無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊1范圍本文件規(guī)定了無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本文件適用于無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，藍(lán)寶石襯底等領(lǐng)域，還可應(yīng)用于ITO導(dǎo)電玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、鈹、熔融石英、磷化銦、鈮酸鋰、鉭酸鋰、不銹鋼、鎢、膨脹玻璃拋光。2規(guī)范性引用文件下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T2411-2008塑料和硬橡膠使用硬度計(jì)測(cè)定壓痕硬度（邵氏硬度）GB/T3505-2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語、定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)GB/T6342-1996泡沫塑料與橡膠線性尺寸的測(cè)定GB/T6343-2009泡沫塑料及橡膠表觀密度的測(cè)定GB/T6618-2009硅片厚度和總厚度變化測(cè)試方法GB/T6624-2009硅拋光片表面質(zhì)量目測(cè)檢驗(yàn)方法GB/T24442.1-2009紡織品壓縮性能的測(cè)定第1部分：恒定法GB/T29507-2013硅片平整度、厚度及總厚度變化測(cè)試自動(dòng)非接觸掃描法3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊nonwovens/polyurethanecompositepolishingpad聚氨酯溶液與無紡布基底通過特定的工藝復(fù)合而成。4分類無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊按產(chǎn)品的邵爾C硬度不同分為：PG-6S——產(chǎn)品的硬度為65±50；PG-M——產(chǎn)品的硬度為75±5；PG-H——產(chǎn)品的硬度為85±5。45技術(shù)要求45.1規(guī)格尺寸無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊規(guī)格尺寸常見有Φ360mm、Φ915mm、Φ1120mm、Φ1220mm、Φ1300mm、Φ1450mm，厚度一般為1.2-3mm，也可根據(jù)客戶需求定制相應(yīng)尺寸。54.2外觀無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊外觀為表面平面型或網(wǎng)格型、螺旋線型等開槽的薄墊。45.3物理性能無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊物理性能應(yīng)符合表11的要求。表11物理性能指標(biāo)項(xiàng)目要求PG-6SPG-MPG-H密度，g/cm30.3±0.040.37±0.0450.45±0.058壓縮率，%5±13±0.52±0.5壓縮彈性率，%75±570±570±590硬度，邵爾C65±575±57585±5吸水率，%120±10100±1080±1045.4應(yīng)用性能無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊應(yīng)用性能應(yīng)符合表22的要求。表22應(yīng)用性能指標(biāo)項(xiàng)目要求PG-6SPG-MPG-H去除率，μm/min0.6-0.70.7-0.80.8-0.9平整度，TTV/LTVμm＜2＜2＜2坑點(diǎn)劃傷數(shù)，% ＜2.5＜2.5＜2粗糙度，nm＜0.2＜0.25＜0.356試驗(yàn)方法56.1尺寸按GB/T6342-1996規(guī)定進(jìn)行測(cè)定，。56.2外觀在自然光照下，目視檢查無紡布/聚氨酯復(fù)合拋光墊外觀為表面平面型或網(wǎng)格型、螺旋線型等開槽的薄墊。56.3密度按GB/T6343-2009規(guī)定測(cè)定表觀芯密度，樣品尺寸為300mm×300mm×1.2mm。56.4壓縮率按GB/T24442.1-2009規(guī)定進(jìn)行，樣品尺寸為30mm×30mm×1.2mm，壓腳面積0.785cm2，加載速度，手動(dòng)加載，輕壓載荷300gf/cm2，加壓時(shí)間30s，測(cè)定其厚度t0,重壓載荷1800gf/cm2，加壓時(shí)間60s，測(cè)定其厚度t1。56.5壓縮彈性率按GB/T24442.1-2009規(guī)定進(jìn)行，樣品尺寸為30mm×30mm×1.2mm，壓腳面積0.785cm2，加載速度，手動(dòng)加載，輕壓載荷300gf/cm2，加壓時(shí)間30s，重壓載荷1800gf/cm2，加壓時(shí)間60s，恢復(fù)時(shí)間60s。56.6硬度按GB/T2411-2008規(guī)定進(jìn)行，采用ShoreC型硬度計(jì)。56.7吸水率從產(chǎn)品中裁取5個(gè)尺寸為100mm*100mm*1.2mm的樣品，稱重M1，樣品質(zhì)量至少為1g。將樣品放入金屬網(wǎng)中，隨后將帶有樣品的金屬網(wǎng)放在容器中，距離液面約20mm處。（60±1）s后取出樣品和金屬網(wǎng)，垂直懸掛樣品（120±3）s，對(duì)樣品稱重M2，按式1計(jì)算吸水率：

