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靜電防護(hù)培訓(xùn)試題及答案一、單項(xiàng)選擇題(每題2分,共30分)1.某電子裝配車間相對(duì)濕度長期低于30%,操作員穿普通滌綸工裝直接觸碰CMOS器件,最可能發(fā)生的失效模式是A.熱擊穿B.金屬電遷移C.柵氧擊穿D.閂鎖效應(yīng)答案:C2.依據(jù)IEC6134051,EPA區(qū)域允許的最大靜電壓是A.50VB.100VC.250VD.500V答案:B3.下列哪種材料表面電阻符合“靜電耗散”定義A.1×10?Ω/□B.1×10?Ω/□C.1×1011Ω/□D.1×1013Ω/□答案:B4.使用離子風(fēng)機(jī)時(shí),為平衡正負(fù)離子輸出,應(yīng)優(yōu)先調(diào)節(jié)的參數(shù)是A.風(fēng)速B.離子發(fā)射針角度C.高壓頻率D.針尖曲率半徑答案:C5.現(xiàn)場測得某接地腕帶系統(tǒng)對(duì)地電阻為5MΩ,依據(jù)ANSI/ESDS1.1,該結(jié)果A.合格B.需加限流電阻C.超限,須立即更換D.合格但需加濕度控制答案:C6.對(duì)FIB(聚焦離子束)設(shè)備實(shí)施ESD防護(hù)時(shí),最關(guān)鍵的接口是A.真空泵外殼B.樣品臺(tái)接地C.離子源高壓D.電子槍燈絲答案:B7.某工廠采用“綠環(huán)”接地,其母線對(duì)地電阻實(shí)測0.8Ω,該值A(chǔ).超過IEC60364要求B.滿足EPA接地規(guī)范C.需降阻到0.1Ω以下D.僅適用于防雷答案:B8.在100級(jí)潔凈室內(nèi),下列哪項(xiàng)操作必須佩戴指套而非手套A.晶圓貼片B.引線鍵合目檢C.芯片粘接D.成品測試答案:B9.使用CPM(ChargePlateMonitor)校準(zhǔn)離子風(fēng)機(jī),標(biāo)準(zhǔn)充電電壓為A.±100VB.±500VC.±1000VD.±5000V答案:C10.對(duì)ESDS器件實(shí)施屏蔽包裝時(shí),最外層屏蔽袋的厚度應(yīng)A.≥25μmB.≥50μmC.≥75μmD.≥100μm答案:B11.現(xiàn)場發(fā)現(xiàn)某員工將防靜電泡沫墊當(dāng)普通泡沫裁切,會(huì)導(dǎo)致A.表面電阻升高B.表面電阻降低C.體積電阻升高D.介電常數(shù)下降答案:A12.下列哪項(xiàng)不是腕帶系統(tǒng)日常點(diǎn)檢項(xiàng)目A.對(duì)地電阻B.限流電阻C.帶體抗拉強(qiáng)度D.帶體顏色答案:D13.采用“兩點(diǎn)式”鞋束測試時(shí),合格阻值范圍應(yīng)為A.1×10?~1×10?ΩB.1×10?~1×10?ΩC.1×10?~1×10?ΩD.1×10?~1×101?Ω答案:A14.某BGA在回流焊后發(fā)生“枕頭效應(yīng)”,其根本誘因與ESD關(guān)聯(lián)最大的是A.焊盤污染B.濕氣膨脹C.靜電吸附微塵D.錫膏氧化答案:C15.依據(jù)JEDECJESD625,帶板運(yùn)輸ESDS器件時(shí),屏蔽袋封口方式應(yīng)A.單折一次B.雙折加ESD標(biāo)簽C.熱封≥5mmD.訂書機(jī)封口答案:C二、多項(xiàng)選擇題(每題3分,共30分)16.下列哪些屬于EPA必備要素A.接地系統(tǒng)B.濕度控制C.離子化設(shè)備D.警示標(biāo)識(shí)E.防靜電地板蠟答案:A,B,D17.關(guān)于靜電屏蔽袋的使用,正確的是A.可重復(fù)使用但須檢驗(yàn)B.破損后可用膠帶粘貼C.禁止在袋內(nèi)放置普通塑料袋D.熱封后須做屏蔽效能驗(yàn)證E.可折疊存放于普通紙箱答案:A,C,D18.導(dǎo)致離子風(fēng)機(jī)平衡度超標(biāo)的原因有A.發(fā)射針鈍化B.高壓模塊老化C.