Surfacechemicalanalysis—Datastorageformatforscanning2025-05-28發(fā)布 1 1 14符號和縮略語 1 2 2 請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任。本文件起草單位：中山大學(xué)、廣州中源儀器測，可在各種不同的環(huán)境下進行測試。掃描探針顯微鏡的控制、數(shù)據(jù)的采集和處理都由帶有存儲算機來實現(xiàn)。由于所用硬件平臺不同，各制造商所生產(chǎn)的掃描探針顯微鏡大都使用專用的數(shù)據(jù)格式些數(shù)據(jù)格式大多互不兼容，給數(shù)據(jù)的存儲、處理、傳輸、交換、共享等帶來了不便。已有的基于存儲效率不高且不利于數(shù)據(jù)的快速處理。各制造商所使用的掃描探針顯微鏡的數(shù)據(jù)格式通常采用存儲，適用于數(shù)據(jù)的存儲和分析處理，但存在兼容性、擴展性等方面的問題，不便于數(shù)據(jù)的傳輸滿足掃描探針顯微鏡/掃描探針顯微術(shù)中實時數(shù)據(jù)存儲、高效分析處理和數(shù)據(jù)共享等應(yīng)用的表面化學(xué)分析掃描探針顯微鏡數(shù)據(jù)存儲格式本文件規(guī)定了在計算機上存儲掃描探針顯微鏡GB/T22461.2-2023表面化學(xué)分析詞匯第2部分：掃描探ISO18115-2-2013Surfacechemicalanalysis.ISO28600:2011Surfacechemicalanalysis—DatatransferformatforscanniGB/T36052-2018表面化學(xué)分析掃描探針顯微鏡4符號和縮略語SPM：掃描探針顯微術(shù)（ScanningProbeAFM：原子力顯微術(shù)（AtomicForceMicroscopy）EFM：靜電力顯微術(shù)（ElectrostaticForceMicroscopKPFM：開爾文探針力顯微術(shù)（KelvinProbeForceMicroscopMFM：磁力顯微術(shù)（MagneticForceMicroscoSNOM=掃描近場光學(xué)顯微術(shù)（scanningnear-fieldBMP：位圖（Bitmap是Window2掃描探針顯微鏡/掃描探針顯微術(shù)（SPM）數(shù)據(jù)存儲格式的定義方法和基本原理是：該格式用普通計算默認(rèn)采用32位的有符號整型（32位有符號整型是指計算機使用的一種數(shù)據(jù)類型，使用32位即4字節(jié)來存SPM數(shù)據(jù)存儲格式中的格式頭部與BMP文件格式中的文件頭的定義相類似。BMP是一種與硬件設(shè)備無數(shù)據(jù)以小端方式存儲（小端方式是指計算機中的一種數(shù)據(jù)存儲方式，用于決定一個多字節(jié)數(shù)據(jù)在內(nèi)存中如3分大致對應(yīng)于BMP文件格式中的前三個部分（文件頭），即：位圖文件頭(bitmap-fileheader)、位圖信息頭(bitmap-informationheader)和彩色表(colort格式文件頭包含文件頭類型、文件大小、存放位置等信息，共占14個字節(jié)。格式文件頭包括4個屬性，（*1*）bitmapfileidentifier=字符（*2個字節(jié)的內(nèi)（*3*）datatypeidentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用4字節(jié)表示SPM圖像數(shù)據(jù)的類型標(biāo)識符，即表示是否SPM的圖像數(shù)據(jù)。偏①0x0000：表示是SPM單通道的圖像數(shù)據(jù)；該數(shù)據(jù)格式與）；④‘USPM’：表示是用戶（User）可定義的SPM圖像數(shù)據(jù)或譜數(shù)據(jù)；該數(shù)據(jù)格式保留給用戶（*5*）bitmapheadSize=整數(shù)（（*6*）bitmapwidth=整數(shù)（*4個字節(jié)表示位4（*7*）bitmapheight=整數(shù)（*4個字節(jié)表示為使數(shù)據(jù)從上往下顯示，bitmapheight需要采用負(fù)整數(shù)，其值通常等于位圖（*8*）bitmapplanes=16位的整數(shù)（*2用2字節(jié)表示位圖的位面數(shù)，偏移量001Ah。對于SPM的圖像數(shù)據(jù)或譜數(shù)據(jù)，bitmapplan（*9*）bitcount=16位的整數(shù)（*2個字節(jié)表當(dāng)格式文件頭中的SPM數(shù)據(jù)的類型datatypeidentifier=0x0當(dāng)格式文件頭中的SPM數(shù)據(jù)的類型datatypeidentifier='MPMC'或'SP當(dāng)bitcount=24，每個像素的數(shù)據(jù)格式如下：低16位存儲無符號當(dāng)bitcount=32，每個像素的數(shù)據(jù)格式如下：低24位存儲整數(shù)；其值為以2為底的指數(shù)N；該像素的SPM數(shù)據(jù)的值=B（*10*）datacompression=整數(shù)（*4個用4字節(jié)表示說明SPM的圖像數(shù)據(jù)的壓縮方式（每個像素的數(shù)（*11*）bitmapdataSize=整數(shù)（*4個字節(jié)用來表用4字節(jié)表示位圖數(shù)據(jù)的大小，偏移量00（*12*）bitmapXscale=整數(shù)（*4個字節(jié)表示位圖的水（*13*）bitmapYscale=整數(shù)（*4個字節(jié)表示位圖的垂（*14*）colorused=整數(shù)（*4個字節(jié)表示SPM圖用4字節(jié)表示SPM圖像數(shù)據(jù)在顯示時實際使用的顏色索引數(shù)（設(shè)置為0，則表示使用彩色表中的所有顏色）。