X=(M2X——吸水率，%M1——浸水前樣品質(zhì)量，mgM2——浸水后樣品質(zhì)量，mg取5次測(cè)量結(jié)果的平均值。56.8去除率56.8.1取6∽82片尺寸為Φ8英寸mm×mm×mm的雙面研磨未經(jīng)拋光的硅片（N型單晶硅，P參雜），按GB/T6618-2009規(guī)定測(cè)定硅片厚度h0。56.8.2將尺寸直徑為915mm×mm、厚度1.2mm的×mm圓形拋光墊和硅片裝入拋光機(jī)中，每盤24個(gè)拋光頭？，每盤個(gè)拋光頭裝6∽81片？。采用拋光墊配合氧化硅拋光液（SIPOL-504A牌號(hào)）拋光硅片襯底，拋光工藝設(shè)定為壓力：100kpa，轉(zhuǎn)速：45rpm；拋光時(shí)間：20min∽30min；溫度：42∽45℃；拋光液稀釋比1：20∽1：30。按附錄A規(guī)定拋光硅片。56.8.3按GB/T6618-2009規(guī)定拋光后硅片的厚度h1。按下式計(jì)算去除率Y：Y=h1-h0式中：Y——去除率，μm/minh1——拋光后硅片的厚度，μmh0——拋光前硅片的厚度，μmt——拋光時(shí)間，min56.9平整度按附錄A5.8.2規(guī)定拋光后，按GB/T29507-2013規(guī)定測(cè)定硅片。56.10坑點(diǎn)劃傷數(shù)按附錄A5.8.2規(guī)定拋光后，按GB/T6624-2009規(guī)定測(cè)定硅片。56.11粗糙度按附錄A5.8.2規(guī)定拋光后，按GB/T3505-2009規(guī)定測(cè)定硅片。67檢驗(yàn)規(guī)則67.1檢驗(yàn)分類檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。67.1.1出廠檢驗(yàn)出廠檢驗(yàn)每批檢驗(yàn)一次，檢驗(yàn)項(xiàng)目為尺寸、外觀、密度、壓縮率、壓縮彈性率、硬度、。67.1.2型式檢驗(yàn)型式檢驗(yàn)為全項(xiàng)目檢驗(yàn)。有下列情況之一時(shí)，應(yīng)進(jìn)行型式檢驗(yàn)：a）新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)產(chǎn)生產(chǎn)的試制定型鑒定；b）正式生產(chǎn)后，如配方、原料、工藝改變，可能影響產(chǎn)品性能時(shí)；c）產(chǎn)品停產(chǎn)一年以上，恢復(fù)生產(chǎn)；d）正常生產(chǎn)時(shí)，每年進(jìn)行一次檢驗(yàn)；e）出廠檢驗(yàn)結(jié)果與上次型式檢驗(yàn)有較大差異。67.2組批檢驗(yàn)以批為單位。以同一卷無紡布基布制備的拋光墊為一個(gè)檢驗(yàn)批。67.3抽樣出廠檢驗(yàn)樣本應(yīng)從每一批中隨機(jī)抽取3片拋光墊作為試驗(yàn)樣品進(jìn)行檢驗(yàn)，復(fù)驗(yàn)抽樣需在同一批中抽取。型式檢驗(yàn)的樣品應(yīng)從出廠檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品中隨機(jī)抽取5片拋光墊作為試驗(yàn)樣品進(jìn)行檢驗(yàn)。67.4判定與復(fù)驗(yàn)規(guī)則檢驗(yàn)結(jié)果若有任何一項(xiàng)不合格者，應(yīng)重新取兩份試樣對(duì)該項(xiàng)目進(jìn)行復(fù)驗(yàn)，復(fù)驗(yàn)結(jié)果仍不合格時(shí)，則該批為不合格品。78標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存78.1標(biāo)志包裝容器上應(yīng)標(biāo)有下列內(nèi)容：產(chǎn)品型號(hào)和中文名稱；規(guī)格尺寸；c）產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)號(hào)；d）產(chǎn)品數(shù)量，以pcs表示；e）生產(chǎn)廠名；f）生產(chǎn)日期和批次；g）有效貯存期。78.2包裝 10pcs/箱或者20pcs/箱，箱子材質(zhì)為硬紙板，可根據(jù)客戶要求調(diào)整包裝數(shù)量。78.3運(yùn)輸產(chǎn)品在運(yùn)輸時(shí)應(yīng)防止雨淋、日光曝曬，并符合交通運(yùn)輸部門的有關(guān)規(guī)定。8.4貯存應(yīng)貯存在陰涼、通風(fēng)、干燥的倉庫內(nèi)，防止日光直射，并應(yīng)隔絕火源，遠(yuǎn)離熱源。在符合上述貯運(yùn)條件下，自生產(chǎn)之日起，產(chǎn)品保質(zhì)期一年。

附錄A（規(guī)范性附錄）拋光墊拋光試驗(yàn)方法A.1范圍本試驗(yàn)方法適用于測(cè)定拋光墊的應(yīng)用性能。A.2試驗(yàn)設(shè)備和材料A.2.1試驗(yàn)設(shè)備拋光機(jī)A.2.1試驗(yàn)材料雙面研磨硅片，8英寸（N型單晶硅，P參雜）拋光墊，直徑915mm、厚度1.2mm氧化硅拋光液A.3試驗(yàn)步驟按1：20∽1：30比例稀釋拋光液。將拋光墊貼在拋光機(jī)下盤上，將和雙面研磨硅片裝入拋光機(jī)貼在陶瓷盤上，陶瓷盤裝入拋光頭中，每一臺(tái)機(jī)器設(shè)定2個(gè)拋光頭拋光，每個(gè)拋光頭裝1片。采用拋光墊配合氧化硅拋光液拋光硅片襯底，拋光工藝設(shè)定為：壓力：100kpa，轉(zhuǎn)速：