場發(fā)射掃描式顯微鏡－JEOLJSM-6700F－（FE-SEM）目錄１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程JEOLJSM-6700FJEOLJSM-6700F１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程目錄１．什么是FE-SEM？JEOLJSM-6700FFE-SEM

FieldEmission–ScanningElectronMicroscope（場放射掃描式電子顯微鏡）何為場放射（FE）？

是指SEM電子槍（電子線發(fā)生源）的種類。

在陰極施以高電壓，使其產(chǎn)生電子光束，加速下方位置的第一陽極，將電子光束聚集于再下方的第二陽極，使光束照射在觀察試料上。JEOLJSM-6700F目錄１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程２．什么場合下使用JEOLJSM-6700F?薄膜表面觀察（細(xì)微的凹凸?fàn)顩r，成長狀態(tài)）?薄膜斷面觀察（圖形邊緣形狀，粒成長狀態(tài)）?異物及缺陷部位的構(gòu)造觀察?組成分布觀察?其他分散型形狀的觀察等

受電子光束照射易變形的，會(huì)放出氣流的，及有流動(dòng)性的試料如在觀察前不做特別處理是無法觀察的。另外鐵等磁性體塊狀物體會(huì)吸住物鏡，造成鏡頭破損，所以觀察比較困難。JEOLJSM-6700F目錄１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程３．得到怎樣的圖像？JEOLJSM-6700F＜與光學(xué)顯微鏡的不同＞

■灰階圖像（白黒的圖像）

■凹凸、或各種組成的對比

■高倍率觀察，極小的區(qū)域也能清晰可見

■可傾斜，可立體觀察

JEOLJSM-6700F目錄１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程４．圖像信號(hào)的種類JEOLJSM-6700F■SEISecondaryElectronImage（二次電子圖像）■LEILowerElectronImage（下方電子信號(hào)圖像）

■BEIBackscatteredElectronImage（反射電子圖像）

反射電子圖像為COMPO（組成圖像）與TOPO（凹凸圖像）可按需進(jìn)行MODE轉(zhuǎn)換。

4-1．二次電子圖像（SEI）JEOLJSM-6700F二次電子圖像

根據(jù)照射電子束的不同，將樣品表面顯現(xiàn)出來的電子信號(hào)化之后形成圖像，轉(zhuǎn)換為二次電子圖像，便能清晰看到樣品表面的凹凸情況。SP-ITO（×50,000）4-2．下方電子信號(hào)圖像（LEI）JEOLJSM-6700F下方電子信號(hào)圖像

W.D.8mm以上時(shí)使用。同時(shí)檢出二次電子、反射電子。適用于觀察易帶電的樣品。AFM的硅制懸式探針前端

4-3．反射電子圖像（COMPO/TOPO）JEOLJSM-6700F反射電子組成圖像（COMPO）

觀察區(qū)域的組成的差異形成對比性的圖像。原子番號(hào)越大，形成的圖像則越清晰明亮。反射電子凹凸圖像（TOPO）

可以通過轉(zhuǎn)化二次電子圖像獲取觀察樣品的凹凸圖像，但解析度較差。異物的LEI（上）／COMPO像（下）JEOLJSM-6700F目錄１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程５．試料傾斜JEOLJSM-6700F將試料傾斜可觀察到從上方無法觀察到的，試料的立體構(gòu)造。將試料傾斜有2個(gè)方法。?使用45°切割的試料臺(tái)?在裝置內(nèi)將試料機(jī)械調(diào)整傾斜45°傾斜JEOLJSM-6700F目錄１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程６．濾光JEOLJSM-6700F當(dāng)觀察電介體（絕緣體）表面時(shí)，SEM的電子光束易停留在樣品表面，產(chǎn)生異常對比。為了防止此類現(xiàn)象，需在表面成以數(shù)10?程度的濾光膜。濾光需要用專用的裝置，施以電阻加熱，或噴濺，將具有導(dǎo)電性能的靶材材質(zhì)成在樣品表面。

濾光靶材?Au（金）?Pt（白金）?C（碳）

JEOLJSM-6700F目錄１．什么是FE-SEM？２．什么場合使用？３．獲得怎樣的圖像？４．圖像信號(hào)4-1二次電子圖像（SEI）4-2下方電子信號(hào)圖像（LEI）4-3反射電子組成圖像（COMPO/TOPO）5．試料傾斜6．濾光7．依賴～提出的流程７．依賴～提出的流程JEOLJSM