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7、半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)a.半導(dǎo)體的能帶:對(duì)半導(dǎo)體來(lái)說(shuō),電子填滿了一些能量較低的能帶,稱(chēng)為滿帶,最上面的滿帶稱(chēng)為價(jià)帶;價(jià)帶上面有一系列空帶,最下面的空帶稱(chēng)為導(dǎo)帶。價(jià)帶和導(dǎo)帶有帶隙,帶隙寬度用Eg表示它代表價(jià)帶頂和導(dǎo)帶底的能量間隙。對(duì)于本征半導(dǎo)體在絕對(duì)零度沒(méi)有激發(fā)的情況下,價(jià)帶被電子填滿,導(dǎo)帶沒(méi)有電子。在一般溫度,由于熱激發(fā),有少量電子從價(jià)帶躍遷到導(dǎo)帶,使導(dǎo)帶有少量電子,而在價(jià)帶留下少量空穴,這種激發(fā)我們稱(chēng)之為本征激發(fā)。半導(dǎo)體的導(dǎo)電就是依靠導(dǎo)帶底的少量電子和價(jià)帶頂?shù)纳倭靠昭?。b.半導(dǎo)體的光吸收光照可以激發(fā)價(jià)帶的電子到導(dǎo)帶,形成電子-空穴對(duì),這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為本征光吸收,本征光吸收光子的能量?ω或其中為光波的波長(zhǎng),上式表明,存在有長(zhǎng)波限稱(chēng)為本征吸收邊,在本征吸收邊附近的光躍遷有兩種類(lèi)型:(a):第一種類(lèi)型對(duì)應(yīng)于導(dǎo)帶底和價(jià)帶頂在k空間相同點(diǎn)的情況,如圖(a)所示。電子吸收光子自?xún)r(jià)帶k狀態(tài)躍遷到導(dǎo)帶k’狀態(tài)時(shí)除了滿足能量守恒以外,還必須符合準(zhǔn)動(dòng)量守恒的選擇定則,即具有這種帶隙結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體稱(chēng)為直接帶隙半導(dǎo)體但是聲子能量是較小的,數(shù)量級(jí)為百分之幾電子伏以下,因此近似的有電子能量差=光子能量而準(zhǔn)動(dòng)量守恒的躍遷選擇定則為其中?q為聲子的準(zhǔn)動(dòng)量,它與能帶中電子的準(zhǔn)動(dòng)量相仿,略去光子動(dòng)量,有結(jié)論:(1)在非豎直躍遷中,光子主要提供躍遷所需要的能量,而聲子則主要提供躍遷所需要的準(zhǔn)動(dòng)量(2)與豎直躍遷相比,非豎直躍遷是一個(gè)二級(jí)過(guò)程,發(fā)生的幾率要小得多(2)由于與光吸收情況相同的原因,在直接帶隙半導(dǎo)體中這種發(fā)光的幾率遠(yuǎn)大于間接帶隙半導(dǎo)體.c.電子-空穴復(fù)合發(fā)光:考慮一個(gè)與半導(dǎo)體的光吸收相反的過(guò)程,導(dǎo)帶中的電子可以躍遷到價(jià)帶空能級(jí)而發(fā)射光子,這稱(chēng)為電子-空穴復(fù)合發(fā)光。復(fù)合發(fā)光的特點(diǎn):(1)一般情況下電子集中在導(dǎo)帶底,空穴集中在價(jià)帶頂,發(fā)射光子的能量基本上等于帶隙寬度.制作復(fù)合發(fā)光的發(fā)光器件(一般要用直接帶隙半導(dǎo)體。發(fā)光的顏色取決于半導(dǎo)體的帶隙寬度).應(yīng)用:
