1、 中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) 太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工 及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范 GB 51206-2016 會(huì) 中國計(jì)劃出版社出版發(fā)行 網(wǎng)址，www. jhpress. com 地址:北京市西城區(qū)木樨地北里甲11號(hào)國宏大廈C座3層 郵政編碼100038電話(010) 63906433 (發(fā)行部 北京市科星印刷有限責(zé)任公司印刷 850mm X 1I68mm 1/ 32 2.5印張61千字 2017年5月第1版2017年5月第1次印刷 食 統(tǒng)一書號(hào):155182. 0052 定價(jià):15.00元 版權(quán)所有侵權(quán)必究 侵權(quán)舉報(bào)電話(010)63906404 如有印裝質(zhì)量問題，請(qǐng)寄本社出版部調(diào)換 中華人民共和國

2、住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告 第1346號(hào) 住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn) 太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程 施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范的公告 現(xiàn)批準(zhǔn)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范 為國家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB51206-2016，自2017年7月1日起實(shí) 施。其中，第4. 1.7、4.6.14(5，6，7)條(款)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán) 格執(zhí)行。 本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計(jì)劃出版社出版 發(fā)行。 中華人民共和國佳房和城鄉(xiāng)建設(shè)部 2016年10月2S日 目。昌 本規(guī)范是根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于印發(fā)2011年工程建 設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃的通知)(建標(biāo)(2011)17號(hào))的要 求，由工業(yè)和信息化部電子工

3、業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工程標(biāo)準(zhǔn)定 額站、中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司會(huì)同有關(guān)單位共同 編制完成。 本規(guī)范在編制過程中，編制組走訪了國內(nèi)有關(guān)太陽能電池生 產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)單位，收集了有關(guān)太陽能生產(chǎn)設(shè)備的搬運(yùn)、運(yùn) 輸、安裝、調(diào)試和工程驗(yàn)收要求，在總結(jié)國內(nèi)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)、吸收近年來 的科研成果、借鑒國外符合我國國情的先進(jìn)經(jīng)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，廣泛征 求了國內(nèi)有關(guān)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、研究等單位的意見，最后經(jīng)審查定稿。 本規(guī)范共分6章和4個(gè)附錄，主要技術(shù)內(nèi)容包括:總則、術(shù)語 和縮略語、基本規(guī)定、安裝工程施工、設(shè)備試運(yùn)行、工程驗(yàn)收等。 本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。 本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)

4、強(qiáng)制性條文的解釋， 由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè) 有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，如發(fā) 現(xiàn)需要修改和補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見和有關(guān)資料寄至中國電子系統(tǒng) 工程第四建設(shè)有限公司太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及質(zhì) 量驗(yàn)收規(guī)范管理組(地址:北京市豐臺(tái)區(qū)南四環(huán)西路188號(hào);郵政 編碼:100070, zgbcefoc. cn) ，以供今后修訂時(shí)參考。 本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人: 主編單位:工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院電子工 程標(biāo)準(zhǔn)定額站 中國電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司 1 目次 l總則(1 ) 2 術(shù)語和縮略語 ( 2 ) 2.1

5、 術(shù)語 .( 2 ) 2. 2 縮略語(4 ) 3 基本規(guī)定( 5 ) 4 安裝工程施工( 6 ) 4. 1 安裝前設(shè)備材料的儲(chǔ)存(6 ) 4. 2 施工準(zhǔn)備( 6 ) 4.3 設(shè)備搬運(yùn)( 7 ) 4.4 設(shè)備開箱( 9 ) 4. 5 設(shè)備安裝(10 ) 4. 6 二次配管配線 5 設(shè)備試運(yùn)行門們 5. 1 設(shè)備試運(yùn)行前的準(zhǔn)備(16 ) 5. 2 設(shè)備試運(yùn)行( 17) 6 工程驗(yàn)收門們 6. 1 一般規(guī)定門們 6.2 驗(yàn)收內(nèi)容( 18 ) 6. 3 驗(yàn)收程序. (21) 6. 4 驗(yàn)收不合格的處置(21 ) 附錄A硅基太陽能電池生產(chǎn)基本工藝流程(23 ) 附錄B典型太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)

6、及 驗(yàn)收要求(24 ) 附錄C太陽能電池生產(chǎn)主要設(shè)備的安裝和驗(yàn)收要求(35 ) 1 附錄D驗(yàn)收表格 本規(guī)范用詞說明 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄. 附:條文說明 2 Contents 1 General provisions( 1 ) 2 T erms and abbreviations( 2 ) 2. 1 Terms ( 2 ) 2. 2 Abbreviations( 4 ) 3 General requirements ( 5 ) 4 Construction( 6 ) 4. 1 Equipment material storage before tbe installation( 6 ) 4. 2 Co

7、nstruction preparation ( 6 ) 4. 3 Equipment transport. ( 7 ) 4.4 Equipment unpacking( 9 ) 4. 5 Equipment installation ( 10 ) 4. 6 Hook-up ( 11 ) 5 Equipment commissioning ( 16 ) 5. 1 Prepare before commissioning( 16 ) 5.2 Equipment commissioning ( 17 ) 6 Acceptance of works .( 18 ) 6. 1 General requ

8、irements. ( 18) 6.2 Acceptance content( 18 ) 6. 3 Acceptance program. (21 ) 6. 4 Disposal of unqualified acceptance( 21 ) Appendix A The basic process of silicon-based solarcell prod uction( 23 ) Appendix B R equirements of stand-alone commissioning and acceptance for typical equipment of 3 solar ce

9、ll production ( 24 ) Appendix C Requirements of installation and acceptance for major equipment of solar cell production( 35 ) Appendix D Acceptance form( 37 ) Explanation of wording in this code( 46 ) List of quoted standards ( 47 ) Addition: Explanation of provisions( 49 ) 4 2 術(shù)語和縮略語 2.1術(shù)語 2.1.1 太

10、陽能電池solarcell 是指將太陽光能直接轉(zhuǎn)換成電能的器件。 2.1.2 單晶硅太陽能電池monocrystalline silicon solar cell 是以單晶硅為基體材料的太陽能電池。 2.1.3 多晶硅太陽能電池polycrystalline silicon solar cell 是以多晶硅為基體材料的太陽能電池。 2.1.4 非晶硅太陽能電池amorphous silicon solar cell 用非晶硅材料及其合金為基體制造的太陽能電池，亦稱無定 形硅太陽能電池，簡稱a-sl太陽能電池。 2.1. 5 非晶硅薄膜電池amorphous silicon thin film

11、solar cell 以玻璃、不銹鋼板、陶資板等為基板，以非晶硅化合物薄膜為 基體材料的太陽能 電池。 2.1.6 化學(xué)氣相沉積chemical vapor deposition(CVD) 本規(guī)范系指在常壓下，化合物分解沉積為薄膜的制作薄膜太 陽能電池的工藝。 2.1.7 低壓化學(xué)氣相沉淀low pr巳ssur巳chemicalvapor deposition( LPCVD) 本規(guī)范系指采用在低壓時(shí)，氣相化合物分解沉積成薄膜的制 作薄膜太陽能電池的工藝。 2.1.8 等離子體化學(xué)氣相沉積plasma chemical vapor deposition( PCVD) 本規(guī)范系指將氣相化合物等離子