對于典型的SPM圖像數(shù)據(jù)（如datatypeidentifier='MPMC'這4字5（*15*）colorImportant=整數(shù)（*4個字節(jié)），中有一個重要數(shù)據(jù)段；“重要顏色數(shù)目”用于指定該重要數(shù)據(jù)段使用的顏色數(shù)目（0表示都重要，即重要數(shù)據(jù)段和其它數(shù)據(jù)段所分配的顏色索引數(shù)盡量均勻分布）。對于BMP兼容的位圖數(shù)據(jù)（如datatype用或不使用圖像彩色表。對于SPM多通道的圖像數(shù)據(jù)（如datatypeidentifier='MPMC'用這4字節(jié)表示默單點譜數(shù)據(jù)（如datatypeidentifier='SPMC），（*16*）colorindex={RGB顏色值}（*每個索引項用4個彩色表中的每個顏色值均占用4個字節(jié)的存儲空間，表示RGB顏色值，這4字節(jié)與BMP格式中相應(yīng)字段緊跟在格式頭部之后的是圖像或譜圖數(shù)據(jù)的字節(jié)陣列。圖像的每一掃描行由表示圖像像素的連續(xù)的字6.4參數(shù)表所需的參數(shù)。對于不同類型的SPM圖像數(shù)據(jù)（datatypeidentifie參數(shù)表的格式和內(nèi)容可以不同。本格式的參數(shù)表定義了默認(rèn)參數(shù)表和特殊格式參數(shù)表兩種不同格式（二選6存儲、處理、分析所需的關(guān)聯(lián)參數(shù)表。用于描述SPM數(shù)據(jù)獲取的基本參數(shù)包括128整型、浮點、字符串、字節(jié)串等也可以是包含由以上基本數(shù)據(jù)類型組成的結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)類型。（*1*）TotalParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)（*2*）TotalParametersSize=（*3*）TotalParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示整（*4*）MaxDataValue=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示位圖數(shù)據(jù)（*5*）MinDataValue=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示位圖數(shù)據(jù)陣（*6*）BaseParametersOffset=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來（*7*）ExtendParametersOffset=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示從基本參數(shù)表開始到擴展參數(shù)表之間（*1*）BaseParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)（*2*）BaseParametersSize=整7（*3*）BaseParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示基本(*1*)formatidentifier=‘ISO/TC201SPMDataTransferFormat’;((*2*)labelline=‘generalinformation’,EOL;(*基(*3*)institutionidentifier=字符串;(*對數(shù)據(jù)負(fù)責(zé)的機構(gòu)或其英文縮寫,例如(*4*)instrumentmodelidentifier=字符串;(*數(shù)據(jù)采集設(shè)對于商用SPM系統(tǒng)，應(yīng)該標(biāo)明制造商名稱和機器(*5*)operatoridentifier=字符串;(*標(biāo)明操作人員,例如:Fuj(*6*)experimentidentifier=字符串;(*標(biāo)(*7*)commentline=字符串;(*SPM(*8*)experimentmode=(‘MAP_SC’|式:MAP_SC—單通道規(guī)則二維數(shù)據(jù);MAP_MC—多通道規(guī)則或不規(guī)則二維數(shù)據(jù);SPEC_SC—單點單通道譜(*9*)yearinfull=字符串表示的整數(shù);(*公歷年,例如‘200(*10*)month=字符串表示的整數(shù);(*11*)dayofmonth=字符串表示的整數(shù);(*日*)；(*12*)hours=字符串表示的整數(shù);(*2(*13*)minutes=字符串表示的整數(shù);(*14*)seconds=字符串(*15*)NumberofhoursinadvanceofGreenwichMeanTime=字符串表示的整數(shù);(*格七項數(shù)據(jù)采集的日期和時間是必不可少的,以采集最后一個數(shù)據(jù)點的時間記錄,如果前六項中某些數(shù)值是未(*16*)labelline=‘scaninformation’,EOL;(*(*17*)scanmode=(‘REGULARMAPPING’|‘IRREGULARMAPPING’),EOL;(*X-Y平面掃描類型:REGULARMAPPING—規(guī)則掃描:在X-Y平面二維計;IRREGULARMAPPING—標(biāo)應(yīng)該加入數(shù)組中*);(*18*)scanningsystem=(‘open-通常使用基于壓電部件的位置掃描器對探針進行定位。