在實(shí)際的半導(dǎo)體材料中,總是不可避免地存在有雜質(zhì)和各種類(lèi)型的缺陷.特別是在半導(dǎo)體的研究和應(yīng)用中,常常有意識(shí)的加入適當(dāng)?shù)碾s質(zhì).這些雜質(zhì)和缺陷產(chǎn)生的附加勢(shì)場(chǎng),有可能使電子和空穴束縛在雜質(zhì)和缺陷的周?chē)?產(chǎn)生局域化的電子態(tài),在禁帶中引入相應(yīng)的雜質(zhì)和缺陷能級(jí).三、雜質(zhì)和缺陷能級(jí)BA
n型半導(dǎo)體在n型半導(dǎo)體中
電子……多數(shù)載流子空帶滿帶施主能級(jí)EDEgSiSiSiSiSiSiSiP空穴……少數(shù)載流子p型半導(dǎo)體四價(jià)的本征半導(dǎo)體Si、Ge等,摻入少量三價(jià)的雜質(zhì)元素(如B、Ga、In等)形成空穴型半導(dǎo)體,稱(chēng)p型半導(dǎo)體。量子力學(xué)表明,這種摻雜后多余的空穴的能級(jí)在禁帶中緊靠滿帶處,ED~10-2eV,極易產(chǎn)生空穴導(dǎo)電??諑a滿帶受主能級(jí)
P型半導(dǎo)體SiSiSiSiSiSiSi+BEg在p型半導(dǎo)體中空穴……多數(shù)載流子電子……少數(shù)載流子費(fèi)米分布函數(shù)電子遵循費(fèi)米-狄拉克(Fermi-Dirac)統(tǒng)計(jì)分布規(guī)律。能量為E的一個(gè)獨(dú)立的電子態(tài)被一個(gè)電子占據(jù)的幾率為
2、費(fèi)米能級(jí)和載流子統(tǒng)計(jì)分布費(fèi)米能級(jí)EF的意義EF
波爾茲曼(Boltzmann)分布函數(shù)
當(dāng)E-EF》k0T時(shí),本征載流子的產(chǎn)生:導(dǎo)帶中的電子濃度和價(jià)帶中的空穴濃度
單位體積的電子數(shù)n0和空穴數(shù)p0:則3.本征半導(dǎo)體的載流子濃度本征半導(dǎo)體:對(duì)于純凈的半導(dǎo)體,半導(dǎo)體中費(fèi)米能級(jí)的位置和載流子的濃度只是材料自身的本征性質(zhì)所決定的,我們稱(chēng)為本征半導(dǎo)體.順便談一下,在有外界雜質(zhì)存在的情況下,費(fèi)米能級(jí)的位置和載流子的濃度以及它們隨溫度的變化情況將與外界雜質(zhì)有關(guān).本征激發(fā):在本征半導(dǎo)體中,載流子的產(chǎn)生只是通過(guò)價(jià)帶的電子激發(fā)到導(dǎo)帶而產(chǎn)生的,這種激發(fā)的過(guò)程叫本征激發(fā).在熱平衡態(tài)下,半導(dǎo)體是電中性的:
n0=p0(1)
本征半導(dǎo)體的載流子濃度:一般溫度下,Si、Ge、GaAs等本征半導(dǎo)體的EF近似在禁帶中央Ei,只有溫度較高時(shí),EF才會(huì)偏離Ei。
將本征費(fèi)米能級(jí)的公式代入(2)(3)式即得到:1.本征載流子的濃度只與半導(dǎo)體本身的能帶結(jié)構(gòu)和所處的溫度有關(guān).結(jié)論:A、溫度一定時(shí),Eg大的材料,ni小;
B、對(duì)同種材料,
本征載流子的濃度ni隨溫度T按指數(shù)關(guān)系上
升。
2.一定溫度下,非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體的熱平衡載流子濃度乘積等于本征載流子濃度的平方,與所含雜質(zhì)無(wú)關(guān)即:()6npn2i00???=幾點(diǎn)說(shuō)明:1.絕對(duì)純凈的物質(zhì)是沒(méi)有的,只要是半導(dǎo)體的載流子主要來(lái)自于本征激發(fā),我們便可認(rèn)為其是本征半導(dǎo)體.通常用幾個(gè)9來(lái)表示半導(dǎo)體的純度.2.用本征材料制作的器件極不穩(wěn)定,常用雜質(zhì)半導(dǎo)體。