12、體分解沉積成薄膜的制作薄 膜太陽能電池的工藝。 2.1. 9 等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積 chemical vapor depositionCPECVD) plasma enhanced 本規(guī)范系指利用等離子體特性來控制或影響氣相反應(yīng)和材料 表面的化學(xué)反應(yīng)過程，并在規(guī)定的溫度(最高至900.C)下沉積薄 膜的工藝。 2.1. 10 聚乙烯醇縮丁醒polyvinyl butyral (PVB) 由聚乙烯醇縮丁醒樹脂經(jīng)增塑劑塑化擠壓成型的高分子半透 明的薄膜材料。對(duì)無機(jī)玻璃有很好的黠結(jié)力。 2.1.11 載板carn er 在太陽能電池的工藝設(shè)備中，用于傳輸硅片、承載硅片的運(yùn)輸 載體。 2.1.1

13、2 質(zhì)量流量控制器mass flow controller( MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的儀器。 2.1.13 晶體硅太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備crystalline silicon solar cell production equipment 用來生產(chǎn)硅太陽能電池的工藝設(shè)備，包括槽式制絨清洗機(jī)、在 線式制絨機(jī)、擴(kuò)散爐設(shè)備、PECVD設(shè)備、絲網(wǎng)印刷機(jī)、燒結(jié)爐等 設(shè)備。 2.1.14 二次配管配線hook-up 生產(chǎn)廠房中一次管線系統(tǒng)至生產(chǎn)設(shè)備接口之間的連接管線。 2.1.15 大宗氣體bulk gas 對(duì)電子工廠中使用的氮?dú)?、氫氣、氧氣、氧氣的統(tǒng)稱。 2.1.16 特種氣體sp

14、ecial ty gas 電子行業(yè)生產(chǎn)的摻雜、外延、離子注入、刻蝕等工藝中使用的 具有自燃性、可燃性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊的氣體。 2.1.17 制絨texturing 在單晶硅片表面通過一定的加工手段得到一定形狀的絨面結(jié) 構(gòu)的工藝，以增加光線在電池表面的反射折射次數(shù)，降低表面反 射率。 3 2. 1.18 絲網(wǎng)印刷electrodes printing 利用感光材料通過照相制版印刷制作電池正負(fù)極的工藝。 2.2縮略語 PVCCPolyvinyl chloride) 聚氯乙烯 CLPVCCClean polyvinyl chloride) 潔凈聚氯乙烯 PF A( Polytetr

15、afluoro ethylene ) 四氟乙烯共聚物 PPCPolyprolene ) 聚丙烯 PVDFCPolyvinylidene fluoride) 聚偏氟乙烯 VMBCValve manifold box ) 閥門分配箱 EPCElectro polished ) 電拋光 BA C Bright annealed ) 光亮退火 APCAnnealed and pickled ) 酸洗鈍化 4 4 安裝工程施工 4. 1 安裝前設(shè)備材料的儲(chǔ)存 4.1.1 生產(chǎn)設(shè)備宜放置于倉庫中儲(chǔ)存，儲(chǔ)存環(huán)境應(yīng)滿足設(shè)備存放 要求，并應(yīng)便于搬運(yùn)。 4.1.2 臨時(shí)存放在室外的生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)做好防潮、防雨、防凍措

16、施。 4.1.3 有特殊存放要求的生產(chǎn)設(shè)備，應(yīng)按產(chǎn)品說明書的要求進(jìn)行 儲(chǔ)存。 4.1.4 設(shè)備儲(chǔ)存應(yīng)有專人管理、建立崗位責(zé)任制。 4.1. 5 進(jìn)場的生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)及時(shí)登記，建立臺(tái)賬。生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)標(biāo)明 設(shè)備的名稱、規(guī)格型號(hào)、人庫日期等信息。 4.1. 6 現(xiàn)場材料保管應(yīng)有專人負(fù)責(zé)?，F(xiàn)場材料存放環(huán)境應(yīng)防火、 防雨、防潮。 4.1.7 對(duì)于易燃、易爆、有毒、有害危險(xiǎn)化學(xué)品，應(yīng)按屬性分別設(shè) 專門庫房存放，專門庫房應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 庫房地面材質(zhì)應(yīng)防滲漏，并應(yīng)設(shè)置圍堪或事故收集裝置， 易燃、易爆晶庫房地面應(yīng)采用不發(fā)火處理; 2 庫房應(yīng)保持通鳳，并應(yīng)設(shè)置事故排鳳裝置; 3 易燃、易爆晶庫房應(yīng)設(shè)置泄爆墻。 4

17、.2施工準(zhǔn)備 4.2.1 施工前，應(yīng)按本規(guī)范附錄C的要求制定具體的施工方案， 并應(yīng)提交監(jiān)理或建設(shè)單位批準(zhǔn)。 4.2.2 施工前，應(yīng)制定潔凈室管理制度，并應(yīng)提交監(jiān)理或建設(shè)單 位備案。 4.2.3 進(jìn)入現(xiàn)場的運(yùn)輸機(jī)械應(yīng)質(zhì)量可靠、狀況良好，特種設(shè)備應(yīng) 履行報(bào)檢程序。 4.2.4 安裝工程施工單位應(yīng)按質(zhì)量保證書或產(chǎn)品合格證對(duì)材料 進(jìn)行驗(yàn)收，并應(yīng)做好記錄，辦理驗(yàn)收手續(xù);需要復(fù)檢的材料應(yīng)有取 樣送檢證明報(bào)告，對(duì)質(zhì)量不合格的材料不得在施工中使用。 4.2.5 進(jìn)入潔凈室的設(shè)備、材料應(yīng)進(jìn)行清潔處理，外表面不得有 油污、積塵。 4.2.6 施工前廠房應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 廠房應(yīng)通水、通電，具備動(dòng)力供應(yīng)條件; 2

18、 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)呈空態(tài)，并應(yīng)調(diào)試完畢、運(yùn)行正 常、達(dá)到所需潔凈條件; 3 廠房內(nèi)公用系統(tǒng)應(yīng)調(diào)試完畢，正常運(yùn)行; 4 消防系統(tǒng)應(yīng)正常運(yùn)行。 4.2.7 設(shè)備搬運(yùn)應(yīng)規(guī)劃好搬運(yùn)路線圖，并應(yīng)標(biāo)注清楚路障、限高 等注意事項(xiàng)。 4.3設(shè)備搬運(yùn) 4.3.1 設(shè)備搬運(yùn)前應(yīng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢查和確認(rèn)，檢查后應(yīng)做好設(shè)備 出庫記錄。 4.3.2 在室外搬運(yùn)設(shè)備時(shí)，道路應(yīng)平坦、暢通;在整個(gè)搬運(yùn)過程 中，設(shè)備應(yīng)平穩(wěn)行進(jìn)，不得有沖擊現(xiàn)象。 4.3.3 設(shè)備搬運(yùn)方法應(yīng)根據(jù)設(shè)備廠家提供的說明和要求選擇，并 應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工程建設(shè)安裝工程起重施工規(guī)范)HG20201 的有關(guān)規(guī)定。 4.3.4 起吊旋轉(zhuǎn)過程中，起重臂、鋼絲

19、繩或設(shè)備與架空線纜安全 距離應(yīng)大于1.5mo 4.3.5 起吊有內(nèi)包裝的設(shè)備，應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 起吊使用的吊索應(yīng)根據(jù)設(shè)備重量選用; 2 吊索捆綁位置應(yīng)避開儀表及結(jié)構(gòu)脆弱部位，并應(yīng)防止設(shè)備 傾斜跌落; 7 3 設(shè)備起吊高度宜能順利拆除外包裝底盤; 4 起吊時(shí)應(yīng)控制提升和下降速度，不得產(chǎn)生沖擊、碰撞現(xiàn)象; 5 用液壓搬運(yùn)車載運(yùn)設(shè)備時(shí)，設(shè)備放置應(yīng)平穩(wěn)、平衡。 4.3.6 用叉車或汽車搬運(yùn)設(shè)備時(shí)，全過程應(yīng)平穩(wěn)，不得載貨急轉(zhuǎn)， 不得突然啟動(dòng)或停車;叉車應(yīng)完全停止升降后再緩慢行進(jìn)，設(shè)備距 路面高度應(yīng)不觸及路面障礙。 4.3.7 于動(dòng)液壓車搬運(yùn)設(shè)備時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 應(yīng)根據(jù)設(shè)備的重量選用液壓車;