沒有閉環(huán)控制的掃描系統(tǒng)叫做開環(huán)掃描系統(tǒng);帶8(*19*)scannertype=(‘sampleXYZscan’scan’(樣品在Z方向掃描的同時探針在XY方向掃描)),EOL;(*掃(*21*)fastscandirection=textline;(*快掃軸掃描方向,例如:‘lefttoright’左),‘bottomtotop’(從下向上)或‘toptobottom’(從上向下)*);一個圖像僅對應(yīng)一個快掃方向,在兩個方向上(*23*)slowscandirection=字符串;到下),‘lefttoright’(從左到右),(*24*)Numberofdiscretexcoordinatesavailableinfullmap=(*25*)Numberofdiscreteycoordinatesavailablein(*26*)physicalunitofxaxis=單位;(*X軸物理單位,例如:‘nm(*27*)physicalunitofyaxis=單位;(*Y(*28*)rangeofxaxis=字符串表示的實數(shù);(*表明X軸掃描寬度的實數(shù)*);(*29*)rangeofyaxis=字符串表示的實數(shù);(*表明Y軸掃描寬度的實數(shù)*);(*30*)physicalunitofXOffset=單位;(*X軸偏移量單位,例如:‘nm’‘μm’‘V’*);(*31*)physicalunitofYOffset=單位;(*Y軸偏移量單位,例如:‘nm’‘μm’(*32*)OffsetofXaxis=字符串表示的實數(shù);(*一個實數(shù),表明X軸方向原點相對中點偏移量*);(*33*)OffsetofYaxis=字符串表示的實數(shù);(*一個實數(shù),表明Y軸方向原點相對中點偏移量*);(*34*)rotationangle=字符串表示的實數(shù);(*快掃軸逆時針旋轉(zhuǎn)至樣品臺坐標(biāo)X軸的角度(*35*)physicalunitofscanspeed=單位;(*沿快掃軸掃描速度單位,例如:‘nm/s’*);(*36*)scanspeed=字符串表示的(*37*)physicalunitofscanrate=單位;(*掃描頻率單位,例如:‘Hz’*);(*38*)scanrate=字符串表示的實數(shù);(*沿快掃軸的掃描頻(*39*)SPMtechnique=文BEEM=ballisticelectronbeammicroscopy,彈道電子束顯微術(shù)CPAFM=conductiveprobeatomicforcemicroscopy,導(dǎo)電原contactmodeAFM=contactmodeatomicforcemicroscopy,原子力DFM=dynamicforcemicroscopy,動態(tài)力顯微術(shù)EFM=electrostaticforcemicroscopy,靜電力顯微術(shù)9FMM=forcemodulationmicroscopy,力調(diào)制顯微術(shù)FFM=frictionforcemicroscopy,摩擦力FM-AFM=frequencymodulationatomicforcemicroscopy，頻率調(diào)制模式IC-AFM=intermittentcontactmodeatomicforNC-AFM=non-contactmodeatomicforcemicroscopy,非接觸模式原子力顯微術(shù)KFM=Kelvinforcemicroscopy,開爾文探針力MFM=magneticforcemicroscopy,磁力顯微術(shù)LFM=lateralforcemicroscopy,橫向力顯SCM=scanningcapacitancemicroscopSSRM=scanningspreadingresistancemicroscopy,STM=scanningtunnelingmicroscSThM=scanningthermalmicroscNSOM=near-fieldscanningopticalmicroscopy,近場掃描光學(xué)顯微術(shù)SNOM=scanningnear-fieldopticalmicroscopy,掃描近場(*40*)biasvoltagecontact=(‘samplebiased’|‘tipb加偏壓,tipbiased—探針加偏壓(*41*)biasvoltage=字符串表示的實數(shù);(*偏壓大小,單位是(*44*)unit(s)ofsetparameter(s(*45*)valueofsetparameter=字符串表示的實數(shù);(*各固定CV1乘以儀器讀出值,SP2是CV2乘以儀器讀(*47*)calibrationforsetparameter=realNumb(*48*)labelline=‘environmentdescription’,EOL;(*環(huán)境描述*(*49*)environmentmode=字符串;(*實驗環(huán)境,例如:‘UHV(超高真空)’,‘a(chǎn)ir(大氣)’,‘liquid(液體)’,‘controlledatmosphere(可控氣氛)’等*(*50