風(fēng)速過大D.過濾器堵塞E.環(huán)境濕度>70%答案:A,B,C,D19.下列哪些測試可判定地板材料是否為靜電耗散型A.ANSI/ESDSTM7.1B.IEC6134041C.ASTMD257D.ANSI/ESDSTM97.1E.MILPRF81705答案:A,B,C20.關(guān)于人員接地,說法正確的是A.腕帶必須貼膚B.鞋束可與棉襪接觸C.禁止同時(shí)佩戴金屬手鏈D.鞋束系統(tǒng)可與腕帶并聯(lián)E.干燥環(huán)境下需加導(dǎo)電鞋墊答案:A,C,E21.下列哪些場景必須采用離子化中和A.打開屏蔽袋前B.晶圓暴露于低濕環(huán)境C.操作非接地金屬治具D.使用吸筆搬運(yùn)裸DieE.成品包裝外箱封口答案:A,B,C,D22.對(duì)ESDS器件進(jìn)行FTP(FoilTestPackage)驗(yàn)證時(shí),需監(jiān)測A.屏蔽效能>20dBB.表面電位<50VC.放電時(shí)間<2sD.袋內(nèi)濕度<5%E.跌落高度1.2m無破損答案:A,B,C23.下列哪些屬于靜電危害的次級(jí)效應(yīng)A.微粒吸附B.電磁干擾C.金屬腐蝕D.誤碼率上升E.焊盤氧化答案:A,B,D24.關(guān)于接地母線,正確的是A.可與防雷共用B.需用黃綠色絕緣層C.截面積≥4mm2銅線D.需每年測一次接地電阻E.可與中性線混接答案:B,C,D25.下列哪些操作會(huì)降低防靜電臺(tái)墊性能A.用酒精擦拭后未充分晾干B.堆疊普通PET薄膜C.用刀片裁切D.長期受紫外燈照射E.表面涂硅油答案:A,B,C,D,E三、判斷題(每題1分,共10分)26.靜電接地可與設(shè)備動(dòng)力接地共用同一接地點(diǎn)。答案:√27.只要穿防靜電鞋,不戴腕帶也可操作ESDS器件。答案:×28.屏蔽袋表面電阻越小,屏蔽效能越高。答案:×29.離子風(fēng)機(jī)發(fā)射針越尖,平衡度越好。答案:×30.防靜電服洗滌后須重新測試點(diǎn)間電阻。答案:√31.環(huán)境濕度高于60%時(shí)可完全取消離子化設(shè)備。答案:×32.防靜電地板蠟屬于暫時(shí)性耗散材料。答案:√33.依據(jù)IEC6134051,EPA內(nèi)允許使用普通膠帶。答案:×34.采用“軟接地”時(shí),系統(tǒng)對(duì)地電阻可大于1GΩ。答案:×35.靜電敏感符號(hào)為黑色三角形內(nèi)有一手形圖案。答案:√四、填空題(每空2分,共20分)36.依據(jù)ANSI/ESDSTM11.11,防靜電平面材料表面電阻測試電壓為________V。答案:10037.腕帶系統(tǒng)限流電阻通常取________MΩ,以保障人身安全。答案:138.離子風(fēng)機(jī)平衡度合格范圍為±________V。答案:5039.防靜電臺(tái)墊表面電阻合格下限為________Ω。答案:1×10?40.依據(jù)JEDECJESD625,運(yùn)輸ESDS器件的屏蔽袋屏蔽效能應(yīng)>________dB。答案:2041.接地母線與建筑物鋼筋多點(diǎn)連接時(shí),應(yīng)采用________方式防止環(huán)流。答案:單點(diǎn)42.采用“C”型測試夾測量鞋束系統(tǒng)時(shí),兩電極間距為________mm。答案:30043.防靜電服點(diǎn)間電阻測試電壓為________V。答案:10044.依據(jù)IEC6134045,地板對(duì)地電阻測試時(shí),施加電壓________V。答案:50045.靜電衰減測試標(biāo)準(zhǔn)中,衰減到初始電壓的________%所需時(shí)間為衰減時(shí)間。答案:10五、簡答題(每題10分,共30分)46.簡述建立EPA的五步流程,并說明關(guān)鍵驗(yàn)證點(diǎn)。答案:1.