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場(chǎng)效應(yīng)晶體管有二種結(jié)構(gòu)形式:
1.絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)晶體管又分增強(qiáng)型和耗盡型二類
2.結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管----只有耗盡型場(chǎng)效應(yīng)晶體管在集成電路中被廣泛使用,絕緣柵場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)分為增強(qiáng)型和耗盡型兩大類,每類中又有N溝道和P溝道之分。不象雙極型晶體管只有NPN和PNP兩類,場(chǎng)效應(yīng)晶體管的種類要多一些。但是它們的工作原理基本相同,所以下面以增強(qiáng)型N溝道場(chǎng)效應(yīng)晶體管為例來(lái)加以說(shuō)明。4.1MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)、工作原理場(chǎng)效應(yīng)晶體管有二種結(jié)構(gòu)形式:4.1MO1
N溝道增強(qiáng)型MOSFET的結(jié)構(gòu)示意圖和符號(hào)見(jiàn)圖
4.1。其中:
D(Drain)為漏極,相當(dāng)c;
G(Gate)為柵極,相當(dāng)b;
S(Source)為源極,相當(dāng)e。
圖4.1
N溝道增強(qiáng)型
MOSFET結(jié)構(gòu)示意圖(動(dòng)畫(huà))
絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)三極管MOSFET(MetalOxide
SemiconductorFET)。分為
增強(qiáng)型
N溝道、P溝道
耗盡型
N溝道、P溝道
2
1N溝道增強(qiáng)型MOSFET的結(jié)構(gòu)取一塊P型半導(dǎo)體作為襯底,用B表示。用氧化工藝生成一層SiO2
薄膜絕緣層。然后用光刻工藝腐蝕出兩個(gè)孔。擴(kuò)散兩個(gè)高摻雜的N型區(qū)。從而形成兩個(gè)PN結(jié)。(綠色部分)從N型區(qū)引出電極,一個(gè)是漏極D,一個(gè)是源極S。在源極和漏極之間的絕緣層上鍍一層金屬鋁作為柵極G。
N溝道增強(qiáng)型MOSFET的符號(hào)如左圖所示。左面的一個(gè)襯底在內(nèi)部與源極相連,右面的一個(gè)沒(méi)有連接,使用時(shí)需要在外部連接。動(dòng)畫(huà)2-31N溝道增強(qiáng)型MOSFET的結(jié)構(gòu)3
2N溝道增強(qiáng)型MOSFET的工作原理對(duì)N溝道增強(qiáng)型MOS場(chǎng)效應(yīng)三極管的工作原理,分兩個(gè)方面進(jìn)行討論,一是柵源電壓UGS對(duì)溝道會(huì)產(chǎn)生影響,二是漏源電壓UDS也會(huì)對(duì)溝道產(chǎn)生影響,從而對(duì)輸出電流,即漏極電流ID產(chǎn)生影響。
1.柵源電壓UGS的控制作用先令漏源電壓UDS=0,加入柵源電壓UGS以后并不斷增加。
UGS帶給柵極正電荷,會(huì)將正對(duì)SiO2層的表面下的襯底中的空穴推走,從而形成一層負(fù)離子層,即耗盡層,用綠色的區(qū)域表示。同時(shí)會(huì)在柵極下的表層感生一定的電子電荷,若電子數(shù)量較多,從而在漏源之間可形成導(dǎo)電溝道。溝道中的電子和P型襯底的多子導(dǎo)電性質(zhì)相反,稱為反型層。此時(shí)若加上UDS
,就會(huì)有漏極電流ID產(chǎn)生。反型層
顯然改變UGS就會(huì)改變溝道,從而影響ID
,這說(shuō)明UGS對(duì)ID的控制作用。
當(dāng)UGS較小時(shí),不能形成有效的溝道,盡管加有UDS
,也不能形成ID
。當(dāng)增加UGS,使ID剛剛出現(xiàn)時(shí),對(duì)應(yīng)的UGS稱為開(kāi)啟電壓,用UGS(th)或UT表示。動(dòng)畫(huà)2-42N溝道增強(qiáng)型MOSFET的工作原理對(duì)N4