*)sampletemperatu(*52*)environmenthumidity=字符串表示的實數(shù);(*相對濕相對濕度是一定溫度下,局部水蒸氣壓力與飽和水蒸氣壓力的比(*53*)commentline=字符串;((*54*)labelline=‘probedescription’,EOL;(*55*)probeidentifier=字符串;(*用來采集數(shù)據(jù)的探針(*56*)probematerial=字符串;(*探針材料,例如:Si、Si3N4、W、Pt-Ir等*);(*57*)normalspringconstan(*58*)resonancefreq(*60*)anglebetweenprobeandXaxis=字符串表示的實數(shù);(*探針與X軸正(*61*)anglebetweenprobeverticalmovementandZaxisin(*62*)anglebetweenprobeverticalmovementandZaxisin(*63*)commentline=文本行;((*64*)labelline=‘sampledescription’,EOL;(*樣(*65*)sampleidentifier=字符串;(*樣品名稱,例如:‘Si(001)surface:P(*66*)specieslabel=字符串;(*樣品化學(xué)成分,例如:(*67*)commentline=字符串;((*68*)labelline=‘single-channelmappingdescription’,EOL;(*單通道圖(*69*)Zaxischannel=字符串;(*實驗?zāi)Ｊ綖镸AP_SC的Z軸輸入信號,例如:‘height’,‘tunnellingcurrent’,‘theNumberofphotons’等*);(*70*)physicalunitofZaxischannel=單位;(*Z軸物理單位,例如:‘nm’,‘nA’,‘c/s’*);(*71*)commentline=字符串;((*72*)labelline=‘spectroscopydescription’,EOL;(*譜圖描(*73*)spectroscopymode=字符串;(*SPM譜圖測量模式,I-Vspectroscopy—傳導(dǎo)表面與探針間電流隨電I-Zspectroscopy—傳導(dǎo)表面與探針間電流隨Zforce-distancecurve—探針與樣品間力與探針高度的變(*74*)spectroscopy探針位置固定,可以省略橫坐標(biāo),‘IRREGULAR’—橫坐標(biāo)間隔不均勻,探針位置(*75*)abscissalabel=字符串;(*橫坐標(biāo)標(biāo)題,例如:‘samplebiasvoltag(*76*)abscissaunits=單位;(*譜橫坐標(biāo)單位,例(*77*)abscissastart=字符串表示的實數(shù);(*譜橫坐(*78*)abscissaend=字符串表示的實數(shù);((*79*)abscissaincrement=字符串表示的實數(shù);(*橫坐(*80*)calibrationconstantforabscissa=字符串表示的實數(shù);(*(*81*)Numberofpointsinabscissa=字符串表示的整數(shù);(*橫坐標(biāo)測量點個數(shù)*);(*82*)Numberofordinateitems=不小于1的整數(shù);(*縱坐標(biāo)個數(shù)*);在SPEC_MC和multi-channel(*83*)ordinatelabel(s)=字符串;(*各縱坐標(biāo)以逗號分開,如:‘tu(*84*)ordinateunit(s)=單位;(*縱坐標(biāo)單位以逗號分開,例如:‘nA,(*85*)calibrationconstant(s)forordinate=字符串表示的實數(shù)(*86*)commentline=字符串(*87*)labelline=‘dataTreatmentdescription’,EOL;(*數(shù)據(jù)處理描(*88*)dataTreatment=(‘rawdata’(原始數(shù)據(jù))|‘pre-treateddata’(預(yù)處理數(shù)據(jù))|‘pos(*89*)plaincorrection=字符串;(*平坦矯正法,用于矯正樣品傾斜和不期望的平坦aweightfactorof1.3’,‘medianfilteringwithakern(*91*)imagereconstruction=字符串;(*圖像重建,例如:‘blindreconstruct(*92*)commentline=字符串;(*其他數(shù)(*93*)labelline=‘multi-channelmappingdescription’,EOL;((*94*)Numberofdatachannels=字符串表示的整數(shù);(*通道數(shù),實驗?zāi)Ｊ綖?MAP_MC*);(*98*)2nddatachannel=字符串;(*99*)2nddatachannelunit=單位;(*2(*100*)2nddatachannelcomment=字符串;(*101*)3rddatachannel=(*102*)3rddatachannelunit=單位(*103*)3rddatachannelcommen(*104*)4thdatachanne(*105*)4thdatachannelunit=單位(*106*)4thdatachannelcomment=字符串;(*107*)5thdatachannel=(*108*)5thdatachannelunit=單位(*109*)5thdatachannelcommen(*110*)6thdatachannel=(*111*)6thdatachannelunit=(*112*)6thdatachannelcommen(*113*)7thdatachannel=字(*114*)7thdatachannelunit=單位(*115*)7thdatachannelcomment=字符串;(*7通(*116*)8thdatachanne(*117*)8thdatachannelun(*118*)8thdatachannelco(*119*)commentline=字符串;(*(*127*)空字符串;(*120到127為未來擴展版本保(*128*)endofheaderidentifier=‘endofheader’,EOL;(*頭文件結(jié)束*);擴展參數(shù)表表示SPM數(shù)據(jù)獲取中除基本參數(shù)以外的擴展參數(shù)，用于補充基本參數(shù)表中未準(zhǔn)確表述的參數(shù)。擴展參數(shù)表采用結(jié)構(gòu)化的描述方法，包含擴展參數(shù)表表頭、擴（*1*）ExtendParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容擴展參數(shù)表標(biāo)識符='EXTD'，暫固定不（*2*）ExtendParametersSize=（*3*）ExtendParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示擴展參顯示信息表包括一個圖像顯示信息表表頭、若干個圖像顯示信息表數(shù)據(jù)。如果當(dāng)前圖像文件包含了多個成像通道的多幅圖像，則每一幅圖像均需要一套圖像顯示信息（*1*）ChannelsParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容參數(shù)表類型標(biāo)識符='IMAG'，暫固定（*2*）ChannelsSize=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示圖像顯示(*1*)Label=字符串;(*成像信(*2*)ChannelNo=整數(shù);(*信號(*3*)PassNo=整數(shù);((*4*)Unit=字符串;(*成像信號數(shù)據(jù)的單位，如nm,(*5*)DataStart=實(*6*)DataEnd=實數(shù);(*成像信號數(shù)據(jù)的終止(*7*)DisplayStart=實數(shù);(*成像信號數(shù)據(jù)顯示的起(*8*)DisplayEnd=實數(shù);(*成像信號數(shù)據(jù)顯示(*9*)ImportantDataStart=(*10*)ImportantDataEnd=實數(shù);(*成像信號重要數(shù)(*11*)Displaycolorused=整數(shù)（*使用(*12*)DisplaycolorImportant=整數(shù)（*重要數(shù)據(jù)使用的要數(shù)據(jù)段和其它數(shù)據(jù)段所分配的顏色索引數(shù)盡量(*14*)DisplaycolorNumber=整數(shù)（*上述彩色表索引號所對應(yīng)的彩色表(*15*)Comment=字符串;(*成像信號說明文字譜測量顯示信息表用來記錄當(dāng)前譜曲線的測量及顯示的相關(guān)信息，以便根據(jù)這些信息還原當(dāng)前譜曲線(*1*)SpectraParametersIdentifier=字符(*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示參參數(shù)表類型標(biāo)識符='SPEC'，暫固定(*2*)SpectraParametersSize(*3*)SpectraNumber=整數(shù)(*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示譜測量顯示信息表數(shù)據(jù)的項數(shù))；(*4*)OrdinatesNumber=(*5*)TimesNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示測量遍數(shù)，即表示每個變量測量的遍數(shù)*）(*6*)PositionsNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示測量位置數(shù)據(jù)的項數(shù)(*7*)Displaycolorused=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示使用的用4字節(jié)表示本譜曲線在數(shù)據(jù)顯示時實際使用的顏色），(*8*)DisplaycolorImportant=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示每條譜曲線）；用2個不同的顏色值；設(shè)為1表示每條譜曲線只(*9*)DisplaycolorIdentifier=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示(*10*)DisplaycolorNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示上述彩色表索引號所對應(yīng)的彩色表的數(shù)(*1*)Label=字符串;（*縱坐標(biāo)標(biāo)簽*）;(*2*)Unit=字符串;（*縱坐標(biāo)的單位，如nm,mV等*）;(*3*)CalibrationConstant=實數(shù);（*縱坐標(biāo)校準(zhǔn)常數(shù)*）;(*4*)Comment=字符串;（*縱坐標(biāo)說明文字，可選*）;(*4*)Times=整數(shù);(*該測量位置的測(*6*)Comment=字符串;(*測量位置說明文(*1*)Label=字符串;(*譜曲線信息顯示(*2*)SpectrumNo=整數(shù);(*4*)DataEnd=實數(shù);(*譜(*5*)DisplayStart=實數(shù);(*譜曲線數(shù)據(jù)顯示的起始值，對應(yīng)縱坐(*6*)DisplayEnd=實數(shù);(*譜曲線數(shù)據(jù)顯示的終止值，對應(yīng)縱坐標(biāo)的終將本譜曲線數(shù)據(jù)在顯示時映射到縱坐標(biāo)的起始值和終止(*7*)Displaycolorused=整數(shù)(*表示每條譜曲線使用的顏色(*8*)Comment=字符串;(*譜曲線數(shù)據(jù)顯示說明(*1*)PalettesParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來識別(*2*)PalettesSize=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示圖像顯示彩色表數(shù)(*3*)PalettesNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示圖像顯示彩色表數(shù)據(jù)的(*1*)Identifier=整數(shù);（*圖像顯示彩色表索引號，從1開始編號*）;(*2*)Number=整數(shù)（*彩色表索引號所對應(yīng)的彩色表的數(shù)(*3*)Colors=整數(shù)的列表;（*多個顏色值的數(shù)據(jù)列表*）;(*4*)Comment=字符串;（*圖像顯示配色表說明文字，可選*）;實驗參數(shù)表包括一個實驗參數(shù)表表頭、一個或多(*1*)ExperimentParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來識別(*2*)ExperimentParametersSize=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示實驗參數(shù)信息表數(shù)據(jù)(*3*)ExperimentParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的實驗參數(shù)表數(shù)據(jù)（Experimentparamete(*1*)Label=字符串;（*配置參數(shù)標(biāo)簽*）;(*2*)Unit=字符串;（*配置參數(shù)的單位，如nm,mV等*）;(*3*)Value=實數(shù);（*配置參數(shù)值*）;(*4*)Comment=字符串;（*配置參數(shù)說明文字，可選*）;(*1*)UserDefinedParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來識別用戶自定義信息表標(biāo)識符='USR0'，暫固定不變(*3*)UserDefinedParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示用戶自定義信息表的項數(shù)，即表示有多少套實驗參數(shù)數(shù)據(jù)*）;用戶自定義信息表數(shù)據(jù)（Experimen數(shù)據(jù)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系的描述，包括對相應(yīng)的數(shù)據(jù)獲取設(shè)備或分析處理軟件等的接關(guān)聯(lián)參數(shù)表表頭用于對當(dāng)前的SPM數(shù)據(jù)文件進行分類和標(biāo)識(*1*)RelationParametersIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來識(*2*)RelationParametersSize=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示關(guān)聯(lián)參數(shù)表數(shù)(*3*)RelationParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)(*4*)DataIdentifier=字符串;（*16個字節(jié)，SPM數(shù)據(jù)的唯一標(biāo)識*）;SPM數(shù)據(jù)的輔助標(biāo)識（CSPM、ISO28600、ChinaSPM-ZungWin、ISO28600-SYSU，其中ChinaSPM、例如，用于指定包含幾副圖像或者幾個譜，0(*7*)SubdataCoordinates2=整數(shù);（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示子數(shù)據(jù)坐標(biāo)1的最大數(shù)量*）;(*8*)SubdataCoordinates3=整數(shù);（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示子數(shù)據(jù)坐標(biāo)1的最大數(shù)量*）;(*9*)SubdataCoordinates4=整數(shù);（