20、2 液壓車起步、停車應(yīng)緩慢，行車速度應(yīng)均勻，不得產(chǎn)生使設(shè) 備傾斜的振動(dòng)，兩側(cè)應(yīng)有搬運(yùn)人員全程扶持; 3 貨物放置應(yīng)牢靠、穩(wěn)固; 4 不得超過規(guī)定的高度和寬度; 5 搬運(yùn)時(shí)應(yīng)當(dāng)注意成品保護(hù)，尤其是地面和墻面，環(huán)氧 (PVC)地面應(yīng)當(dāng)鋪塑料薄膜和不銹鋼板，經(jīng)過伸縮縫的地方應(yīng)鋪 厚不銹鋼板; 6 搬運(yùn)工具的輪子宜為軟膠輪。 4.3.8 當(dāng)搬運(yùn)重大、精密設(shè)備時(shí)，宜采用平穩(wěn)、可靠且省力的氣墊 搬運(yùn)裝置。搬運(yùn)時(shí)操作人員應(yīng)控制其行進(jìn)速度，在起步、行進(jìn)及停 止時(shí)不得產(chǎn)生沖擊振動(dòng)現(xiàn)象。 4. 3.9 對(duì)于有恒溫恒濕要求的精密設(shè)備，應(yīng)使用氣墊搬運(yùn)法及時(shí) 搬入潔凈室(區(qū))。 4. 3.10 對(duì)于有防微振要求的設(shè)備，

21、直采用氣墊搬運(yùn)法進(jìn)行搬運(yùn)。 4.3.11 設(shè)備從搬入平臺(tái)經(jīng)過搬入口、氣閘室至潔凈室(區(qū))安裝 就位的過程，所經(jīng)路線的墻壁、墻角、門框、地面應(yīng)做好保護(hù)，保護(hù) 的材料不應(yīng)發(fā)塵、積塵。當(dāng)搬運(yùn)路線上地面承載能力不足時(shí)，應(yīng)做 好加固工作，加固材料應(yīng)符合潔凈室內(nèi)的使用要求;當(dāng)需拆除門框 或墻板時(shí)，拆除后應(yīng)做好保護(hù)并應(yīng)及時(shí)恢復(fù)。 4. 3. 12 當(dāng)在活動(dòng)地板上吊裝設(shè)備時(shí)，宜采用龍門架、于動(dòng)葫蘆等 起重裝置，龍門架支腳應(yīng)設(shè)置荷重分散板，并應(yīng)核對(duì)活動(dòng)地板的承 載能力，當(dāng)不能滿足起吊荷載時(shí)應(yīng)進(jìn)行加固，井應(yīng)編制吊裝技術(shù) 方案。 4.3.13 潔凈室室內(nèi)外設(shè)備搬運(yùn)人員不應(yīng)交叉作業(yè)，在潔凈室里 面設(shè)立緩沖區(qū)，緩沖區(qū)地

22、面應(yīng)用不銹鋼板保護(hù)，設(shè)備的反光保護(hù)膜 包裝可在潔凈室外拆除，但保護(hù)膜應(yīng)在緩沖區(qū)或者潔凈室內(nèi)拆除。 4.4設(shè)備開箱 4.4.1 設(shè)備開箱時(shí)，建設(shè)單位、設(shè)備供應(yīng)商、監(jiān)理單位、施工單位 均應(yīng)參加，并由采購方負(fù)責(zé)。開箱檢查應(yīng)包括下列內(nèi)容: 1 箱號(hào)、裝箱清單; 2 設(shè)備的名稱、規(guī)格型號(hào); 3 設(shè)備的技術(shù)文件; 4 設(shè)備的隨機(jī)附件、專有工具。 4.4.2 設(shè)備開箱前應(yīng)檢查包裝箱外觀是否完好，有無破損、漫水 現(xiàn)象。 4. 4.3 有防震貼、防傾貼等運(yùn)輸智能標(biāo)貼的包裝箱，開箱前標(biāo)貼 顯示應(yīng)正常。 4.4.4 設(shè)備箱體不得倒置;有防震、防傾斜要求的，應(yīng)采取避免傾 斜的措施。 4.4.5 設(shè)備開箱宜在卸貨平臺(tái)進(jìn)

23、行，不得在運(yùn)輸工具上開箱。 4.4.6 設(shè)備開箱宜按照從頂板開始，再拆除四面箱板，保留設(shè)備 箱底的順序。 4.4.7 設(shè)備零部件開箱宜按照先拆除箱蓋，進(jìn)行零部件清點(diǎn)，然 后將零部件放回箱內(nèi)保存的順序。 4.4.8 設(shè)備零部件堆放應(yīng)按照安裝先后順序，先安裝的放在外面 或上面，后安裝的放在里面或下面。 4.4.9 設(shè)備開箱應(yīng)采用專用開箱工具。 4.4.10 設(shè)備的外亮不應(yīng)有碰傷、變形、機(jī)械損壞、油漆剝落、銹蝕 等現(xiàn)象。 9 4基礎(chǔ)上平面應(yīng)與活動(dòng)地板的地坪面平齊，允許誤差為 O3mm。 4.5.5 設(shè)備找正、調(diào)平的水平度或垂直度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的 要求;設(shè)備找正調(diào)平的基準(zhǔn)面、基準(zhǔn)線或基準(zhǔn)點(diǎn)確定后，

24、設(shè)備找正、 調(diào)平應(yīng)在選定的測量位置上進(jìn)行測量，復(fù)查、檢驗(yàn)時(shí)不得改變?cè)瓬y 量的基準(zhǔn)位置。 4.5.6 設(shè)備的安裝、組裝應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 設(shè)備安裝應(yīng)牢固、可靠; 2 設(shè)備試運(yùn)行中不得出現(xiàn)緊固件松動(dòng)或磨損; 3 設(shè)備試運(yùn)行中不得出現(xiàn)部件或零件的脫離; 4 合理選擇緊固件，所用緊固件的種類應(yīng)減少; 5 選用的緊固件應(yīng)符合國家標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)計(jì)文件、設(shè)備說明書的 要求，并采用抗腐蝕處理; 6 沉頭螺釘安裝后不允許突出被連接件表面。 4.5.7 在獨(dú)立基礎(chǔ)上或自流坪地面上安裝需要固定的設(shè)備時(shí)，宜 采用化學(xué)錨栓或二次灌漿固定。 4.5.8 在基礎(chǔ)或地板上開孔時(shí)，應(yīng)用吸塵設(shè)備吸盡孔內(nèi)的塵埃。 4.5.9 當(dāng)設(shè)備需

25、跨越壁板安裝時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 應(yīng)根據(jù)設(shè)備安裝所需的位置在壁板上開洞; 2 開洞作業(yè)不得劃傷、污染需保留的壁板表面或?qū)崈舡h(huán)境 造成污染; 3 設(shè)備安裝后，四周間隙應(yīng)采用微孔泡沫帶密封，其材質(zhì)和 色澤應(yīng)與該廠房內(nèi)裝修格調(diào)一致。 4.5.10 設(shè)備的接地系統(tǒng)安裝應(yīng)牢固、可靠。 4.5.11 設(shè)備安裝時(shí)，應(yīng)保護(hù)設(shè)備本體自帶儀表、接口短管，并應(yīng) 避免碰撞、損傷。 4.6 二次配管配線 4.6.1 二次配管配線應(yīng)包括下列管線安裝: 11 1 各種給水、排水系統(tǒng)的一次管道閥門至設(shè)備接口之間的 配管; 2各種氣體動(dòng)力系統(tǒng)的一次管道閥門至設(shè)備接口之間的 配管; 3 各種工藝排風(fēng)、排氣系統(tǒng)的一次管道閥門