當(dāng)在雜質(zhì)飽和電離的載流子的濃度遠(yuǎn)大于本征激發(fā)的載流子的濃度的溫度下,半導(dǎo)體器件可以正常工作。3.由于本征載流子的濃度隨溫度T的升高而迅速增加,當(dāng)本征載流子的濃度接近雜質(zhì)飽和電離的載流子的濃度時(shí),半導(dǎo)體器件便不能工作,因此每一種半導(dǎo)體材料器件有一定的極限工作溫度,其隨Eg增大而增加.4.半導(dǎo)體材料器件有一定的極限工作溫度還與攙雜雜質(zhì)的濃度有關(guān),濃度越大極限溫度越高.4.載流子的漂移運(yùn)動(dòng)和遷移率
漂移運(yùn)動(dòng)和漂移速度有外加電壓時(shí),導(dǎo)體內(nèi)部的自由電子受到電場(chǎng)力的作用,沿著電場(chǎng)的反方向作定向運(yùn)動(dòng)形成電流。電子在電場(chǎng)力作用下的定向運(yùn)動(dòng)稱(chēng)為漂移運(yùn)動(dòng),定向運(yùn)動(dòng)的速度稱(chēng)為漂移速度。歐姆定律
金屬:—電子半導(dǎo)體:—電子、空穴在嚴(yán)格周期性勢(shì)場(chǎng)(理想)中運(yùn)動(dòng)的載流子在電場(chǎng)力的作用下將獲得加速度,其漂移速度應(yīng)越來(lái)越大。結(jié)論:sE=J遷移率假設(shè)討論的是n型半導(dǎo)體,電子濃度為n0,在外電場(chǎng)下通過(guò)半導(dǎo)體的電流密度
同理,對(duì)p型半導(dǎo)體遷移率的意義:表征了在單位電場(chǎng)下載流子的平均漂移速度。它是表示半導(dǎo)體電遷移能力的重要參數(shù)。在實(shí)際半導(dǎo)體中,σ=nqμ+pqμ.n型半導(dǎo)體,n>>p,σ=nqμ;p型半導(dǎo)體,p>>n,,σ=pqμ;本征型半導(dǎo)體,n=p=n,σ=nq(μ+μ)5.載流子的散射我們上面提到:在嚴(yán)格周期性勢(shì)場(chǎng)(理想)中運(yùn)動(dòng)的載流子在電場(chǎng)力的作用下將獲得加速度,其漂移速度應(yīng)越來(lái)越大。實(shí)際中,存在很多破壞周期性勢(shì)場(chǎng)的作用因素:如:*雜質(zhì)*缺陷*晶格熱振動(dòng)散射:晶體中的雜質(zhì)、缺陷以及晶格熱振動(dòng)的影響,通常使實(shí)際的晶格勢(shì)場(chǎng)偏離理想的周期勢(shì)場(chǎng),這相當(dāng)于嚴(yán)格的周期勢(shì)場(chǎng)上疊加了附加勢(shì)場(chǎng),這個(gè)附加勢(shì)場(chǎng)作用于載流子,將改變載流子的運(yùn)動(dòng)狀態(tài),這種情景我們稱(chēng)之為載流子的散射。1)散射情形下,載流子的運(yùn)動(dòng)分析:自由程l:相鄰兩次散射之間自由運(yùn)動(dòng)的路程。平均自由程:連續(xù)兩次散射間自由運(yùn)動(dòng)的平均路程。
散射幾率P:?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)一個(gè)載流子被散射的次數(shù)。電離雜質(zhì)散射:即庫(kù)侖散射2)、半導(dǎo)體的主要散射機(jī)構(gòu)V’V’電離雜質(zhì)散射示意圖vv電離施主散射電離受主散射晶格振動(dòng)散射有N個(gè)原胞的晶體有N個(gè)格波波矢q
一個(gè)q=3支光學(xué)波(高頻)+3支聲學(xué)波(低頻)
振動(dòng)方式:3個(gè)光學(xué)波=1個(gè)縱波+2個(gè)橫波
3個(gè)聲學(xué)波=1個(gè)縱波+2個(gè)橫波格波的能量效應(yīng)以hνa為單元-----聲子特點(diǎn):各向同性。
a、聲學(xué)波散射:Ps∝T3/2
