中國泛半導(dǎo)體廢氣治理趨勢分析一、泛半導(dǎo)體廢氣治理產(chǎn)業(yè)概述泛半導(dǎo)體領(lǐng)域主要指集成電路、光伏、面板等半導(dǎo)體主要應(yīng)用領(lǐng)域等，目前泛半導(dǎo)體廢氣治理行業(yè)主要包括集成電路和光電顯示器件等主要領(lǐng)域。1、集成電路集成電路制造的核心工藝流程主要包括：摻雜、光刻、刻蝕和薄膜工藝。主要廢氣包括、酸性、堿性、有機和工藝廢氣，主要存在清洗、氧化、干法腐蝕、離子注入、沉積等步驟中，主要污染物有鹽酸、磷酸、硫酸、硝酸、氨水、丙酮等。集成電路制造的核心工藝流程產(chǎn)生廢氣污染物集成電路制造的核心工藝流程產(chǎn)生廢氣污染物資料來源：《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準（二次征求意見稿）》，產(chǎn)業(yè)研究院整理2、面板光電顯示器件是指依靠矩陣點或線段的電子元件控制并激勵屏幕發(fā)光，呈現(xiàn)信息供視覺感受的器件，主要包含LCD、OLED等。其中，TFT-LCD的生產(chǎn)工藝流程主要包括陣列、彩膜、成盒和模組工序；AMOLED的生產(chǎn)工藝流程主要包括陣列、蒸鍍、切割和模組工序。TFT-LCD和AMOLED主要生產(chǎn)工序產(chǎn)生的廢氣污染物TFT-LCD和AMOLED主要生產(chǎn)工序產(chǎn)生的廢氣污染物資料來源：《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準（二次征求意見稿）》，產(chǎn)業(yè)研究院整理二、泛半導(dǎo)體廢氣治理發(fā)展背景1、需求背景隨著全球TFT-LCD面板產(chǎn)能向中國大陸轉(zhuǎn)移，2020年我國TFT-LCD產(chǎn)能已經(jīng)位居全球第一，中國大陸占據(jù)全球50%的產(chǎn)能。根據(jù)預(yù)測，由于大陸產(chǎn)能轉(zhuǎn)移的持續(xù)進行，預(yù)計我國大陸整體設(shè)備資本開支將有所下降2019-2024年中國大陸面板設(shè)備資本開支走勢2019-2024年中國大陸面板設(shè)備資本開支走勢資料來源：DSCC，產(chǎn)業(yè)研究院整理全球晶圓廠資本開支力度逐年增加，2022年達613億美元；據(jù)Gartner預(yù)測，2022-2025年仍將維持在500億美元以上。從擴產(chǎn)節(jié)奏來看，全球晶圓廠仍處于擴產(chǎn)周期。2019-2024年全球晶圓廠資本開支走勢2019-2024年全球晶圓廠資本開支走勢資料來源：Gartner，產(chǎn)業(yè)研究院整理2、政策背景2015年以來，5G、LoT、汽車智能化電動化、人工智能，終端景氣度接力，驅(qū)動半導(dǎo)體行業(yè)新成長。半導(dǎo)體作為工業(yè)皇冠、高端制造技術(shù)高地，行業(yè)發(fā)展被賦予國家安全、產(chǎn)業(yè)鏈安全等多重意義。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已成為全球發(fā)展競爭焦點，全球各國家地區(qū)持續(xù)出臺相關(guān)政策護航。在此背景下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)景氣度高位發(fā)展。全球主要國家地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展支持政策梳理全球主要國家地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展支持政策梳理資料來源：公開資料，產(chǎn)業(yè)研究院整理三、泛半導(dǎo)體廢氣治理產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀1、泛半導(dǎo)體廢氣治理系統(tǒng)市場空間預(yù)計2023年全球集成電路資本開支1466億美元，假設(shè)2023年中國大陸的集成電路資本開支占全球15.5%，環(huán)保投入一般為總投入5%，根據(jù)《電子工業(yè)污染物排放標(biāo)準》，廢氣治理占環(huán)保投入比例為30%，測算得2023年中國集成電路廢氣治理系統(tǒng)市場空間約23.9億元，面板2023年開支約342億元，市場空間約5.1億元。