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示子數(shù)據(jù)坐標(biāo)1的最大數(shù)量*）;(*1*)ParametersListIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來識別參數(shù)據(jù)來源表標(biāo)識符='DTSR'，暫固(*2*)DataSourceParametersSize=整數(shù)（*4個字節(jié)的）；(*3*)DataSourceParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示數(shù)據(jù)來源表(*1*)DataIdentifier=字符串;(*SPM數(shù)據(jù)(*2*)FormatIdentifier=字符串（*輸出的、附例如，用于指定使用其中的第幾副圖像或者第幾個譜，0表(*4*)SubdataCoordinates2=整數(shù);(*4個(*5*)SubdataCoordinates3=整數(shù);(*4個(*6*)SubdataCoordinates4=整數(shù);(*4個插件信息表用于對得到當(dāng)前的SPM數(shù)據(jù)文件所使用的插件進行說明，描述SPM數(shù)據(jù)的處理過程和關(guān)聯(lián)(*1*)ParametersListIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來識別參插件信息表標(biāo)識符='PLUG'，暫固定不變(*2*)PluginParametersSize=整數(shù)（*4個字節(jié)(*3*)PluginParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示插件信息表數(shù)插件信息表數(shù)據(jù)（Plugin）包含有關(guān)于插件類型、插件名稱、插件標(biāo)識或版本、處理類型、插件數(shù)量、插件中的數(shù)據(jù)通道使用情況、插件及插件中的數(shù)據(jù)的大小等信息，包含以下7項(*1*)SPMPluginName=字符串SPM數(shù)據(jù)文件類型標(biāo)識符（PLUG0000、PLUG-RAW、PLUGPOST、PLUGCSPM、PLUGWin0、(*2*)PluginType=整數(shù)（插件類型包括：后處理插件（1）、驅(qū)動插件（2）、格(*3*)PluginIdentifier=字符串（*插件的(*4*)ParentPluginIdentifier=字符串（*父插(*5*)SPMDataFormat=字符串（*用來識別輸出(*6*)PluginContent=字節(jié)串;(*簡短的、自定義插件的內(nèi)(*7*)Comment=字符串;(*插件信息說明文(*1*)ParametersListIdentifier=字符（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來識別參(*2*)TreatmentParametersSize=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)(*3*)TreatmentParametersNumber=整數(shù)（*4個字節(jié)的內(nèi)容用來表示處理參數(shù)表數(shù)據(jù)的(*1*)Label=字符串;(*數(shù)據(jù)處理參(*2*)PluginIdentifier=字符串（*數(shù)據(jù)處理使用(*4*)Comment=字符串（*數(shù)據(jù)處理參數(shù)說明文字，可選*）;(*1*)Version=字符串;(*控(*2*)Date=字符串;(*數(shù)據(jù)(*4*)Imagewidth=字符串表示的整數(shù);(*X(*5*)Imageheight=字符串表示的整數(shù);(*Y方向(*6*)Ref=字符串表示的實數(shù);(*反饋參考點*)(*7*)Bias=字符串表示的實數(shù);(*(*8*)P.G.=字符串表示的整數(shù);(*(*9*)I.G.=字符串表示的整數(shù);(*積(*10*)ScanSpeed=字符串表(*12*)ScanSize=字符串表示的(*13*)ScanX0=字符串表示(*14*)ScanY0=字符串表示(*15*)HeightScale=字符串表示的實數(shù);(*高度數(shù)據(jù)(*16*)StartHeightScale=字(*17*)Machine=字符串;(*工作模式，接(*18*)MaxValue=字符串表示的整數(shù);((*20*)StartLiftHeight=字符串表(*21*)KeepLiftHeight=字符串表示的實數(shù);(*保持抬起(*22*)SignalGain=字(*23*)SignalBrightness=(*24*)ZLimit=字符串表示的整數(shù);(*可用于Z方(*25*)Filter=字符串表示的整數(shù);(*可用(*26*)SurfaceFit=字符串表示(*27*)AutoRefresh=字符串;(*是否(*28*)Sensitivity=字符串表示(*29*)AutoZLimit=字符串;(*可用于自動Z方(*30*)TappingAmplitude=字符串表示的實數(shù);(*(*31*)LiftTap.Amplitude=字符串表示的實數(shù);(*抬起時(*32*)TappingDriveAmplitude=字符串表示的實數(shù);(*輕敲激(*33*)LiftDriveAmplitude=字符串表示(*34*