b、光學(xué)波散射:Po∝[exp(hv/k0T)]-1格波散射幾率Pc
當(dāng)長(zhǎng)聲學(xué)波和長(zhǎng)光學(xué)波散射作用同時(shí)存在時(shí),晶格振動(dòng)對(duì)載流子的總散射概率應(yīng)為以上兩種散射之和.說(shuō)明:在共價(jià)結(jié)合的元素半導(dǎo)體中,長(zhǎng)聲學(xué)波散射作用是主要的,在極性半導(dǎo)體中長(zhǎng)光學(xué)波散射是主要的.聲學(xué)波的散射幾率Ps縱光學(xué)波的散射幾率Po:
二、半導(dǎo)體材料的電阻率與溫度和雜質(zhì)濃度的關(guān)系
電阻率的一般公式:
(1)本征半導(dǎo)體
2.電阻率隨溫度的變化Tρ載流子來(lái)源于本征激發(fā),溫度越高,本征激發(fā)越厲害,載流子越多,導(dǎo)電性就越強(qiáng).雜質(zhì)離化區(qū)過(guò)渡區(qū)高溫本征激發(fā)區(qū)(2)雜質(zhì)半導(dǎo)體●雜質(zhì)離化區(qū)
no≈n+D
;T↑,nD+↑,μ↑,ρ↓no
TμTρT載流子由雜質(zhì)電離提供,溫度越高,載流子越多.散射主要是電離雜質(zhì)散射,遷移率隨溫度的升高而升高.
●
飽和區(qū)
no≈ND,
T↑,μ↓,ρ↑no
TND
μTρT雜質(zhì)基本全部電離,本征激發(fā)可以忽略,載流子濃度基本不發(fā)生變化晶格振動(dòng)散射為主要散射機(jī)構(gòu)
●本征區(qū)
T↑,ni↑,μ↓,ρ↓
本征激發(fā)為主要矛盾,溫度升高,載流子濃度迅速增加,導(dǎo)電能力增強(qiáng).總結(jié):1.對(duì)于本征半導(dǎo)體或攙雜濃度較低的半導(dǎo)體,A.隨著溫度的升高,載流子的濃度迅速增加B.晶格振動(dòng)散射為主要散射機(jī)構(gòu),隨著溫度的升高,晶格振動(dòng)加劇,遷移率降低.比較而言,載流子的濃度增加為主要矛盾,所以對(duì)于本征半導(dǎo)體或攙雜濃度較低的半導(dǎo)體而言,溫度越高導(dǎo)電能力越強(qiáng).2.對(duì)于攙雜濃度較高的半導(dǎo)體,低溫電離區(qū)載流子主要由雜質(zhì)電離提供,隨溫度的升高載流子增多,導(dǎo)電能力增強(qiáng).雜質(zhì)電離散射為主要散射機(jī)構(gòu),隨溫度升高遷移率增大,導(dǎo)電能力增強(qiáng).總之,處于低溫電離區(qū)的高攙雜半導(dǎo)體隨溫度升高導(dǎo)電能力增強(qiáng).載流子濃度基本不發(fā)生變化晶格振動(dòng)散射為主要散射機(jī)構(gòu),隨溫度升高遷移率減小,導(dǎo)電能力減弱.飽和區(qū)總之,處于飽和區(qū)的高攙雜半導(dǎo)體隨溫度升高導(dǎo)電能力減弱.本征區(qū)情況與本征半導(dǎo)體類(lèi)似.1、擴(kuò)散定律由于濃度不均勻而導(dǎo)致載流子(電子或空穴)從高濃度處向低濃度處逐漸運(yùn)動(dòng)的過(guò)程擴(kuò)散§5.6載流子的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)
非平衡載流子的擴(kuò)散光照x
A
B
0
x
x+Δx
非子從一端沿整個(gè)表面均勻產(chǎn)生,且只在x方向形成濃度梯度,非子是沿x方向運(yùn)動(dòng)。
1.非子的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)和一維穩(wěn)態(tài)時(shí)的擴(kuò)散方程擴(kuò)散流密度Sp(x):?jiǎn)挝粫r(shí)間通過(guò)擴(kuò)散流過(guò)垂直的單位面積的載流子
