真空熱處理設備真空度規(guī)范匯報人：***(職務/職稱)日

期：2025年**月**日·

真空熱處理技術概述·

真空度測量方法與標準·

真空系統(tǒng)構(gòu)成與關鍵部件·

真空度控制技術要求·

真空度分級規(guī)范·

真空度與材料處理關系·

真空度異常問題診斷·

真空度驗證與測試方法目錄·

真空度安全操作規(guī)范·

真空度記錄與文檔管理·

真空度與工藝參數(shù)優(yōu)化·

真空系統(tǒng)性能評估·

真空度規(guī)范在特殊工藝中的應用·

真空度規(guī)范發(fā)展趨勢目錄01真空熱處理技術概述相變與組織控制通過精確控制真空度和溫度，實現(xiàn)材料內(nèi)部組織的均勻轉(zhuǎn)變，提升硬度和耐磨性。氣體分壓調(diào)節(jié)利用惰性氣體(如氮氣、氬氣)分壓調(diào)控，平衡工藝需求與設備能耗，適用于精密合金的熱處理。低壓環(huán)境下的熱傳導在真空狀態(tài)下，氣體分子稀薄，主要通過輻射傳熱，避免氧化和脫碳現(xiàn)象，確保材料表面質(zhì)量。真空熱處理基本原理表面光潔度真空度低于10-2Pa

時，可避免金屬元素揮發(fā)和表面粗

糙度增加，尤其對精密模具至關重要。脫氣效果高真空(10-?Pa

以上)能有效去除材料內(nèi)部氫、氧等

有害氣體，提升航空航天部件的疲勞壽命。合金元素穩(wěn)定性如鉻、釩等易氧化元素在10-3Pa

以下真空度中可保持

化學穩(wěn)定性，避免晶界脆化。真空度對熱處理質(zhì)量的影響高壓氣淬真空爐多室連續(xù)式真空爐真空釬焊爐專為異種金屬連接設計，真空度10-3Pa

配合精準溫控(±3℃),確保焊料流動均勻性。配備進出料鎖氣室，適合大批量處理軸承鋼，可實現(xiàn)10-5Pa

超高真空與可控氣氛切換。采用6-20bar氮氣淬火，兼顧冷卻速度與變形控制，廣泛用于高速鋼刀具處理。常見真空熱處理設備類型單室真空爐02真空度測量方法與標準熱傳導真空計基于氣體熱傳導原理，適用于低真空范圍(10^5~10^-1Pa),結(jié)構(gòu)簡單但精度受氣體

種類影響。電離真空計通過電離氣體分子測量壓強，覆蓋高真空至超高真空(10^-1~10^-9Pa),需配合電子

發(fā)射裝置使用。電容式薄膜真空計利用薄膜形變檢測壓力，精度高(0.

1%~1%誤差),適用于中高真空(

10^3~10^-4Pa),抗污染能力強。真空度測量儀器分類低真空(10^5~10^2

Pa)優(yōu)先選用壓阻式傳感器或電容薄膜規(guī)，響應時間<1秒，耐顆粒污

染能力強，適合工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境。中高真空(10^2~10^-3

Pa)推薦組合使用熱傳導規(guī)與電離規(guī)，通過交叉校準消除熱漂移誤差

,測量不確定度可達±5%。超高真空(<10^-3

Pa)必須采用磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)或冷陰極電離規(guī)，配備鈦升華泵降低本底

氣壓，測量需考慮出氣率與壁效應修正。特殊環(huán)境測量針對腐蝕性氣體需選用陶瓷傳感器，高溫環(huán)境(>400℃)適用光纖Bragg

光柵真空計，避免傳統(tǒng)電學元件失效。不同真空范圍的測量技術允差等級劃分DIN

28400將真空計分為0.5/1.0/1.5

三級，對應±0.5%~±1.5%讀數(shù)誤差

,我國JJF1059-2023

新增0.2級標準

器要求。校準規(guī)范差異ASTM

E2971-22要求校準周期≤12

個月，而GB/T

34872-2023對工業(yè)用

真空計允許24個月周期，但需增加期間核查。量值溯源體系國際標準ISO/TC112

采用靜態(tài)膨脹

法為基準，中國JJG2023-2023規(guī)

定使用標準壓縮式真空計作為國家

計量標準。國際/國內(nèi)真空度標準對比03真空系統(tǒng)構(gòu)成與關鍵部件極限真空度匹配根據(jù)熱處理工藝需求選擇泵型，例如低真空(2-1333Pa)

選用水環(huán)泵(極限絕對壓強3300Pa),高真空(1.3×10-2至6.6×10??

