PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程1安全警告設(shè)備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危險嚴(yán)禁無關(guān)人員和小孩進入機器黃色區(qū)域機器運行時，嚴(yán)禁拔出微波銅天線，嚴(yán)禁拆設(shè)備任何部件。否則可能帶來微波輻射和高壓電擊等危險未經(jīng)培訓(xùn)和許可嚴(yán)禁操作設(shè)備，不正確操作設(shè)備可能損壞設(shè)備，嚴(yán)禁亂操作計算機2安全與標(biāo)識威脅人身傷亡或健康微波輻射危險微波泄露限制：根據(jù)最新科學(xué)研究和世界許多國家執(zhí)行規(guī)定，距易接近設(shè)備部件5cm處微波泄漏小于5mw/cm2熱的表面3開機開總電源啟動計算機檢查冷卻水檢查氣源啟動“system”程序3.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復(fù)位，如末復(fù)位拉出復(fù)位

向右轉(zhuǎn)動主電源斷路器手柄復(fù)位，然后向左轉(zhuǎn)動手柄，主電源合閘機器上指示燈、溫控儀表點亮可確認總電源已開啟3.3檢查冷卻水冷卻水壓力應(yīng)在4kg/cm2--6kg/cm2范圍內(nèi)先打開冷卻水出水閥，然后打開進水閥

檢查、調(diào)節(jié)水流量計，ww1--4為10L/min,ww5--6為6L/min，ww7--12為2.5L/min(設(shè)備人員調(diào)節(jié))3.4檢查氣源打開壓縮空氣閥，壓縮空氣為5kg/cm2--7kg/cm2打開氮氣閥，氮氣壓力小于5kg/cm24選擇工藝單、生產(chǎn)開真空泵，預(yù)加熱啟動指定工藝檢查工藝運行情況放置空石墨框進行傳動狀態(tài)測試工藝調(diào)試，生產(chǎn)4.1開真空泵，預(yù)加熱檢查機器無故障顯示后，開真空泵加熱腔和反應(yīng)腔預(yù)加熱當(dāng)反應(yīng)腔真空壓力小于1.0e-2mbar,溫度達到預(yù)設(shè)定的值，方可啟動工藝4.2啟動指定工藝打開墻壁氣箱中特氣閥點擊“control”控制按鈕，“technology”框中選擇規(guī)定的工藝單后，加載“l(fā)oad”,啟動工藝“start”，在“transp-ortation”框啟動傳動4.4傳動狀態(tài)測試在機器裝載口平穩(wěn)放置空石墨框進行傳動狀態(tài)測試4.5進行工藝調(diào)試，生產(chǎn)放入裝有需加工硅片的石墨框進行工藝調(diào)試，生產(chǎn)在機器口放置、檢查好石墨框后按壓黑色準(zhǔn)備好按鈕，機器傳動才執(zhí)行帶上高溫手套，及時從機器出口平穩(wěn)拿出石墨框5停機停止工藝運行關(guān)墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃關(guān)掉真空泵,向機器腔體沖入凈化N2退出控制程序“system”,關(guān)主電源關(guān)上壓縮空氣、氮氣、冷卻水5.2關(guān)墻壁氣箱中特氣閥，特氣管路吹掃關(guān)上位于墻壁氣箱中特氣閥通知經(jīng)過培訓(xùn)的設(shè)備人員進行特氣管路吹掃5.3關(guān)掉真空泵，向腔體沖入N2進入“system”狀態(tài)畫面，點擊“pumps”控制按鈕，彈出下拉菜單等待真空泵凈化N2氣閥關(guān)閉點擊三個真空泵“pumpoff”控制按鈕關(guān)掉真空泵點擊反應(yīng)腔“vent”控制按鈕,向機器腔體沖入凈化N2，等待沖好指示燈點亮5.4退出控制程序，關(guān)主電源進入“service”狀態(tài)畫面，點擊系統(tǒng)中“switchoff”控制按鈕，計算機顯示回到win-nt畫面