏡實(shí)際放大倍率的參數(shù)

B()……………11

附錄資料性附錄放大倍率測(cè)量的不確定度

C()………12

附錄資料性附錄檢測(cè)報(bào)告示例

D()……………………13

參考文獻(xiàn)

……………………16

Ⅰ

GB/T27788—2020/ISO167002016

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)代替微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則與

GB/T27788—2011《》。

相比除編輯性修改外主要技術(shù)變化如下

GB/T27788—2011,:

刪除了

———ISO5725-1;

術(shù)語的翻譯由線距改為間距

———“Pitch”“”“”。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

ISO16700:2016《》。

與本標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對(duì)應(yīng)關(guān)系的我國文件如下

:

標(biāo)準(zhǔn)樣品工作導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)樣品定值的一般原則和統(tǒng)計(jì)方法

———GB/T15000.3—2008(3)

(ISOGuide35:2006,IDT)

標(biāo)準(zhǔn)樣品工作導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)樣品生產(chǎn)者能力的通用要求

———GB/T15000.7—2012(7)(ISOGuide34:

2009,IDT)

本標(biāo)準(zhǔn)做了下列編輯性修改

:

在資料性附錄中增加了一條中國中國計(jì)量科學(xué)研究院以使本標(biāo)準(zhǔn)更

———A“A.2.5(NIMC)”,

具有可操作性

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所中國人民解放

:、、

軍海軍軍醫(yī)大學(xué)

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳振宇周劍雄李香庭楊勇驥

:、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T27788—2011。

Ⅲ

GB/T27788—2020/ISO167002016

:

引言

掃描電鏡廣泛用于對(duì)許多重要材料如半導(dǎo)體金屬聚合物玻璃食品及生物材料等的表面結(jié)構(gòu)的

、、、、

觀察研究本標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用于掃描電鏡圖像放大倍率的校準(zhǔn)描述了在掃描電鏡中使用有證參考物質(zhì)或參

。,

考物質(zhì)進(jìn)行圖像放大倍率校準(zhǔn)的要求

。

Ⅳ

GB/T27788—2020/ISO167002016

:

微束分析掃描電鏡

圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用適當(dāng)?shù)膮⒖嘉镔|(zhì)對(duì)掃描電鏡圖像的放大倍率進(jìn)行校準(zhǔn)的方法

(SEM)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于對(duì)由校準(zhǔn)參考物質(zhì)上間距大小的可用范圍決定的放大倍率進(jìn)行校準(zhǔn)

。

本標(biāo)準(zhǔn)不適用于專用測(cè)長型掃描電鏡

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測(cè)和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)樣品常用術(shù)語和定義

ISO30(Referencematerials—Selectedtermsanddefinitions)

導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)樣品生產(chǎn)者能力的通用要求

ISO34(Generalrequirementsforthecompetenceofref-

erencematerialproducers)

導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)樣品定值的一般原則和統(tǒng)計(jì)方法

ISO35(Referencematerials—Generaland

statisticalprinciplesforcertification)

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

31

.

掃描電鏡scanningelectronmicroscope

SEM

通過電子束掃描試樣表面產(chǎn)生放大圖像的一種儀器