Pa)需搭配擴散泵或分子泵。需明確絕對壓強與相對壓強的換算關系(真

空度=大氣壓-絕對壓強),避免負號標注混淆。抽氣速率計算需結(jié)合真空爐容積和工藝放氣量確定，例如井式爐選用機械增壓泵(1.33-3×10-1Pa

范圍)時，抽速需覆蓋工件材料脫氣速率(如不銹鋼高溫放氣量約10-4Pa

·m3/s

·m2)。真空泵選型與性能要求高密封性結(jié)構(gòu)采用金屬波紋管密封或磁力驅(qū)動閥門，漏率需低于1×10-9Pa·m3/s,防止外部氣體滲入。對于頻繁啟閉的管道，應配備氣動擋板閥以降低磨損。耐高溫材料選擇閥門密封面需采用鎳基合金或陶瓷涂層，耐受300℃以上烘烤溫度

。法蘭連接處使用銅墊圈或氟橡膠O

型圈，確保在10-?

Pa

級真空下保持密封。智能聯(lián)鎖控制集成壓力傳感器實現(xiàn)閥門自動啟閉，例如當旋片泵預抽至10Pa

后

,電磁閥自動切換至高真空泵組

,避免油蒸氣反流污染腔體。真空閥門與密封系統(tǒng)首選304/316L不銹鋼，經(jīng)電解拋光或鈍化處理使表面放

氣

率

<5×10-7Pa·L/s·cm2

。

高

溫段(>800℃)需采用鉬

合金隔熱屏，減少熱輻射導致的材料放氣。采用雙層水冷壁設計，承受外部大氣壓差(0.1MPa)

的

同時控制熱變形。焊縫需進行氦質(zhì)譜檢漏，漏率需優(yōu)于

5×10-12Pa

·m3/s,

防止微

漏影響極限真空。真空腔體設計與材料選擇低放氣率材質(zhì)結(jié)構(gòu)強度優(yōu)化04真空度控制技術要求高精度傳感器集成采用電容式或電離規(guī)真空計，實時監(jiān)測真空腔體壓力，測量精度需達到±1%以內(nèi)，確

保工藝穩(wěn)定性。PLC閉環(huán)調(diào)節(jié)通過可編程邏輯控制器(PLC)動態(tài)調(diào)節(jié)機械泵、羅茨泵及擴散泵的啟停順序，實現(xiàn)10^-3Pa至10^-5Pa范圍內(nèi)的快速響應與穩(wěn)定控制。異常報警與冗余保護系統(tǒng)需配置壓力閾值超限報警模塊，并聯(lián)動備用泵組自動切換，防止真空度波動導致工

件氧化或脫碳缺陷。真空度自動控制系統(tǒng)泄漏率實時監(jiān)測集成氦質(zhì)譜檢漏模塊，每15

分鐘自動執(zhí)行保壓測試。允

許泄漏率<1×10-9Pa

·m3/s,

超出標

準時系統(tǒng)自動定位泄漏區(qū)域

并提示O

型圈更換或法蘭緊

固方案

。溫度-真空耦合控制建立真空度與加熱功率的數(shù)學模型，當檢測到油蒸氣分

壓上升時，自動降低加熱速率(如>10-2Pa

時限制升溫

率≤5℃/min)。

采用冷阱

捕集技術將油蒸氣分壓控制

在<10-?

Pa水平。材料放氣量補償針對不同工件材質(zhì)(如鈦合金/陶瓷)預設放氣率參數(shù)庫，通過預熱除氣程序減少

突發(fā)放氣。采用差分抽氣技

術，在腔室不同區(qū)域布置輔

助抽氣口，將局部壓力差控

制在<3%的梯度范圍內(nèi)。真空度波動范圍控制氣體回填精準調(diào)控在淬火階段注入高純氮氣(99.999%)

,通過質(zhì)量流量計控制進氣速率，使壓力從10-3Pa升至105Pa的過程耗時精確到±0.5秒。壓力曲線斜率可調(diào)范圍0.1-50MPa/s,滿足不同材料冷卻速率需求相變點壓力匹配針對材料相變特性(如鋁合金固溶處理),動態(tài)調(diào)整真空度使飽和蒸氣壓與處