2.漏源電壓UDS的控制作用設(shè)UGS>UGS(th),增加UDS,此時(shí)溝道的變化如下。顯然漏源電壓會(huì)對(duì)溝道產(chǎn)生影響,因?yàn)樵礃O和襯底相連接,所以加入U(xiǎn)DS后,UDS將沿漏到源逐漸降落在溝道內(nèi),漏極和襯底之間反偏最大,PN結(jié)的寬度最大。所以加入U(xiǎn)DS后,在漏源之間會(huì)形成一個(gè)傾斜的PN結(jié)區(qū),從而影響溝道的導(dǎo)電性。當(dāng)UDS進(jìn)一步增加時(shí),ID會(huì)不斷增加,同時(shí),漏端的耗盡層上移,會(huì)在漏端出現(xiàn)夾斷,這種狀態(tài)稱為預(yù)夾斷。預(yù)夾斷當(dāng)UDS進(jìn)一步增加時(shí),漏端的耗盡層向源極伸展,此時(shí)ID基本不再增加,增加的UDS基本上降落在夾斷區(qū)。動(dòng)畫(huà)2-52.漏源電壓UDS的控制作用設(shè)UGS5
3N溝道增強(qiáng)型MOSFET的特性曲線
N溝道增強(qiáng)型MOSFET的轉(zhuǎn)移特性曲線有兩條,轉(zhuǎn)移特性曲線和漏極輸出特性曲線。1)轉(zhuǎn)移特性曲線
N溝道增強(qiáng)型MOSFET的轉(zhuǎn)移特性曲線如左圖所示,它是說(shuō)明柵源電壓UGS對(duì)漏極電流ID的控制關(guān)系,可用這個(gè)關(guān)系式來(lái)表達(dá),這條特性曲線稱為轉(zhuǎn)移特性曲線。轉(zhuǎn)移特性曲線的斜率gm反映了柵源電壓對(duì)漏極電流的控制作用。gm稱為跨導(dǎo)。這是場(chǎng)效應(yīng)三極管的一個(gè)重要參數(shù)。單位mS(mA/V)3N溝道增強(qiáng)型MOSFET的特性曲線6
2)漏極輸出特性曲線
當(dāng)UGS>UGS(th),且固定為某一值時(shí),反映UDS對(duì)ID的影響,即ID=f(UDS)
UGS=const這一關(guān)系曲線稱為漏極輸出特性曲線。場(chǎng)效應(yīng)三極管作為放大元件使用時(shí),是工作在漏極輸出特性曲線水平段的恒流區(qū),從曲線上可以看出UDS對(duì)ID的影響很小。但是改變UGS可以明顯改變漏極電流ID,這就意味著輸入電壓對(duì)輸出電流的控制作用。曲線分五個(gè)區(qū)域:(1)可變電阻區(qū)(2)恒流區(qū)(放大區(qū))(3)截止區(qū)(4)擊穿區(qū)(5)過(guò)損耗區(qū)可變電阻區(qū)截止區(qū)擊穿區(qū)過(guò)損耗區(qū)2)漏極輸出特性曲線場(chǎng)效應(yīng)三極管作為7
從漏極輸出特性曲線可以得到轉(zhuǎn)移特性曲線,過(guò)程如下:從漏極輸出特性曲線可以得到轉(zhuǎn)移特性曲線,過(guò)程如下:8
4N溝道耗盡型MOSFET
N溝道耗盡型MOSFET的結(jié)構(gòu)和符號(hào)如下圖所示,它是在柵極下方的SiO2絕緣層中摻入了一定量的正離子。所以當(dāng)UGS=0時(shí),這些正離子已經(jīng)感生出電子形成導(dǎo)電溝道。于是,只要有漏源電壓,就有漏極電流存在。當(dāng)UGS=0時(shí),對(duì)應(yīng)的漏極電流用IDSS表示。當(dāng)UGS>0時(shí),將使ID進(jìn)一步增加。UGS<0時(shí),隨著UGS的減小漏極電流逐漸減小,直至ID=0。對(duì)應(yīng)ID=0的UGS稱為夾斷電壓,用符號(hào)UGS(off)表示,有時(shí)也用UP表示。N溝道耗盡型MOSFET的轉(zhuǎn)移特性曲線如右上圖所示。夾斷電壓IDSS4N溝道耗盡型MOSFETN溝道9
P溝道增強(qiáng)型MOSFET的結(jié)構(gòu)和
工作原理
P溝道MOSFET的工作原理與N溝道MOSFET完全相同,只不過(guò)導(dǎo)電的載流子不同,供電電壓極性不同而已。這如同雙極型三極管有NPN型和PNP型一樣。P溝道增強(qiáng)型MOSFET的結(jié)構(gòu)和
工作原理
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