CCSQ53T/ZZB2283—2021半導(dǎo)體級碳化硅單晶用超高純石墨粉Ultra-highpuritygraphitepowderforsemiconductorsiliconcarbidecrystal2021-08-26發(fā)布2021-09-26實施浙江省品牌建設(shè)聯(lián)合會發(fā)布IT/ZZB2283—2021前言 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語和定義 14產(chǎn)品命名 15基本要求 16技術(shù)要求 27試驗方法 38檢驗規(guī)則 39標(biāo)識、包裝、運輸和貯存 4 5附錄A（資料性）雜質(zhì)元素 6T/ZZB2283—2021本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任。本文件由浙江省品牌建設(shè)聯(lián)合會提出并歸口管理。本文件由浙江省標(biāo)準(zhǔn)化研究院牽頭組織制定。本文件主要起草單位：中鋼新型材料股份有限公司。本文件參與起草單位：冶金工業(yè)信息標(biāo)準(zhǔn)研究院。本文件主要起草人：楊輝、肖紹懿、姜閱、吳厚政、張遜熙、王曉遠(yuǎn)、朱東鋒、徐建平、毛玉珍、劉升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彥龍。本文件評審專家組長：徐海平。本文件由浙江省標(biāo)準(zhǔn)化研究院負(fù)責(zé)解釋。T/ZZB2283—20211半導(dǎo)體級碳化硅單晶用超高純石墨粉本文件規(guī)定了半導(dǎo)體級碳化硅單晶用超高純石墨粉的術(shù)語和定義、材料規(guī)格說明、基本要求、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)識、包裝、運輸和貯存、質(zhì)量承諾。本文件適用于純度達(dá)到5N（99.999wt%）以上的半導(dǎo)體級碳化硅單晶用石墨粉。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件，不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值表示和判定GB/T8718炭素材料術(shù)語GB/T8719炭素材料及其制品的包裝、標(biāo)志、儲存、運輸和質(zhì)量證明書的一般規(guī)定GB/T粒度分析激光衍射法GB/T19587氣體吸附BET法測定固態(tài)物質(zhì)比表面積JY/T0584掃描電子顯微鏡分析方法通則YB/T5146高純石墨制品灰分的測定ISO/TS15338表面化學(xué)分析輝光放電質(zhì)譜測定法操作規(guī)程（Surfacechemicalanalysis—Glowdischargemassspectrometry—Operatingprocedures）3術(shù)語和定義GB/T8718界定的術(shù)語和定義適用于本文件。4產(chǎn)品命名材料規(guī)格涵義如下所示，具體材料規(guī)格見表1。CPNoN5表示5N以上，即99.999wt%以上表示粒度D50時的粒度數(shù)值表示粉體表示碳5基本要求5.1設(shè)計研發(fā)T/ZZB2283—20212具備根據(jù)客戶需求，優(yōu)化設(shè)計提純超高純石墨粉產(chǎn)品的能力。5.2原料應(yīng)采用灰分低于0.1%的天然石墨或人造石墨，原料的灰分檢驗方法符合YB/T5146的規(guī)定。5.3工藝及裝備5.3.1原料經(jīng)預(yù)提純后，在高溫下采用鹵素氣體完成石墨粉的提純工藝。5.3.2生產(chǎn)設(shè)備為高溫純化爐，最高溫度可達(dá)2600℃以上。5.4檢驗檢測5.4.1具備對原材料灰分，產(chǎn)品粒度、比表面積、雜質(zhì)元素含量、微觀形貌等項目進(jìn)行檢測能力。5.4.2配備激光粒度儀、比表面積測試儀、輝光放電質(zhì)譜儀、掃描電鏡等檢測儀器。6技術(shù)要求6.1粒度與比表面積石墨粉的粒度及比表面積要求應(yīng)符合表1規(guī)定。表1粒度及比表面積要求6.2雜質(zhì)元素含量石墨粉的雜質(zhì)元素含量要求應(yīng)符合表2規(guī)定。表2雜質(zhì)元素含量要求BPVT/ZZB2283—202136.3微觀形貌典型石墨粉的形貌為光滑圓潤狀態(tài)，且能清晰分辨出原料為天然鱗片石墨，見圖1。圖1石墨粉微觀形貌7試驗方法7.1粒度石墨粉的粒度檢驗方法按GB/T19077的規(guī)定進(jìn)行，數(shù)值修約按GB/T8170的規(guī)定進(jìn)行。7.2比表面積石墨粉的比表面積檢驗方法按GB/T19587的規(guī)定進(jìn)行，數(shù)值修約按GB/T8170的規(guī)定進(jìn)行。7.3雜質(zhì)元素含量石墨粉的雜質(zhì)元素含量檢驗方法按ISO/TS15338的規(guī)定進(jìn)行，數(shù)值修約按GB/T8170的規(guī)定進(jìn)行。7.4微觀形貌石墨粉的微觀形貌檢驗方法按JY/T0584的規(guī)定進(jìn)行。8檢驗規(guī)則8.1檢驗分類檢驗分為出廠檢驗、型式檢驗。8.2組批由同一批次原料，按相同的配方及工藝，在同一爐生產(chǎn)的同一規(guī)格產(chǎn)品為一批。8.3抽樣石墨粉的取樣數(shù)量按表3的規(guī)定，每份樣品重量不少于10g。T/ZZB2283—20214表3取樣數(shù)量的規(guī)定1248.4出廠檢驗8.4.1出廠檢驗項目按表4的規(guī)定。表4檢驗項目—√—√√√—√8.4.2結(jié)果判定如下規(guī)定：產(chǎn)品的雜質(zhì)元素含量檢測結(jié)果不合格，允許從該批次中雙倍取樣，對不合格項目進(jìn)行復(fù)驗。復(fù)驗合格仍判為合格，復(fù)驗不合格則判定該批產(chǎn)品為不合格。8.5型式檢驗8.5.1有下列情況之一時應(yīng)進(jìn)行型式檢驗，型式檢驗取2份樣品，1份檢測，1份備樣：a)新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型鑒定；b)正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時；c)正常生產(chǎn)時，每兩年一次；d)停產(chǎn)一年后，恢復(fù)生產(chǎn)時；e)出廠檢驗結(jié)果與型式試驗有較大差異時；f)國家質(zhì)量監(jiān)督機(jī)構(gòu)提出進(jìn)行型式檢驗的要求時。8.5.2型式檢驗項目包括技術(shù)要求中的全部項目，見表4。8.5.3全部檢驗項目合格時，型式檢驗合格。9標(biāo)識、包裝、運輸和貯存9.1包裝、標(biāo)志、儲存和運輸按GB/T8719的規(guī)定執(zhí)行，內(nèi)包裝采用潔凈的聚乙烯膜袋進(jìn)行包裝，提供產(chǎn)品及質(zhì)量證明有關(guān)文件。9.2產(chǎn)品應(yīng)貯存在潔凈倉庫中，環(huán)境的溫度要求控制在20℃~26℃,濕度控制在40%～70%。T/ZZB2283—2021510質(zhì)量承諾10.1制造商應(yīng)配備專業(yè)產(chǎn)品售后服務(wù)團(tuán)隊，跟蹤產(chǎn)品使用過程。如因產(chǎn)品本身質(zhì)量問題引起的不能正常使用，制造商應(yīng)承擔(dān)質(zhì)量責(zé)任。10.2客戶有需求