理溫度匹配。例如在1200℃時維持1×10-2Pa

真空度，避免元素揮發(fā)同時保證脫氣效果。真空度與溫度協(xié)同控制05真空度分級規(guī)范預抽真空階段在熱處理初期，設備需要通過低真空快速排出爐內(nèi)大部分空氣，減少后續(xù)高真空階段的抽氣時間，提高整體效率。除氣預處理在工件進入高真空環(huán)境前，低真空階段可初步去除材料表面吸附的氣體和揮發(fā)性雜質(zhì),為后續(xù)高質(zhì)量熱處理奠定基礎。退火工藝應用低真空環(huán)境適用于部分金屬材料的退火處理，能有效減少氧化現(xiàn)象，同時保持較低的生產(chǎn)成本。低真空(10^5-10^2Pa)應用場景溫度均勻性控制中真空環(huán)境下需精確控制爐內(nèi)溫度分布，溫差需保持在±5℃以內(nèi)，以確保材料組織轉(zhuǎn)變的均勻性。抽氣速率優(yōu)化該階段需采用羅茨泵+機械泵組合系統(tǒng),抽速應穩(wěn)定在200-400L/s,確保真空度平穩(wěn)過渡至高真空區(qū)間。氣體分壓調(diào)節(jié)針對合金鋼等特殊材料，需通過引入適量惰性氣體調(diào)節(jié)氧分壓，防止元素揮發(fā)同時抑制氧化反應。工件表面處理中真空環(huán)境下可進行滲碳工藝，要求碳勢控制在0.8-1.2%范圍內(nèi)，爐壓波動不超過額定值的10%。中真空(10^2-10^-1Pa)工藝要求極限真空保持殘余氣體分析材料純凈度保障高真空(10^-1-10^-6Pa)技術標準在高溫工作狀態(tài)下，系統(tǒng)須維持10^-5Pa

級真空度，擴散泵組需配

備液氮冷阱以捕獲油蒸氣分子。要求H2O

、02

等活性氣體分壓均低于10^-4Pa,

需配備四極質(zhì)譜儀

進行實時監(jiān)測，避免材料表面污染。高真空環(huán)境下處理的精密合金件，其表面氧化物含量應小于0.1μm

,晶界偏析物需通過俄歇能譜驗證達標。06真空度與材料處理關系不銹鋼需采用高真空(10^-3Pa以上),避免鉻元素氧化導致耐腐蝕性下降，同時確保碳化物均勻析出。鈦合金要求超高真空(10^-5Pa以上),防止高溫下與殘余氧氣反應生成脆性氧化層，影響疲勞強度。鋁合金中等真空(10^-1~10^-2Pa)即可，過高真空可能導致鎂元素揮發(fā)，破壞合金成分平衡。不同金屬材料的真空度要求氫氣脫除真空度需達10^-2

Pa以上，促使氫原

子從金屬晶格逸出，避免氫脆現(xiàn)象。雜質(zhì)氣體殘留真空度低于10^-4Pa時，可顯著降低氮、氧等雜質(zhì)氣體含量，提高材料純

度?？紫堵士刂聘哒婵?10^-3

Pa)

能有效減少鑄件

內(nèi)部氣孔，提升材料致密度和機械性

能。脫氣速率優(yōu)化真空泵抽速與爐膛容積需匹配，確?？焖龠_到目標真空度以避免脫氣不徹

底。真空度對脫氣效果的影響真空度與表面氧化的關系01.臨界氧分壓真空度需低于材料氧化臨界分壓(如鐵在800℃時為10^-4Pa),徹底阻斷氧化反應。02.光亮退火效果10^-3Pa以上真空環(huán)境可使不銹鋼表面形成單分子層氧化膜，保持金屬光

澤。03.殘余水汽影響真空系統(tǒng)露點需≤-60℃,防止微量水汽在高溫下分解導致局部氧化斑點。07真空度異常問題診斷常見真空泄漏原因分析密封件老化失效真空系統(tǒng)中的O型圈、法蘭密封墊等橡膠部件長期受熱或化學腐蝕會導致硬化、龜裂，造成密封性能下降，需定期檢查更換。焊縫或殼體微裂紋設備腔體焊接處可能因熱應力產(chǎn)生微觀裂紋，或材料疲勞導致貫穿性缺陷，需采用氦質(zhì)譜檢漏儀定位漏點并補焊。真空閥門關閉不嚴高真空擋板閥、蝶閥的密封面存在顆粒污染或機械磨損時，會導致關閉狀態(tài)下仍存在氣體通道，需清潔或研磨密封面。03