)TappingFrequecy=字符串表示的實數(shù);(*振動(*35*)TappingPhase=字符串表示的實數(shù);(*相位(*36*)LiftTap.Frequency=字符串表示的實數(shù);(*抬起時振動頻(*37*)LiftTap.Phase=字符串表示的實數(shù);(*抬(*38*)SerialNumber(*39*)Checksum=字符串表示的整數(shù);(*軟件校(*40*)DspVersion=字符串;(*DSP(*41*)OnlineVersion=字符串(*43*)LookAheadGain=字符串表示的整數(shù);(*可用于反饋信號增益(*44*)MaxScope=字符串表示的實數(shù);(*XY方向掃描器(*45*)ZScale=字符串表示的實數(shù);(*Z方向掃描(*46*)XFast=字符串表示的實數(shù);(*X方向快(*47*)YFast=字符串表示的實數(shù);(*Y方向快(*50*)AX=字符串表示的實數(shù);(*X方向校(*51*)BX=字符串表示的實數(shù);(*X方向校(*52*)CX=字符串表示的實數(shù);(*X方向校(*53*)DX=字符串表示的實數(shù);(*X方向校(*54*)AY=字符串表示的實數(shù);(*Y方向校(*55*)BY=字符串表示的實數(shù);(*Y方向校(*56*)CY=字符串表示的實數(shù);(*Y方向校(*57*)DY=字符串表示的實數(shù);(*Y方向校(*58*)TipType=字符串;((*59*)endofparametertable=‘Endofspecialformatparametertable’,EOL;(*特殊格式參數(shù)表結(jié)束標(biāo)志*)SPM格式文件頭可用SPMDATAFILEHEtypedefstructtagSPMDATAFILEHEADER{UINT16bfType;UINT32sfSize;UINT32sfDataType;typedefstructtagSPMDATAINFOHEADER{UINT16biPlanes;UINT16biBitCount;UINT32biCompression;UINT32biDataSize;UINT32biXScale;UINT32biYScale;UINT32biDataClrUsed;UINT32biDataImportant;法：1字節(jié)用于藍(lán)色分量，1字節(jié)用于綠色分量，1字節(jié)用于紅色分量，1字節(jié)用于填充typedefstructtagRGBQUAD{BYTErgbReserved;unsignedchark;m=BMPPIC.SPMDataInfoHead.biWidth;n=BMPPIC.SPMDataInfoHead.biHeight;{{k=pbufout1[m*(n-i-1)+a];pbufout1[m*(n-i-1)+a]=pbufout1[m*i+a];pbufout1[m*i+a]=k;}}typedefstructtagSPMTOTALPARAMETERSHEADER{UINT32saParametersIdentifier;//參數(shù)表的類型INT32saParametersSize;//參數(shù)表INT32saParametersNumber;//參UINT32saMaxDataValue;//位圖數(shù)據(jù)的最大值INT32saBaseParametersOffset;//基本參數(shù)表的偏移量(從參數(shù)表表頭INT32saExtendParametersOffset;//擴展參數(shù)表的偏移量(從參數(shù)表表頭開始)INT32saRelationParametersOffset;//關(guān)聯(lián)參數(shù)表的偏移量(從參數(shù)表表頭typedefstructtagSPMSUBPARAMETERSHEADER{UINT32saParametersIdentifiINT32saParametersNum//參數(shù)表的類型//參數(shù)表字節(jié)數(shù)//參數(shù)表數(shù)量通用參數(shù)表表頭適用于基本參數(shù)表、擴展參數(shù)表及其子typedefstructtagSPMSPECTRAHEADER{UINT32saParametersIdentifier;//參數(shù)表的類型INT32saParametersSize;//插件INT32saSpectraNumber;//譜曲線顯示信息表INT32saOrdinatesNumber;//縱坐標(biāo)（待測變量）表INT32saTimesNumber;//每個位置測量INT32saPositionsNumber;//測量位置INT32saDisplayColorUsed;//譜曲線數(shù)據(jù)在顯示時使用的INT32saDisplayColorEach;//每條譜曲線數(shù)據(jù)在顯示時使用的INT32saPaletteIdentifier;//對應(yīng)彩色表INT32saPaletteNumber;//typedefstructtagSPMDATARELATIONHEADER{UINT32saParametersIdentifier;//參數(shù)表的類型INT32saParametersSize;//插件INT32saParametersNumber;//插件表數(shù)據(jù)的BYTEsaDataIdentifier[16];//數(shù)據(jù)的唯一BYTEsaDataFormat[16];//數(shù)據(jù)的格式UINT16saSubdataCoordinatesUIN