26、至設(shè)備接口之間 的配管; 4 生產(chǎn)動(dòng)力終端工藝母線或配電盤至設(shè)備接口之間的配管 配線。 4.6.2 設(shè)備二次配管配線作業(yè)應(yīng)在設(shè)備安裝完成后進(jìn)行，并應(yīng)與 設(shè)備供應(yīng)商復(fù)核設(shè)備的接口位置、種類、數(shù)量、尺寸、型式等信息。 4.6.3 二次配管配線的材料宜與一次配管配線的材質(zhì)一致，并應(yīng) 符合下列規(guī)定: 1 工藝?yán)鋮s水應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備水質(zhì)要求選用，直采用不銹鋼 管或PVC管，管配件及閥門宜采用與管道相同的材質(zhì); 2 管線與設(shè)備的連接方式應(yīng)便于拆卸更換，對(duì)于易產(chǎn)生振動(dòng) 的設(shè)備應(yīng)采用柔性連接等減少振動(dòng)影響的連接方式; 3 工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的溫度計(jì)、壓力表宜采用不銹鋼材質(zhì); 4壓縮空氣和氮?dú)庀到y(tǒng)根據(jù)工藝生產(chǎn)線品質(zhì)要

27、求宜選用 SUS304 BA或SUS316LBA管道，間門宜選用球間;其余大宗氣 體系統(tǒng)和特種氣體系統(tǒng)宜采用SUS316LEP管道，閥門口徑小于 等于1/2時(shí)應(yīng)采用SUS316LEP隔膜間，閱門口徑大于1/2時(shí)應(yīng) 采用波紋管截止閱;特種氣體系統(tǒng)當(dāng)采用雙套管時(shí)，內(nèi)管宜采用 SUS 316L EP管道，外管宜采用SUS304AP外拋管; 5 氧氣管道、管件、墊片及其他附件都應(yīng)脫脂，閱門、儀表應(yīng) 在制造廠已脫脂完畢; 6 化學(xué)藥液輸送宜采用雙層管或PP管;雙層管內(nèi)管宜為 PFA管，外管宜采用透明PVC管;閱門宜采用與管道材質(zhì)相同的 耐腐蝕隔膜閱和閱門箱設(shè)置方式，不宜直接設(shè)置閱門于管道上; 7 有機(jī)排

28、風(fēng)管宜采用SUS304不銹鋼材料，使用氧弧焊 12 連接; 8 酸堿排風(fēng)管宜采用PVC、PP等防腐蝕材料焊接或熔接; 9 對(duì)耐蝕性、耐熱性、強(qiáng)度有特殊要求的，宜采用不銹鋼內(nèi)襯 特氟龍管道; 10 熱排風(fēng)介質(zhì)溫度大于55.C時(shí)，應(yīng)對(duì)管路設(shè)置絕熱層，絕 熱材料不得采用易破碎、掉渣和對(duì)人體有剌激作用的材質(zhì);閥門應(yīng) 采用與排風(fēng)管相同的材質(zhì); 11 純水管路材質(zhì)宜采用PVDF、PP、PFA、CLPVC; 12 溫度大于80.C的酸堿排水不宜采用PVC、PP管道接管， 可采用化工PVC;采用PP管時(shí)不得直接排放; 13 含有高濃度氫氟酸、硝酸的排水管道，宜采用雙層管道， 內(nèi)管宜為PVDF管或PP管，外管宜

29、采用透明PVC管; 14 潔凈室內(nèi)的電氣配管宜采用外表面光滑的金屬管，與設(shè) 備連接采用的穿線軟管應(yīng)為不燃材料; 15 特種氣體、大宗氣體、純水和化學(xué)品系統(tǒng)的二次配管配 線安裝工程應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范 GB 50646、大宗氣體純化及輸送系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范)GB50724、 電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范)GB50685和電子工業(yè)化學(xué)品系統(tǒng) 工程技術(shù)規(guī)范)GB50781的有關(guān)規(guī)定。 4.6.4 二次配管配線施工時(shí)，應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場實(shí)際情況進(jìn)行空間整合 優(yōu)化設(shè)計(jì)，使管線排列整齊、美觀，走向合理，維修方便，不得在操 作面布設(shè)管線。 4.6.5 當(dāng)在活動(dòng)地板上開孔時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)微電子生

30、 產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范)GB50467的有關(guān)規(guī)定。 4.6.6 潔凈室內(nèi)的二次配管配線安裝需開洞時(shí)，不得影響承重結(jié) 構(gòu)，且開洞時(shí)不得對(duì)潔凈室造成污染。 4.6.7 二次配管應(yīng)采用專用設(shè)備對(duì)管道進(jìn)行平口、切割、焊接 作業(yè)。 4.6.8 潔凈室內(nèi)不宜進(jìn)行電焊作業(yè)，特殊情況應(yīng)采取有效的防護(hù) 13 措施;在保證及時(shí)防護(hù)、及時(shí)清理，不污染潔凈室的情況下，直優(yōu)先 使用氧弧焊進(jìn)行焊接作業(yè);輸送大宗氣體、非腐蝕性溶劑的不銹鋼 管，當(dāng)采用焊接連接時(shí)，應(yīng)采用鴿極氫弧焊機(jī)施焊，且其保護(hù)氣體 的純度不應(yīng)低于管網(wǎng)本底氣體的純度。 4.6.9 不銹鋼管焊接質(zhì)量應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 兩管端應(yīng)垂直于管中心軸線，端面應(yīng)

31、平整光滑、元毛刺; 2 對(duì)口不得有間隙，直徑小于或等于2英寸的不銹鋼管，錯(cuò) 邊量不得大于管壁厚度的10%;直徑大于2英寸的不銹鋼管，錯(cuò) 邊量不得大于管壁厚度的15%; 3 焊接應(yīng)為自熔全焊透焊縫，管內(nèi)外焊縫平整光滑，焊波整 齊美觀。焊縫的凹凸不平度不得大于管壁厚度的10%; 4 焊縫應(yīng)焊趾整齊，焊縫寬度應(yīng)一致，其誤差不得大于 0.2mm，管內(nèi)焊縫表面寬度直為外縫表面寬度的60%; 5 管內(nèi)、外焊縫表面不得有氣孔、裂紋等缺陷，管內(nèi)焊縫及熱 影響區(qū)不應(yīng)有氧化變色。 4.6.10 PVC管粘接應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 應(yīng)選用管材生產(chǎn)廠家配套的專用膠水和清潔劑;膠水與管 材應(yīng)相匹配，與使用說明一致; 2

32、室外溫度低于5 0C 時(shí)，膠水應(yīng)保存在室內(nèi); 3 粘接后管路兩端應(yīng)開放通風(fēng); 4 管路粘接后，膠水固化時(shí)間應(yīng)符合說明書要求，達(dá)到設(shè)計(jì) 強(qiáng)度方可進(jìn)行通水試壓。 4.6.11 高純介質(zhì)二次配管時(shí)，管道預(yù)制作業(yè)應(yīng)在專門防塵、防靜 電的潔凈小室內(nèi)進(jìn)行，加工件經(jīng)潔凈處理后密封搬入潔凈廠房內(nèi) 進(jìn)行安裝，潔凈小室的空氣潔凈度等級(jí)宜采用8級(jí)。 4.6.12 二次配管支、吊架安裝應(yīng)牢固可靠，并應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 二次配管支、吊架宜采用碳鋼鍍辭或不銹鋼材料，切割斷 面應(yīng)做防腐處理; 2 管卡應(yīng)與管道直徑相匹配; 14 3 不銹鋼管與碳鋼支架、管卡之間應(yīng)分別設(shè)置隔離墊和隔離 套管，隔離墊宜采用軟質(zhì)聚四氟乙烯板，套