工藝氣體釋放熱處理工件表面吸附的水汽、油脂在

高溫下釋放，或材料本身含氣量高，

需增加預抽時間或設置烘烤程序。02

真空計讀數(shù)異常熱偶規(guī)管老化或電離規(guī)管電極污染會

造成測量偏差，應通過標準真空計進

行交叉校驗并校準。04

系統(tǒng)污染累積真空室內(nèi)壁沉積的金屬蒸氣或碳化物

會形成多孔吸附層，需定期進行等離

子清洗或化學溶劑擦拭。機械泵油污染、旋片磨損或擴散泵硅

油裂解都會導致抽速下降，需定期更

換油品并檢測泵的極限真空度。真空度下降故障排查真空泵性能衰減周期性檢漏測試每月使用氦質(zhì)譜儀對焊縫、法蘭等關鍵部位進行≤1×10-9Pa

·m3/s的漏率檢

測，重點監(jiān)控動密封部位。真空泵分級保養(yǎng)機械泵每500小時更換專用油，擴散泵每年清洗噴嘴并更換硅油，分子泵軸承

每8000小時進行潤滑維護。真空元件預防性更換電離規(guī)管每2年強制更換，密封圈每3年整體更換，高真空閥門密封件根據(jù)使

用頻次每1-2年更新。真空系統(tǒng)維護要點08真空度驗證與測試方法模擬實際生產(chǎn)條件，在不同工件裝載量下測試真空度變化，評估設備在動

態(tài)工況下的穩(wěn)定性。泄漏率計算通過關閉抽氣系統(tǒng)后單位時間內(nèi)壓力上升值，計算系統(tǒng)泄漏率，確保符合

國際標準(如ASTM

E2971)。持續(xù)監(jiān)測法采用高精度真空計對設備進行24小時真空度穩(wěn)定性測試連續(xù)監(jiān)測，記錄壓力波動范圍，確保負載變化測試極限真空度測試基礎壓力測定使用電離規(guī)管測量系統(tǒng)在48小時連續(xù)抽氣后的最低壓力值，要求達到10^-6Pa

量級(高真空設備)并維持4小時不衰減。泵組性能驗證對比機械泵+分子泵組合與低溫泵的極限真空差異，需符合GB/T3163-2007中規(guī)定的抽氣曲線斜

率要求。殘余氣體成分分析通過四極桿質(zhì)譜儀檢測極限真空下的氣體組分，水蒸氣和碳氫化合物分壓占比不得超過總壓力的15%。系統(tǒng)放氣率計算采用壓力上升法測量單位時間內(nèi)腔體壓力變化，

金屬密封系統(tǒng)放氣率應低于5×10^-10Pa·m3/s·m2。02040103管路流導測試通過分段測量法計算法蘭、閥門等部件的流導損失，要求總流導不低于泵口抽速的90%。多泵并聯(lián)性能評估對集群式真空系統(tǒng)進行交叉抽氣測試，驗證各泵組負載均衡度差異應控制在±5%以內(nèi)。有效抽速校準在10^-3Pa

至10^-5Pa

區(qū)間設置5個壓力點，用標準漏孔法測定實際抽速與標稱值偏差需≤8%。抽氣速率測試規(guī)范09真空度安全操作規(guī)范階梯式抽真空操作先啟動機械泵抽至低真空(10^0-10^-1Pa),再開啟羅茨泵過渡至中真空(10^-1-10^-2Pa),最后啟用擴散泵達到高真空(10^-3-10^-5

Pa),

避免因壓差過大導致油蒸汽反流。殘余氣體監(jiān)測在啟動和關閉過程中需持續(xù)監(jiān)測殘余氣體分析儀(RGA)數(shù)據(jù)，特別關注水蒸氣、氫氣分壓

變化，防止因放氣現(xiàn)象導致真空度波動超過工

藝閾值。系統(tǒng)預檢流程啟動前需檢查機械泵油位、擴散泵冷卻水流

量、真空閥門密封性及電源穩(wěn)定性，確保各

部件無泄漏或異常磨損。關閉時需按順序停

止加熱電源、關閉高真空閥，待爐溫降至真空系統(tǒng)啟動/關閉程序1突發(fā)失壓響應當真空度在10秒內(nèi)驟降超過1個數(shù)量級時，立即啟動緊急充氣閥

