內(nèi)蒙古自治區(qū)地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范VacuumMeasurementSyst內(nèi)蒙古自治區(qū)市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布JJF（蒙）050-2023真空測(cè)量系統(tǒng)在線校準(zhǔn)規(guī)范VacuumMeasurementSystJJF（蒙）050-2023本規(guī)范主要起草人：何宇（包頭市檢驗(yàn)檢測(cè)中心）王石塄（包頭市檢驗(yàn)檢測(cè)中心）郝大昭（包頭市檢驗(yàn)檢測(cè)中心）馮向輝（包頭市檢驗(yàn)檢測(cè)中心）參加起草人：魏星（包頭市檢驗(yàn)檢測(cè)中心）馬建國(guó)（包頭市檢驗(yàn)檢測(cè)中心）董義（包頭天和磁材科技股份有限公司） 2 2 2 4 6 7 8JJF（蒙）050-2023JJF1059.1《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》為基礎(chǔ)JJF（蒙）050-20231真空測(cè)量系統(tǒng)在線校準(zhǔn)規(guī)范GB/T34873-2017/ISO3567：2011真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真注：通常使用的某些真空計(jì)實(shí)際上不測(cè)量壓力（術(shù)語(yǔ)中它是以作用在表面上的力來(lái)表達(dá)的）而是測(cè)量在規(guī)定條件下與壓力有關(guān)的某些其他物理量。2圖1真空測(cè)量系統(tǒng)組成示意圖序號(hào)測(cè)量范圍最大允許誤差1環(huán)境大氣壓～1×10-1Pa2注：以上指標(biāo)不做合格性判定，僅供參考。溫度：15℃~35℃JJF（蒙）050-20233表2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號(hào)裝置名稱技術(shù)要求1標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)推薦為：磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)、電離真空計(jì)、電容薄膜真空計(jì)；測(cè)量范圍應(yīng)覆蓋被校真空測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量范圍，擴(kuò)展不確定度應(yīng)不大于被校真空測(cè)量系統(tǒng)最大允許誤差的1/3。壓力范圍和不確定度能夠滿足客戶校準(zhǔn)要求的其他真空計(jì)也適用。2可拆卸的真空封接配件用于臨時(shí)替換真空測(cè)量系統(tǒng)的規(guī)管安裝位置，將標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)與被校真空測(cè)量系統(tǒng)連接，須保證接口的密封性良好，不泄漏。圖2標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)與真空設(shè)備及測(cè)量系統(tǒng)直接連接示意圖JJF（蒙）050-20234圖3標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)與真空設(shè)備及測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)可拆卸的真空封接配件連接示意圖pind——被校真空測(cè)量系統(tǒng)壓力值的平均值，Pa；pstd——標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的壓力值，Pa。JJF（蒙）050-20235JJF（蒙）050-20236客戶名稱委托日期客戶地址校準(zhǔn)日期校準(zhǔn)地點(diǎn)記錄編號(hào)環(huán)境溫度環(huán)境濕度證書(shū)編號(hào)校準(zhǔn)依據(jù)類(lèi)別名稱型號(hào)規(guī)格出廠編號(hào)生產(chǎn)廠家真空計(jì)指示單元規(guī)管1規(guī)管2主要標(biāo)準(zhǔn)器標(biāo)準(zhǔn)器名稱型號(hào)/編號(hào)測(cè)量范圍準(zhǔn)確度等級(jí)/不確定度溯源機(jī)構(gòu)及證書(shū)號(hào)有效期至校準(zhǔn)點(diǎn)被校真空測(cè)量系統(tǒng)示值（Pa）示值誤差（%）測(cè)量結(jié)果不確定度(k=2)123平均值校準(zhǔn)員：核驗(yàn)員：JJF（蒙）050-20237類(lèi)別名稱型號(hào)規(guī)格出廠編號(hào)生產(chǎn)廠家真空計(jì)指示單元規(guī)管1規(guī)管21.外觀檢查：2.示值誤差：校準(zhǔn)點(diǎn)被校真空測(cè)量系統(tǒng)示值（Pa）示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度(k=2)8pind——被校真空測(cè)量系統(tǒng)壓力值的平均值，Pa；pstd——標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的壓力值，Pa。JJF（蒙）050-20239則標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)在2.2×10-3Pa處（C.5）表C.1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u（xi）不確定度來(lái)源標(biāo)準(zhǔn)不確定度靈敏系i|u（xi）u（pind)被校真空測(cè)量系統(tǒng)的重復(fù)測(cè)量1.71×10-4Pa11.71×10-4Pau（pstd）標(biāo)準(zhǔn)器引入1.28×10-4Pa1.28×10-4Pa