區(qū)域劃分:按工藝風(fēng)險(xiǎn)將車間劃分為EPA與非EPA,用黃黑斑馬線標(biāo)識(shí)邊界,驗(yàn)證標(biāo)識(shí)完整性與清晰度。2.接地系統(tǒng)設(shè)計(jì):采用共用等電位接地,母線銅排截面積≥4mm2,驗(yàn)證點(diǎn):母線對(duì)地電阻<1Ω,用微歐計(jì)復(fù)測。3.環(huán)境控制:濕度45%–65%,溫度22℃±3℃,驗(yàn)證點(diǎn):每日記錄并繪制趨勢圖,超標(biāo)時(shí)啟動(dòng)加濕或除濕。4.設(shè)備與耗材配置:臺(tái)墊、地板、腕帶、離子風(fēng)機(jī)、屏蔽袋均需符合IEC6134051,驗(yàn)證點(diǎn):表面/體積電阻、平衡度、屏蔽效能按季度抽檢。5.人員培訓(xùn)與考核:三級(jí)培訓(xùn)(入職、年度、換崗),驗(yàn)證點(diǎn):現(xiàn)場抽問+實(shí)操考核合格率>90%,不合格者停崗復(fù)訓(xùn)。47.說明離子風(fēng)機(jī)在半導(dǎo)體封裝工序中的三種典型應(yīng)用場景,并給出參數(shù)設(shè)定依據(jù)。答案:場景1:DieBond前中和晶圓靜電,設(shè)定:風(fēng)速0.3m/s,平衡度±15V,依據(jù):晶圓表面電位需<50V,避免吸筆吸附錯(cuò)位。場景2:WireBond工位消除塑封料靜電,設(shè)定:脈沖頻率20Hz,風(fēng)速0.5m/s,依據(jù):塑封料表面電阻高(>1011Ω),需快速中和。場景3:FinalVisual工位去除透鏡表面微粒,設(shè)定:采用“軟風(fēng)”模式0.2m/s,平衡度±10V,依據(jù):避免吹動(dòng)微小透鏡,同時(shí)中和靜電吸附力。48.某工廠在回流焊后發(fā)現(xiàn)5%的BGA焊球出現(xiàn)“不潤濕”,經(jīng)排查與ESD相關(guān),請(qǐng)給出完整根因分析及改善措施。答案:根因:1.焊前PCB暴露于低濕(35%RH)環(huán)境8h,焊盤表面積累靜電吸附車間PM1.0微粒,形成污染膜。2.操作員未佩戴腕帶,人體靜電壓達(dá)800V,觸碰PCB瞬間放電,焊盤表面氧化層增厚。3.屏蔽袋重復(fù)使用且封口熱封溫度不足,屏蔽效能降至12dB,運(yùn)輸途中摩擦起電使PCB帶電量達(dá)200V。改善:1.將存儲(chǔ)區(qū)域濕度提升至55%RH,增加自循環(huán)FFU過濾效率至99.999%@0.1μm。2.強(qiáng)制腕帶在線監(jiān)測,阻值>35MΩ立即停線。3.屏蔽袋一次性使用,熱封溫度調(diào)至180℃,封口寬度≥6mm,每批抽檢屏蔽效能>20dB。4.回流焊前增加離子風(fēng)刀,確保PCB表面電位<30V。5.建立SPC管控圖,焊球不潤濕率降至<200ppm。六、計(jì)算題(每題15分,共30分)49.某EPA內(nèi)操作員對(duì)地電容為150pF,人體靜電壓為1000V,若通過1MΩ限流電阻放電,求:(1)0.1ms時(shí)刻的瞬時(shí)電流;(2)放電至36.8%初始電壓所需時(shí)間;(3)若限流電阻改為10MΩ,重新計(jì)算(2)并評(píng)估安全性。答案:(1)i(t)=V?/R·e^(?t/RC)=1000V/1MΩ·e^(?0.1ms/0.15ms)=0.513mA。(2)τ=RC=1MΩ×150pF=150μs,降至36.8%即1τ=150μs。(3)τ'=10MΩ×150pF=1.5ms,時(shí)間延長10倍;人體感知電流<0.5mA,安全性提高,但放電變慢,需評(píng)估工藝節(jié)拍。50.一塊尺寸為200mm×200mm×1mm的防靜電PC板,表面電阻測試值1×10?Ω/□,體積電阻測試值1×10?Ω·cm,現(xiàn)將其作為工作臺(tái)墊,操作員腕帶對(duì)板中心點(diǎn)電阻實(shí)測5×1
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