ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T980—2014

高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Determinationofimpuritiesofhighpuritygalliumoxide—

Inductivelycoupledplasma-massspectrmetry

2014-10-14發(fā)布2015-04-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T980—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位峨嵋半導體材料研究所南京中鍺科技股份有限公司廣東先導稀材股份有限

:、、

公司

。

本標準主要起草人劉愛華孫平種娜鄭孝桃楊海燕朱贊芳陳劼劉心君

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T980—2014

高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測定

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

1范圍

本標準規(guī)定了高純?nèi)趸壷须s質(zhì)元素含量的測定方法

。

本標準適用于高純?nèi)趸壷锈c鎂鈣鈦釩鉻錳鐵鎳鈷銅鋅錫鉛銦含量的測定

、、、、、、、、、、、、、、。

各元素測定范圍為-6-5

(1×10)%~(4×10)%。

2方法提要

試料經(jīng)混酸溶解制備成待測溶液后用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀進行測定獲得待測元

,(ICP-MS),

素質(zhì)量數(shù)信號以雜質(zhì)元素質(zhì)量數(shù)的信號強度為縱坐標雜質(zhì)元素濃度為橫坐標繪制標準加入法工作

。,

曲線進而計算所測樣品中待測元素的質(zhì)量分數(shù)推薦采用附錄所列測量元素的同位素質(zhì)量數(shù)

,。A。

3試劑和材料

除非另有說明在分析中所使用的水均為去離子水電阻率

,,≥18.0MΩ/cm。

31硝酸總雜質(zhì)含量質(zhì)量分數(shù)為

.,≤1ng/mL,70%。

32鹽酸總雜質(zhì)含量質(zhì)量分數(shù)為

.,≤10ng/mL,65%。

33標準貯存溶液

.

331混合標準貯存溶液由含待測元素組成的混合標準溶液規(guī)格濃度

..:(:GSB04-1767—2004),

為

1000μg/mL。

332鈦標準溶液由國家標準物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為硝酸

..(1000g/mL)(:GF5310),2%

溶液μ

。

333釩標準溶液由國家標準物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為硝酸

..(1000g/mL)(:GF5311),2%

溶液μ

。

334錫標準溶液由國家標準物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為

..(1000g/mL)(:GSB04-1753—2004),

鹽酸溶液μ

3%。

34混合標準溶液的配置分別移取的混合標準貯存溶液鈦標準溶液釩標

.:0.01mL(3.3.1)、(3.3.2)、

準溶液錫標準溶液于的容量瓶稀釋至刻度此時混合標準溶液各待測雜質(zhì)元

(3.3.3)、(3.3.4)100mL,,

素的濃度為

0.1μg/mL。

35氬氣純度

.:>99.999%。

4儀器

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀經(jīng)過優(yōu)化儀器工作條件得出儀器工作參數(shù)參見附錄

:,,B。

5分析步驟