注入高純氮氣，同步關閉所有高真空閥門，排查法蘭密封圈或觀

察窗破裂等物理泄漏點。4數(shù)據(jù)追溯分析通過真空數(shù)據(jù)記錄系統(tǒng)回溯異常

前2小時的壓強-溫度曲線，重點

分析異常點前是否存在緩慢上升的氦氣分壓(可能預示微小漏孔

)。2油污染處理若擴散泵返油導致真空度持續(xù)劣

化(油蒸汽分壓>10^-4Pa),需停機更換分子篩吸附阱，并使

用丙酮超聲清洗被污染的加熱器

電極和熱偶規(guī)管。3電源故障預案突發(fā)停電時自動切換UPS電源維持前級泵運轉(zhuǎn)至少30分鐘，防止

大氣倒灌損壞擴散泵。配備手動泄壓閥作為二級保護裝置。真空度異常應急處理化學暴露控制接觸清洗用的三氯乙烯等溶劑時，需在局部排風罩下操作，佩戴有機蒸氣防護面具

(OV

級別濾毒盒),現(xiàn)場配置可燃氣體檢測儀。電離輻射防護處理X射線衍射儀聯(lián)用設備時，需穿戴0.5mm

鉛當量圍裙，確保真空室鉛玻璃觀察窗完整性，年累積劑量不超過1mSv。高溫燙傷預防操作1000℃以上高溫爐時必須使用雙層石棉手套，開啟爐門前確認表面溫度低于60℃,并在工作區(qū)設置紅外熱成像報警裝置。操作人員安全防護10真空度記錄與文檔管理多級真空分段記錄針對低真空(1×103Pa~1×10-1Pa)、高真空(1×10-1

Pa~1×10-5Pa)等不同階段，需分別記錄真空度變

化曲線，并標注關鍵節(jié)點(如泄漏率測試點)。實時監(jiān)測與記錄真空熱處理設備需配備高精度真空計，實時監(jiān)測并記錄真空度數(shù)據(jù)，確保工藝參數(shù)(如壓力范圍、抽氣速率)符合標準，數(shù)據(jù)存儲間隔不超過5分鐘。異常事件標注若真空度波動超過允許范圍(如±5%),需在記錄中明確標注原因(如系統(tǒng)泄漏、泵故障)及處理措施，形成閉環(huán)管

理

。真空度數(shù)據(jù)記錄要求趨勢比對與工藝優(yōu)化通過歷史數(shù)據(jù)對比同一設備不同批次的真空度曲線，識別重復性偏差(如抽氣時間延長),優(yōu)化抽氣程序或維護周期。故障根因追溯結(jié)合真空度驟降、波動等異常數(shù)據(jù)與設備日志(如閥門動作記錄),定位故障源(如密封圈失效、真空規(guī)管污染

)

。設備性能退化評估分析長期數(shù)據(jù)(如半年至一年)中的真空度衰減趨勢(如極限真空下降速率),預判機械泵、擴散泵的老化程度，制定預防性維護計劃。能效比計算統(tǒng)計單位時間內(nèi)真空度達標所需的能耗(如電能、冷卻水消耗),評估設備能效，為節(jié)能改造提供依據(jù)。真空度歷史數(shù)據(jù)分析全生命周期數(shù)據(jù)歸檔從設備驗收開始，歸檔真空度測試報告(如空爐抽氣曲線)、定期校準記錄(如真空計校驗證書),形成完整

性能檔案。關鍵部件更換記錄詳細記錄真空泵、密封件等核心部件的更換時間、型號

及更換后性能測試數(shù)據(jù)，關聯(lián)真空度穩(wěn)定性變化。第三方驗證報告定期邀請第三方機構(gòu)對設備真空性能進行認證(如ISO3529標準符合性測試),并將報告納入檔案以增強可

信度。設備真空性能檔案建立11真空度與工藝參數(shù)優(yōu)化提升能源利用效率通過優(yōu)化真空度(如中真空范圍10-2~10-1

Pa)與階梯

式加熱程序匹配，減少無效熱損耗，縮短工藝周期，降

低生產(chǎn)成本。防止材料氧化與變形在真空環(huán)境下加熱可避免工件表面與氧氣接觸，但真空

度過高會導致熱傳導效率下降，需根據(jù)材料特性(如導

熱系數(shù)、熱容)動態(tài)調(diào)整加熱速率，確保溫度均勻性。真空度與加熱速率匹配預熱階段采用低真空(10-1~10Pa)

快速升溫，減少工件內(nèi)外

溫差應力，避免開裂風險。均熱階段切換至高真空(10-3~10-?