33、管宜采用聚乙烯軟管。 4.6.13 二次配管標(biāo)識(shí)應(yīng)與一次配管配線標(biāo)識(shí)一致。 4.6.14 二次配管進(jìn)行壓力試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 試驗(yàn)介質(zhì)應(yīng)采用高純氮?dú)饣蚋呒冄鯕猓浼兌炔坏玫陀诠?道工作介質(zhì)純度; 2 不得采用水壓試驗(yàn); 3 待試管道與生產(chǎn)設(shè)備無關(guān)系統(tǒng)應(yīng)采用盲板或采取其他措 施隔開，待試管道上的安全閱、爆破板及儀表元件應(yīng)拆下或隔離; 4 試驗(yàn)用壓力表宜采用專用管道壓力測試記錄儀，當(dāng)采用普 通壓力表時(shí)，其精度不應(yīng)低于1.5級(jí); 5 介質(zhì)為氫氣、酸堿藥液等具有危險(xiǎn)性、腐蝕性的二次配管 安裝完成后必須進(jìn)行壓力試驗(yàn); 6 壓力試驗(yàn)應(yīng)分為強(qiáng)度試驗(yàn)和氣密性試驗(yàn);強(qiáng)度試驗(yàn)應(yīng)采用 設(shè)計(jì)壓力的1.15倍

34、，保壓30min無損壞、無泄漏為合格;氣密性試 驗(yàn)應(yīng)采用設(shè)計(jì)壓力的1.05倍，保壓24h無壓降、無泄漏為合格; 7 二次配管壓力試驗(yàn)開始時(shí)應(yīng)測量試驗(yàn)溫度，試驗(yàn)溫度嚴(yán)禁 選擇材料脆性轉(zhuǎn)變的溫度。 4.6.15 二次配管安裝完成后，宜做泄漏試驗(yàn)。 4.6.16 二次配管試驗(yàn)完成后，應(yīng)填寫設(shè)備配管檢驗(yàn)批質(zhì)量驗(yàn)收 記錄。 4.6.17 當(dāng)設(shè)計(jì)文件規(guī)定以氨氣進(jìn)行泄漏性試驗(yàn)時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行 國家標(biāo)準(zhǔn)無損檢測氮泄漏檢測方法)GB/T15823的有關(guān)規(guī)定。 4.6.18 二次配管壓力試驗(yàn)完成后，應(yīng)脫開設(shè)備進(jìn)行吹掃。吹掃 氣體的純度不應(yīng)低于管網(wǎng)輸送介質(zhì)的純度。 . 15 . 5 設(shè)備試運(yùn)行 5. 1 設(shè)備試運(yùn)行前

35、的準(zhǔn)備 5.1.1 設(shè)備試運(yùn)行前應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 設(shè)備應(yīng)安裝完畢，自檢合格; 2 設(shè)備所需各種氣體動(dòng)力配管配線應(yīng)與設(shè)備接通，各種介質(zhì) 的各項(xiàng)參數(shù)應(yīng)符合設(shè)備使用要求; 3 給水、排水、排氣、排風(fēng)管路應(yīng)與設(shè)備接通; 4 電氣線路應(yīng)相位正確，接線端子連接牢固、可靠，器件應(yīng)接 線正確，元短路、斷路現(xiàn)象; 5 電氣裝置應(yīng)接地正確，連接牢固、可靠，接地電阻應(yīng)符合設(shè) 備要求; 6 房間潔凈度、溫濕度、照度、靜電防護(hù)指標(biāo)應(yīng)測試合格; 7 室內(nèi)各項(xiàng)安全設(shè)施和消防設(shè)施應(yīng)滿足使用要求。 5.1. 2 設(shè)備安全性測試應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 當(dāng)絕緣電阻測試時(shí)，應(yīng)將絕緣電阻測試儀的正極端接至設(shè) 備相線端，負(fù)極端接至設(shè)備

36、機(jī)殼，電源輸入端與機(jī)殼之間應(yīng)施加 500V直流電壓，穩(wěn)定10s后測試的絕緣電阻應(yīng)大于lMD.; 2 當(dāng)耐壓測試時(shí)，應(yīng)將耐壓測試儀的高壓端接至設(shè)備相線 端，接地端接至設(shè)備機(jī)殼進(jìn)行耐壓測試，設(shè)備抗電強(qiáng)度應(yīng)符合現(xiàn)行 國家標(biāo)準(zhǔn)測量控制和試驗(yàn)室用電器設(shè)備的安全要求第一部分: 通用要求)GB4793. 1的有關(guān)規(guī)定; 3 當(dāng)泄漏電流測試開路電壓超過規(guī)定的安全限值時(shí)，應(yīng)采用 串接一個(gè)500D.電阻的電流表與設(shè)備接地端子串聯(lián)測量設(shè)備的泄 漏電流，測試值不應(yīng)大于5mA。 5.1.3 對(duì)于有噪聲限制的設(shè)備，應(yīng)進(jìn)行噪聲測試。噪聲測試應(yīng)采 用聲級(jí)計(jì)在設(shè)備水平面四個(gè)方向上，應(yīng)在離地高度1.2m.距離設(shè) 備1m處進(jìn)行測量

37、。在人員操作位置應(yīng)以每天暴露時(shí)間8h計(jì)，其 等效連續(xù)A聲級(jí)噪聲不應(yīng)大于85dB。 5.2 設(shè)備試運(yùn)行 5.2.1 外接電源及接地應(yīng)按設(shè)備電路圖接好，檢查確認(rèn)無誤后接 通總電源。 5.2.2 在開機(jī)狀態(tài)下，用鉗形電流表測量設(shè)備電壓、電流和功率， 用相序表測量相序，應(yīng)滿足設(shè)備使用的要求。 5.2.3 設(shè)備調(diào)試應(yīng)按產(chǎn)品說明書或技術(shù)文件中規(guī)定的調(diào)試項(xiàng)目 和步驟進(jìn)行，并應(yīng)按本規(guī)范附錄D中表D.o. 5的要求記錄。 5.2.4 設(shè)備調(diào)試合格后，應(yīng)連續(xù)通電無故障工作24h.并應(yīng)按本 規(guī)范附錄D表中D.0.6的要求記錄。 5.2. 5 設(shè)備連續(xù)工作前后應(yīng)進(jìn)行主要性能指標(biāo)測試，測試結(jié)果應(yīng) 符合產(chǎn)品規(guī)范的要求。

38、17 6工程驗(yàn)收 6.1一般規(guī)定 6.1. 1 太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備二次配管配線工程完成后，應(yīng)對(duì)各系 統(tǒng)進(jìn)行自驗(yàn)，合格后方可進(jìn)行驗(yàn)收。 6.1. 2 設(shè)備安裝施工單位應(yīng)向建設(shè)單位提交工程質(zhì)量驗(yàn)收記錄， 驗(yàn)收記錄應(yīng)按本規(guī)范附錄D的有關(guān)要求填寫。 6.2驗(yàn)收內(nèi)容 6.2. 1 太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程交接驗(yàn)收應(yīng)由建設(shè)單位組 織安裝工程施工單位、設(shè)計(jì)單位組成驗(yàn)收組，并應(yīng)在接到安裝工程 施工單位提交的驗(yàn)收?qǐng)?bào)告后進(jìn)行，驗(yàn)收?qǐng)?bào)告應(yīng)符合本規(guī)范附錄D 的有關(guān)要求。 6.2.2 驗(yàn)收應(yīng)在設(shè)備找正、調(diào)平后進(jìn)行設(shè)備安裝交接驗(yàn)收，設(shè)備 配管配線完成后應(yīng)進(jìn)行配管配線交接驗(yàn)收。 6.2. 3 工程驗(yàn)收時(shí)，太陽能電池生產(chǎn)設(shè)