Dp為擴(kuò)散系數(shù),量綱為cm2/s在穩(wěn)態(tài)時(shí):情況1:樣品足夠厚時(shí)情況2.樣品厚度為W。
3、電子的擴(kuò)散定律與穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散方程4、擴(kuò)散電流密度與漂移電流密度
相應(yīng)的穩(wěn)態(tài)擴(kuò)散方程穩(wěn)態(tài)時(shí),體內(nèi)為電中性:Jn=0
即5、非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體的愛(ài)因斯坦關(guān)系:由于電子濃度分布不均勻,擴(kuò)散的電子與電離施主在體內(nèi)形成內(nèi)建電場(chǎng)E內(nèi)建,該電場(chǎng)又進(jìn)一步阻擋電子的擴(kuò)散。證明:考慮一塊n型半導(dǎo)體,施主濃度隨x的增加而下降,對(duì)于非簡(jiǎn)并半導(dǎo)體:1、阻擋層與反阻擋層的形成2、肖特基勢(shì)壘的定量特性3、歐姆接觸的特性
半導(dǎo)體界面及接觸現(xiàn)象
半—半接觸PN結(jié)金—半接觸§6.1P-N結(jié)一.P-N結(jié)的形成在一塊n型半導(dǎo)體基片的一側(cè)摻入較高濃度的受主雜質(zhì),由于雜質(zhì)的補(bǔ)償作用,該區(qū)就成為p型半導(dǎo)體。由于N區(qū)的電子向P區(qū)擴(kuò)散,P區(qū)的空穴向N區(qū)擴(kuò)散,在p型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體的交界面附近產(chǎn)生了一個(gè)電場(chǎng),稱(chēng)為內(nèi)建場(chǎng)。P型半導(dǎo)體------------------------N型半導(dǎo)體++++++++++++++++++++++++擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)內(nèi)電場(chǎng)E漂移運(yùn)動(dòng)擴(kuò)散的結(jié)果是使空間電荷區(qū)逐漸加寬,空間電荷區(qū)越寬。內(nèi)電場(chǎng)越強(qiáng),就使漂移運(yùn)動(dòng)越強(qiáng),而漂移使空間電荷區(qū)變薄。空間電荷區(qū),也稱(chēng)耗盡層。漂移運(yùn)動(dòng)P型半導(dǎo)體------------------------N型半導(dǎo)體++++++++++++++++++++++++擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)內(nèi)電場(chǎng)E所以擴(kuò)散和漂移這一對(duì)相反的運(yùn)動(dòng)最終達(dá)到平衡,相當(dāng)于兩個(gè)區(qū)之間沒(méi)有電荷運(yùn)動(dòng),空間電荷區(qū)的厚度固定不變。------------------------++++++++++++++++++++++++空間電荷區(qū)N型區(qū)P型區(qū)電位VV0考慮到P-N結(jié)的存在,半導(dǎo)體中電子的能量應(yīng)考慮進(jìn)這內(nèi)建場(chǎng)帶來(lái)的電子附加勢(shì)能。
電子的能帶出現(xiàn)彎曲現(xiàn)象。P型半導(dǎo)體能帶n型半導(dǎo)體能帶導(dǎo)帶導(dǎo)帶P-N結(jié)價(jià)帶價(jià)帶二.P-N結(jié)的單向?qū)щ娦裕?
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