Pa)抑制合金元素揮發(fā)，保

證成分穩(wěn)定性，適用于鈦合金等活性金屬。淬火階段根據(jù)冷卻介質(zhì)(如氮氣、氬氣)特性調(diào)節(jié)真空度至

10-2~10-1Pa,

平衡冷卻速度與工件變形量。真空熱處理需分階段精準調(diào)控真空度，以實現(xiàn)材料組織轉(zhuǎn)變與表面質(zhì)量的雙重目標不同工藝階段的真空度控制氣體類型與壓力影響·

惰性氣體(如氬氣)在10

-1

Pa

壓力下可加速對流換熱，適用于高

合金鋼的快速冷卻需求?！?/p>

氫氣因其高導熱性，在10-2

Pa

低壓環(huán)境下能實現(xiàn)超高速冷卻，

但

需嚴格防爆措施。真空度梯度控制技術·

采用多級真空泵組實現(xiàn)動態(tài)壓力調(diào)節(jié)(如從10-3Pa

逐步升至10-1Pa),

避免冷卻初期因壓力驟變導致的工件表面缺陷?！?/p>

結(jié)合智能傳感器實時監(jiān)測真空度與溫度曲線，自動匹配最佳冷卻

參數(shù)，提升工藝重復性。真空度與冷卻速度關系12真空系統(tǒng)性能評估真空系統(tǒng)抽氣能力評估極限真空度測試通過關閉所有進氣閥門，運行真空泵至穩(wěn)定狀態(tài)，記錄系統(tǒng)能達到的最低壓力值。測試需考慮泵的抽速、系統(tǒng)容積和氣體負荷等因素，通常要

求達到10^-3Pa至10^-5Pa

范圍，具體數(shù)值根據(jù)工藝需求而定。抽氣速率測量使用標準漏孔或已知流量氣體注入系統(tǒng)，監(jiān)測壓力變化曲線，計算單位時間內(nèi)排除的氣體體積。抽速應滿足工藝要求，例如大型真空爐需維持

≥1000

L/s的抽速以確?？焖倥艢狻Ｕ婵毡３中阅軠y試靜態(tài)升壓率檢測在達到極限真空后關閉所有泵組，記錄單位時間內(nèi)壓力上升值。優(yōu)質(zhì)

系統(tǒng)要求升壓率≤0.5Pa/h,反映

系統(tǒng)泄漏和材料放氣綜合性能，需

排除溫度波動引起的誤差。動態(tài)保壓測試模擬實際工作狀態(tài)，在持續(xù)抽氣條件下監(jiān)測壓力穩(wěn)定性。要求壓力波

動幅度不超過設定值的±5%,特別

關注周期性波動可能暗示機械泵或

閥門故障。長期穩(wěn)定性驗證連續(xù)運行72小時以上，記錄真空度變化趨勢。高性能系統(tǒng)應保持真空

度衰減不超過初始值的10%,關鍵

參數(shù)包括密封件老化速率和油蒸氣返流情況。使用氦氣作為示蹤氣體，通過質(zhì)譜儀檢測泄漏點，靈敏

度可達10^-12

Pa·m3/s。重點檢測法蘭連接處、電極引入端等易漏部位，要求總

漏率小于系統(tǒng)允許漏率的1/10。向系統(tǒng)充入干燥氮氣至正壓,監(jiān)測壓力下降速率。該方法適用于粗檢漏，可快速定位≥10^-5Pa

·m3/s的泄漏點，需配合超聲波檢測輔助定位微小漏孔。系統(tǒng)密封性檢測方法壓力衰減法氦質(zhì)譜檢漏真空度規(guī)范在特殊工藝中的應用13基礎真空度要求真空釬焊工藝通常要求基礎真空度達到10-3Pa

至10-?Pa,

以確保焊接過程中無氧

化和雜質(zhì)干擾，提高釬料流

動性和接頭強度。分段真空調(diào)控針對不同材料(如鋁合金或不銹鋼),需分段調(diào)節(jié)真空

度。例如，鋁合金釬焊前期

需10-2Pa

除氣，后期升至

10-?Pa

以優(yōu)化釬料潤濕性。動態(tài)泄漏率控制工藝過程中需保持動態(tài)泄漏率低于5×10-2Pa·m3/s,避免外部氣體滲入導致焊接缺陷，如氣孔或虛焊。真空釬焊工藝真空度要求升溫至300℃前需保持10-2Pa以去除表面吸附氣體，后續(xù)每升高100℃調(diào)整真空度至更低水平(如10-3Pa)。升溫階段真空維持全程監(jiān)控CO、H?O等殘余氣體分壓，確保其分壓總和不超過10-3