39、備安裝工程施工單位提交 文件應(yīng)包括下列內(nèi)容: 1 設(shè)備安裝工程施工合同; 2 主要材料合格證或質(zhì)量保證書; 3 設(shè)備開箱檢查記錄; 4 設(shè)備安裝檢驗(yàn)批質(zhì)量記錄及分項(xiàng)工程質(zhì)量驗(yàn)收記錄; 5 設(shè)備配管配線檢驗(yàn)批質(zhì)量記錄及分項(xiàng)工程質(zhì)量驗(yàn)收記錄; 6 管道焊接檢驗(yàn)記錄; 7 設(shè)備二次配管壓力試驗(yàn)、沖(吹)洗記錄; 8 竣工圖及設(shè)計(jì)變更文件; 9 工程質(zhì)量事故處理記錄; 10 設(shè)備隨機(jī)技術(shù)文件; 11 隱蔽工程驗(yàn)收記錄。 6.2.4 太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程質(zhì)量主要控制項(xiàng)目應(yīng)符合 下列規(guī)定: 1 設(shè)備安裝的平面坐標(biāo)位置應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。 檢驗(yàn)方法:對(duì)照?qǐng)D紙用鋼卷尺檢查。 2 墊板安裝位置應(yīng)準(zhǔn)確、接觸應(yīng)緊

40、密、無松動(dòng)現(xiàn)象。 檢驗(yàn)方法:目測和用小挪頭輕擊墊板檢查。 3 防位移、傾倒的壓板設(shè)置方向應(yīng)正確、緊固牢靠。 檢驗(yàn)方法:對(duì)照設(shè)備安裝使用說明書目測和用小挪頭輕擊壓 板檢查。 4 特殊基礎(chǔ)上平面水平度、安裝水平度應(yīng)符合設(shè)計(jì)和技術(shù)文 件的要求，調(diào)整水平度的螺腳均應(yīng)與墊板緊密接觸。 檢驗(yàn)方法:用水平尺和塞尺測量基礎(chǔ)上平面不平度;用水平儀 測量基礎(chǔ)水平度，抽拉墊板檢查接觸緊密度。 5 設(shè)備安裝的水平度、垂直度應(yīng)符合設(shè)備安裝使用說明書的 要求。 檢驗(yàn)方法:用水平儀測量。 6 二次配管的管材、管件、閥門應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，并應(yīng)有產(chǎn)品 合格證和產(chǎn)品質(zhì)量證明書。 檢驗(yàn)方法:查看設(shè)計(jì)圖紙、產(chǎn)品合格證和產(chǎn)品質(zhì)量證明書。

41、 7 管線布置和走向應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。 檢驗(yàn)方法:對(duì)照?qǐng)D紙檢查。 8 管道的對(duì)接焊縫處及曲管處不得焊接支管;焊縫距起彎 點(diǎn)、支吊架邊緣應(yīng)大于50mm。 檢驗(yàn)方法:目測或用鋼卷尺測量。 9 管道支吊架間距應(yīng)符合設(shè)計(jì)或要求。 檢驗(yàn)方法:觀察或用鋼卷尺測量。 10 二次配管壓力試驗(yàn)應(yīng)按本規(guī)范第4.6. 14條的有關(guān)要求。 19 1)型號(hào)、規(guī)格應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求; 2)進(jìn)出口方向應(yīng)正確; 3)于輪朝向應(yīng)合理。 檢驗(yàn)方法:對(duì)照?qǐng)D紙檢查型號(hào)、規(guī)格，觀察檢查安裝的正確性。 6.2.6 驗(yàn)收組應(yīng)對(duì)工程質(zhì)量進(jìn)行評(píng)價(jià)，提出驗(yàn)收結(jié)論。參加驗(yàn)收 單位代表應(yīng)在驗(yàn)收記錄表上簽字認(rèn)可，驗(yàn)收記錄表應(yīng)按本規(guī)范附 錄D中表D.O. 8

42、的要求。 6.3驗(yàn)收程序 6.3.1 太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程竣工驗(yàn)收應(yīng)由建設(shè)單位組 織安裝工程施工單位、設(shè)備供應(yīng)商、設(shè)計(jì)單位組成驗(yàn)收組，根據(jù)施 工合同、設(shè)計(jì)文件及設(shè)備技術(shù)文件進(jìn)行竣工驗(yàn)收。 6.3.2 設(shè)備安裝工程竣工驗(yàn)收時(shí)設(shè)備調(diào)試單位應(yīng)提供每臺(tái)設(shè)備 的單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)記錄。若設(shè)備安裝與單機(jī)調(diào)試非同一單位時(shí)，設(shè)備 安裝單位應(yīng)予以協(xié)助。 6.3.3 驗(yàn)收組應(yīng)對(duì)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程的所有工程內(nèi) 容進(jìn)行全面審核、檢查，檢查時(shí)應(yīng)做好記錄，各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)符合設(shè)計(jì) 要求。 6.3.4 驗(yàn)收組應(yīng)對(duì)工程質(zhì)量進(jìn)行評(píng)價(jià)，提出驗(yàn)收結(jié)論和驗(yàn)收?qǐng)?bào) 告，并應(yīng)按本規(guī)范附錄D中表D.O. 9的要求。參加驗(yàn)收單位代表 應(yīng)在驗(yàn)收

43、報(bào)告上簽字確認(rèn)。 6.3.5 太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程驗(yàn)收合格，可進(jìn)行試生產(chǎn)。 6.4 驗(yàn)收不合格的處置 6.4.1 當(dāng)太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備安裝工程、設(shè)備二次配管配線安裝 工程不符合規(guī)定的質(zhì)量要求時(shí)，處理應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 經(jīng)返工后的設(shè)備安裝檢驗(yàn)批、二次配管配線檢驗(yàn)批應(yīng)重新 進(jìn)行驗(yàn)收。 2 經(jīng)返修后的分項(xiàng)工程仍能滿足安全和使用性能要求，可按 21 技術(shù)處理方案和協(xié)商文件進(jìn)行驗(yàn)收。 6.4.2 經(jīng)過返修仍不能滿足安全使用和性能要求的分項(xiàng)工程，不 得驗(yàn)收通過。 22 附錄A硅基太陽能電池生產(chǎn)基本工藝流程 A.O.l 晶硅太陽能電池生產(chǎn)可按下列工藝流程設(shè)置。 硅片檢查消洗制絨 | 擴(kuò)散制結(jié) 減反射

44、膜制備| 去磷硅玻璃| 刻蝕 電極制備 |一| 測試 | 包裝 圖A.0.1 硅太陽能電池工藝流程 A. O. 2 非晶硅薄膜電池生產(chǎn)可按下列工藝流程設(shè)置。 玻璃清洗 l| 激光刻蝕 | 鍍膜 激光刻蝕| 電極制備 | 激光刻蝕 封裝 |一| 測試 |一| 包裝 圖A.O. 2 非晶硅薄膜電池生產(chǎn)工藝流程 23 附錄B典型太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備單機(jī) 試運(yùn)轉(zhuǎn)及驗(yàn)收要求 8.1 在線式表面制絨機(jī) 8.1.1 設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單 機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn): 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)直為7級(jí)，溫度應(yīng)為22.5.C :l:2. 5.C，相 對(duì)溫度應(yīng)為40%70%; 2 濕度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)

