微電子概論（第3版）課件6-7-2 工藝與器件模擬及統(tǒng)計分析-器件仿真_第1頁
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IntroductiontoMicroelectronicsThirdEdition《微電子概論》（第3版）郝躍賈新章史江一6.7.3統(tǒng)計分析6.7工藝與器件仿真及統(tǒng)計分析目錄6.7.2器件仿真6.7.1工藝仿真1.器件仿真的作用作用：①研究預(yù)測器件性能，評判器件質(zhì)量②分析工藝對器件特性的影響，優(yōu)化器件設(shè)計③提取器件模型參數(shù)，支持電路仿真設(shè)計根據(jù)給定的半導(dǎo)體器件幾何結(jié)構(gòu)尺寸和內(nèi)部雜質(zhì)分布，由器件仿真程序模擬分析該結(jié)構(gòu)器件的電特性2.器件仿真的模型分類①經(jīng)典模型：對于器件幾何尺寸足夠大，電子的運(yùn)動規(guī)律可以用漂移和擴(kuò)散的輸運(yùn)方程描述②半經(jīng)典模型：用于亞微米器件，電子運(yùn)動規(guī)律多用玻耳茲曼方程描述③量子模型：納米器件，電子運(yùn)動規(guī)律的描述需要用到薛定諤方程3.器件仿真工具SentaurusDevice多維器件模擬器，支持FinFET、FDSOI等先進(jìn)工藝，支持硅基、化合物半導(dǎo)體（SiGe,SiSn,InGaAs,InSb，GaAs,InP,GaN,SiGe,SiC,AlGaAs,InGaAs,AlGaN，InGaN

等）的電、熱、光特性仿真支持功率電子器件、光電器件、存儲器件、輻照效應(yīng)等仿真SilvacoVictoryDevice基于物理的器件電、熱、光特性模擬器，支持CMOS、BulkCMOS、FinFET、FDSOI、PDSOI等先進(jìn)工藝，支持PowerandRF,BCD,PowerDiode,IGBT,T

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