2023年中國集成電路和面板廢氣治理系統(tǒng)市場空間2023年中國集成電路和面板廢氣治理系統(tǒng)市場空間資料來源：公開資料，產(chǎn)業(yè)研究院整理2、泛半導(dǎo)體廢氣治理設(shè)備市場空間根據(jù)京儀裝備招股書，570千片/月12英寸晶圓產(chǎn)能對應(yīng)半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備需求約5778臺，平均每單萬片產(chǎn)能需要工藝廢氣處理設(shè)備需求100臺，京儀裝備L/S設(shè)備單價為50萬元/臺。結(jié)合晶圓廠擴產(chǎn)判斷，經(jīng)過測算，2023年大陸廢氣治理設(shè)備空間64億元。2020-2023年中國大陸L/S設(shè)備市場空間走勢2020-2023年中國大陸L/S設(shè)備市場空間走勢資料來源：公開資料，產(chǎn)業(yè)研究院整理相關(guān)報告：產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2029年中國泛半導(dǎo)體廢氣治理行業(yè)發(fā)展監(jiān)測及發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃報告》；四、泛半導(dǎo)體廢氣治理競爭格局1、競爭格局我國泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步晚于美國、日韓和中國臺灣地區(qū)，對應(yīng)的工藝廢氣治理業(yè)務(wù)發(fā)展相對滯后。市場目前由國際供應(yīng)商主導(dǎo)，主要以VerantisEnvironmentalSolutionsGroup、天和（上海）半導(dǎo)體制程排氣工業(yè)有限公司、晃誼科技股份有限公司、KankenTechno、華懋科技股份有限公司為代表。國際供應(yīng)商具有先進的技術(shù)和工藝水平，伴隨下游客戶產(chǎn)能轉(zhuǎn)移將業(yè)務(wù)擴展至中國內(nèi)地，在工藝技術(shù)、經(jīng)驗積累、客戶資源、品牌影響力等方面具有先發(fā)優(yōu)勢。國際泛半導(dǎo)體廢氣治理供應(yīng)商基本情況國際泛半導(dǎo)體廢氣治理供應(yīng)商基本情況資料來源：盛劍環(huán)境招股書，產(chǎn)業(yè)研究院整理2、盛劍環(huán)境隨著國內(nèi)泛半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，行業(yè)內(nèi)的設(shè)備國產(chǎn)化程度也在逐漸提高。廢氣治理系統(tǒng)和設(shè)備作為泛半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝不可分割的組成部分，存在大量的國產(chǎn)化需求。盛劍環(huán)境集成電路廢氣治理系統(tǒng)領(lǐng)域市占率達到20%左右，按照處理廢氣種類，分為酸堿廢氣處理系統(tǒng)、有毒廢氣處理系統(tǒng)、VOCs處理系統(tǒng)、一般排氣系統(tǒng)，并可按照廢氣成分進行綜合配置；廢氣治理設(shè)備包括工藝排氣管道、中央廢氣治理設(shè)備和泛半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備，數(shù)據(jù)顯示，2021年盛劍環(huán)境廢氣治理系統(tǒng)和設(shè)備規(guī)模分別為8.37億元和2.91億元。2017-2021年盛劍環(huán)境廢氣治理設(shè)備和系統(tǒng)營收走勢2017-2021年盛劍環(huán)境廢氣治理設(shè)備和系統(tǒng)營收走勢資料來源：企業(yè)公報，產(chǎn)業(yè)研究院整理五、泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)趨勢我國泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)起步晚于美國、日韓和中國臺灣地區(qū)，對應(yīng)的工藝廢氣治理業(yè)務(wù)發(fā)展相對滯后。而國際供應(yīng)商擁有先進的技術(shù)，與下游行業(yè)中的跨國企業(yè)建立了良好合作關(guān)系，隨著下游行業(yè)在中國內(nèi)地的發(fā)展，國際供應(yīng)商隨之將業(yè)務(wù)擴展至中國內(nèi)地。近年隨著下游行業(yè)產(chǎn)業(yè)投資