45、壓傳感器、空氣傳感器應(yīng) 避開氣體放空口及出風(fēng)口處; 3 接地電阻不應(yīng)大于10; 4 不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V士10%，頻率應(yīng) 為50Hz; 5 冷卻水壓力應(yīng)為O.3肌1PaO.4MPa，循環(huán)流量應(yīng)為6m 3 /h 7. 5m3/h; 6 純水電阻率不應(yīng)小于18MO cm，壓力應(yīng)為O.3MPa 0.4MPa，流量應(yīng)為1.7m3/h; 7 壓縮空氣壓力應(yīng)為O.訕1PaO.仙1Pa，流量應(yīng)為1.3m3/ min; 8 排風(fēng)風(fēng)量不應(yīng)小于5400m 3 /h。 8.1. 2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 設(shè)備的溫度傳感器、壓力傳感器、液體流量計(jì)工作應(yīng)顯示 正常; 2 傳動(dòng)滾輪運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)平穩(wěn); 3

46、所有工藝槽溫度應(yīng)可調(diào)，溫度允許偏差為:l:lC; 4 設(shè)備破片率應(yīng)小于0.2%; 5 藥液注入量應(yīng)可調(diào)，體積允許偏差為士1%。 8.2 槽式擴(kuò)散前清洗設(shè)備 8.2.1 試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī) 試運(yùn)行: 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為6級(jí)，溫度應(yīng)為22.5.C :l:2. 5C，相 對(duì)濕度應(yīng)為40%70%; 2 濕度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)壓傳感器、空氣傳感器應(yīng) 避開氣體放空口及出風(fēng)口處; 3 接地電阻不應(yīng)大于10; 4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為3 80V:l:10%，頻率應(yīng)為 50Hz，功率應(yīng)為10kW; 5 去離子水壓力應(yīng)為O.2MPa0. 3MPa，流量應(yīng)為60L/rn

47、inj 6 壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa0.6MPa，流量應(yīng)為60L/min; 7 氮?dú)鈮毫?yīng)為O.5MPa0. 6MPa，流量應(yīng)為80L/min; 8 排風(fēng)量應(yīng)為4000m 3 /h。 8.2.2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 各工藝槽注藥液時(shí)間、比例應(yīng)符合工藝要求; 2 各工藝槽排放時(shí)間應(yīng)符合工藝要求; 3 機(jī)械臂運(yùn)行速度應(yīng)符合工藝要求; 4 設(shè)備的水壓力、氣體壓力、風(fēng)壓傳感器、各光電傳感器應(yīng)顯 示正常; 5 各工藝槽槽蓋及槽內(nèi)液位應(yīng)正常; 6 進(jìn)料工位、工藝槽、氣路系統(tǒng)、管路系統(tǒng)、傳送機(jī)械手、控制 系統(tǒng)應(yīng)工作正常。 8.3預(yù)熱爐 8.3.1 試運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 應(yīng)檢查烘烤物

48、內(nèi)是否有加壓容器、爆裂物、易燃物、氧化 物、發(fā)火物、易燃?xì)怏w、粉塵等易燃易爆物品，當(dāng)含有以上物品時(shí)應(yīng) 立即停止啟動(dòng); 2 應(yīng)檢查烘烤物周圍是否有易燃易爆物品，當(dāng)有易燃易爆物 品時(shí)應(yīng)保證和烤箱保持大于10m的距離，否則不得將烤箱投入 使用; 3 應(yīng)確認(rèn)風(fēng)輪安裝緊固且運(yùn)轉(zhuǎn)順暢，不應(yīng)和周圍物體產(chǎn)生摩 擦碰撞; 4 進(jìn)氣口和排氣口應(yīng)打開，排氣口應(yīng)接至室外，并應(yīng)有強(qiáng)制 性抽風(fēng)裝置; 5 應(yīng)檢查外部廢氣排風(fēng)機(jī)是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)，當(dāng)沒有運(yùn)轉(zhuǎn)或方向 不對(duì)時(shí)則不得開機(jī)，并應(yīng)進(jìn)行檢修。 B.3.2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為9級(jí)，環(huán)境溫度應(yīng)在25C土2C之 間，相對(duì)溫度應(yīng)為(50士10)% ; 2

49、 三相交流電源電壓應(yīng)為380V士10%，頻率應(yīng)為50Hz，用 電容量不應(yīng)小于43kW; 3 設(shè)備電氣的絕緣電阻應(yīng)大于5Mn; 4 排風(fēng)管應(yīng)采取保溫措施，設(shè)備排風(fēng)量不得小于7500m 3 /h。 B.4 擴(kuò)散爐設(shè)備 B.4.1 試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī) 試運(yùn)行: 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為6級(jí)，溫度應(yīng)為22.5C士2.5C，相 對(duì)濕度應(yīng)為40%70%; 2 濕度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)壓傳感器、空氣傳感器應(yīng) 避開氣體放空口及出風(fēng)口處; 3 接地電阻不應(yīng)大于1n; 4不間斷三相交流電游、電壓應(yīng)為380V士10%，頻率應(yīng)為 50Hz，功率應(yīng)為200kW; 5 冷卻水壓力應(yīng)為2k

50、gf/cmz 3kgf/ c時(shí)，流量應(yīng)為20L/rnin; 6 壓縮空氣壓力應(yīng)為O.4MPa，流量應(yīng)為10L/min20L/min; 7 氣源柜排風(fēng)量應(yīng)為8m 3 /min10m3 / min; 8 尾氣排酸管路負(fù)壓應(yīng)為250Pa300Pa; 9 排毒箱排風(fēng)量應(yīng)為8m 3 /min12m3 /min; 10 爐體機(jī)箱排風(fēng)量應(yīng)為20m 3 /min25m3 /min。 B.4.2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 爐箱超溫報(bào)警應(yīng)正常; 2 超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警應(yīng)正常; 3 斷偶保護(hù)應(yīng)正常; 4 水流報(bào)警應(yīng)正常; 5 高壓空氣、氮?dú)鈭?bào)警應(yīng)正常; 6 風(fēng)壓報(bào)警應(yīng)正常; 7 氣體流量報(bào)警應(yīng)正常; 8 壓

51、差報(bào)警應(yīng)正常; 9 舟極限位報(bào)警應(yīng)正常; 10 加熱爐升降溫度應(yīng)正常; 11 機(jī)械手、爐門、推拉舟應(yīng)工作正常。 B.5 MCP亥IJ邊設(shè)備 B.5.1 試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī) 試運(yùn)行: 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為7級(jí)，溫度應(yīng)為22.5C士2.5C，相 對(duì)濕度應(yīng)為40%70%; 2 濕度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)壓傳感器、空氣傳感器應(yīng) 避開氣體放空口及出風(fēng)口處; 3 接地電阻不應(yīng)大于10; 4 不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V:!:10%，頻率應(yīng)為 50Hz，功率應(yīng)為5kW; 5 冷卻水壓力應(yīng)為1kgf/cm 2 2. 5kgf/cm 2 ，流量應(yīng)為15L/min， 27

