ICS29045

H82.

中華人民共和國國家標準

GB/T29849—2013

光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的

電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法

Testmethodformeasuringsurfacemetalliccontaminationofsiliconmaterialsusedfor

photovoltaicapplicationsbyinductivelycoupledplasmamassspectrometry

2013-11-12發(fā)布2014-04-15實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T29849—2013

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心中國電子技術標準化研究院江蘇中能硅

:、、

業(yè)科技發(fā)展有限公司國家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心天津市環(huán)歐半導體材料技術有限

、、

公司

。

本標準主要起草人褚連青王奕徐靜王鑫何秀坤裴會川馮亞彬魯文峰張雪囡

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29849—2013

光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的

電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法

警告使用本標準的人員應有正規(guī)實驗室工作的實踐經(jīng)驗本標準并未指出所有可能的安全問題

:。。

使用者有責任采取適當?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國家有關法規(guī)規(guī)定的條件

,。

1范圍

本標準規(guī)定了利用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測定光伏電池用硅材料表面痕量金屬雜質(zhì)

(ICP-MS)

含量的方法

。

本標準適用于光伏電池用硅材料表面痕量金屬雜質(zhì)鈉鎂鋁鉀鈣鈦鉻鐵鎳銅鋅鉬含量

、、、、、、、、、、、

的測定各元素的測量范圍見表

。1。

表1表面金屬雜質(zhì)含量測量范圍單位為納克每克

元素名稱元素符號測量范圍

鈉-23

Na3×10~2×10

鎂-23

Mg2×10~2×10

鋁-23

Al2×10~2×10

鉀-23

K2×10~2×10

鈣-23

Ca4×10~2×10

鈦-23

Ti1×10~2×10

鉻-23

Cr1×10~2×10

鐵-23

Fe4×10~2×10

鎳-23

Ni1×10~2×10

銅-23

Cu3×10~2×10

鋅-23

Zn2×10~2×10

鉬-23

Mo1×10~2×10

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.1—20101:

3方法提要