52、 水溫應(yīng)為200C250C; 6 壓縮空氣、氮?dú)?、氧氣、四氟化碳?jí)毫?yīng)大于0.3MPa; 7 四氟化碳純度應(yīng)大于99.9995%，氧氣純度應(yīng)大于99.999%; 8 上口散熱排風(fēng)應(yīng)為1m 3 /min5m3 /min; 9 泵口排風(fēng)應(yīng)為1m 3 /min5m3 /min。 B.5.2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 反應(yīng)腔工藝壓力報(bào)警應(yīng)正常; 2 真空壓力報(bào)警應(yīng)正常; 3 工藝氣體報(bào)警應(yīng)正常; 4 反應(yīng)室門報(bào)警應(yīng)正常; 5 設(shè)備的氣體壓力、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、干泵、流量、射頻應(yīng)顯示正常; 6 干泵、蝶閩、各截止閱、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)應(yīng)工作 正常。 B.6 濕法刻蝕機(jī) B.6.1 設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)

53、目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單 機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn): 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為7級(jí)，瘟度應(yīng)為22.50C :l:2. 5 0C ，相 對(duì)濕度應(yīng)為40%70%; 2 濕度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)壓傳感器、空氣傳感器應(yīng) 避開氣體放空口及出風(fēng)口處; 3 接地電阻不應(yīng)大于10; 4 不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V:l:10%，頻率應(yīng) 為50Hz; 5 冷卻水壓力應(yīng)為O.3MPa0.仙在Pa，循環(huán)流量應(yīng)為6曠/h 7.5m3/h; 6 純水電阻率不應(yīng)小于18MOcm，壓力應(yīng)為O.3MPa 0.4MPa，流量應(yīng)為1.7m3 /h; 7 壓縮空氣壓力應(yīng)為O.5MPa0.仙1Pa，流量應(yīng)為1.3m3/ min; 28

54、8 排風(fēng)風(fēng)量不應(yīng)小于5400m 3 /h。 B.6.2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 設(shè)備的溫度傳感器、壓力傳感器、液體流量計(jì)工作應(yīng)顯示 正常; 2 傳動(dòng)滾輪運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)平穩(wěn); 3 所有工藝槽溫度應(yīng)可調(diào)，溫度允許偏差為土lC; 4 設(shè)備破片率應(yīng)小于0.2%; 5 藥液注入量應(yīng)可調(diào)，體積允許偏差為士1%。 B.7 槽式去PSG清洗設(shè)備 B.7.1 試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī) 試運(yùn)行: 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為7級(jí)，溫度應(yīng)為22.5C士2.5C，相 對(duì)濕度應(yīng)為40%70%; 2 溫度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)壓傳感器、空氣傳感器應(yīng) 避開氣體放空口及出風(fēng)口處; 3 接地電阻不應(yīng)大于10

55、; 4不間斷三相交流電師、電壓應(yīng)為380V士10%，頻率應(yīng)為 50Hz，功率應(yīng)為10kW; 5 去離子水壓力應(yīng)為O.2MPa0. 3MPa，流量應(yīng)為60L!min; 6 壓縮空氣壓力應(yīng)為0.5MPa0.6MPa，流量應(yīng)為60L!min; 7 氮?dú)鈮毫?yīng)為O.5MPa0. 6MPa，流量應(yīng)為80L/min; 8 排風(fēng)量應(yīng)為4000m 3 /h。 B.7.2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 各工藝槽注藥液時(shí)間、比例應(yīng)符合工藝要求; 2 各工藝槽排放時(shí)間應(yīng)符合工藝要求; 3 機(jī)械臂運(yùn)行速度應(yīng)符合工藝要求; 4 設(shè)備的水壓力、氣體壓力、風(fēng)壓傳感器、各光電傳感器應(yīng)顯 示正常; 29 5 各工藝槽槽蓋及槽內(nèi)

56、液位應(yīng)正常; 6 進(jìn)料工位、工藝槽、氣路系統(tǒng)、管路系統(tǒng)、傳送機(jī)械手、控制 系統(tǒng)應(yīng)工作正常。 8.8 平板式PECVD設(shè)備 8.8.1 試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)目，并應(yīng)在符合以下要求后進(jìn)行 單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn): 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為8級(jí)，溫度應(yīng)為21.5C土2C.相對(duì) 濕度應(yīng)為40%60%。 2 動(dòng)力條件應(yīng)符合下列規(guī)定: 1)不間斷三相交流電壓應(yīng)為380V:I:IO%，頻率應(yīng)為50Hz， 功率不應(yīng)低于設(shè)備裝機(jī)要求; 2)冷卻水水溫應(yīng)為20C土2C.進(jìn)水壓力應(yīng)為O.4MPa O.5MPa，回水壓力應(yīng)為O.2MPaO. 3MPa; 3)工藝氣體管道二次配管完成，壓力應(yīng)符合要求，并應(yīng)標(biāo)有 明顯的化學(xué)分子式; 4

57、)工藝氣體泄漏報(bào)警裝置應(yīng)運(yùn)行正常; 5)壓縮空氣壓力應(yīng)為O.5MPaO. 7MPa; 氣源柜排風(fēng)量應(yīng)大于或等于4曠/min; 7)排氣和尾氣處理裝置應(yīng)運(yùn)行正常; 8)普通氮?dú)鈮毫?yīng)為O.5MPaO. 7MPa; 9)接地電阻不應(yīng)大于40; 10)絕緣電阻不應(yīng)小于2MO。 3 設(shè)備系統(tǒng)檢查應(yīng)符合下列規(guī)定: 1)真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)方向正確; 2)真空系統(tǒng)應(yīng)檢測合格; 3)載板應(yīng)傳輸流暢，定位準(zhǔn)確，無卡板、脫軌現(xiàn)象; 4)電纜應(yīng)接地準(zhǔn)確可靠; 5)工藝氣體管路系統(tǒng)應(yīng)檢測合格。 B. 8. 2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 1 接通電源主機(jī)應(yīng)顯示電源接通; 2 冷卻水流量和溫度報(bào)警應(yīng)正常; 3 打開壓縮空氣閥門

58、，壓力傳感器顯示的壓力值應(yīng)在要求的 范圍; 4 加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)工作應(yīng)正常; 5 通過MFC控制工藝氣體流量，流量和壓力應(yīng)穩(wěn)定并且符 合要求。 B.9 管式PECVD設(shè)備 B.9.1 試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查下列項(xiàng)目，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī) 試運(yùn)行: 1 環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為8級(jí)，溫度應(yīng)為22.5C :f: 2. 5C ，相 對(duì)濕度應(yīng)為40%70%; 2 濕度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)壓傳感器、空氣傳感器應(yīng) 避開氣體放空口及出風(fēng)口處; 3 接地電阻不應(yīng)大于lD; 4不間斷三相交流電源電壓應(yīng)為380V士10%，頻率應(yīng)為 50Hz，功率應(yīng)為200kW; 5 冷卻水壓力應(yīng)為lkgf/cm2 2. 5kgf/ c時(shí)，流量應(yīng)為15L/min， 水溫應(yīng)為20C25C; 6 壓縮空氣壓力應(yīng)大于4kgf/c時(shí)，流量應(yīng)為10L/min 20L/min; 7 氮?dú)鈶?yīng)大于6kgf/cm 2 ，流量應(yīng)為20L/min/管; 8 氣源柜排風(fēng)量應(yīng)為8曠/min10m3 /min; 9 尾氣排酸管路負(fù)壓應(yīng)為250Pa300Pa; 10 排毒箱排風(fēng)量應(yīng)為8m 3 /min12m3 /min; 11 爐體機(jī)箱排風(fēng)量應(yīng)為20m 3 /min25m3 / mino B.9.2 驗(yàn)收項(xiàng)目應(yīng)符合下列規(guī)定: 31 1 爐箱超溫報(bào)警應(yīng)正常; 2 超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警應(yīng)正常; 3 斷偶保護(hù)應(yīng)正常; 4 水流報(bào)警應(yīng)