1、IRB-30和和IRB-50成像質(zhì)量對(duì)比成像質(zhì)量對(duì)比Semilab, 6 April 20116 April 2011 www.semilab.huIRB-50是IRB-30的升級(jí)產(chǎn)品，采用高分辨率的線(xiàn)性?huà)呙柘鄼C(jī)替代IRB-30的面相機(jī)，在細(xì)節(jié)的判斷上有很大的提高IRB-50相機(jī)像素1024pix,最小像素點(diǎn)25um，采集頻率50Mpic/s, 是探傷設(shè)備中最先進(jìn)的相機(jī)IRB-30相機(jī)像素768pix *576pix因此IRB-50能更清晰的辨認(rèn)出雜質(zhì)，區(qū)分雜質(zhì)和表面影響IRB-50IRB-30相機(jī)分辨率1024x1 768x576測(cè)試圖片大小1024x4182640 x4806 April

2、2011 www.semilab.huIRB-50測(cè)試結(jié)果IRB-30測(cè)試結(jié)果從上面的圖形對(duì)比可以看到IRB-50的圖像質(zhì)量要明顯強(qiáng)于IRB-30，上部的雜質(zhì)對(duì)比度更加明顯，雜質(zhì)輪廓更加清晰，硅錠的晶界也很清晰，下面部分的崩邊在IRB-50中清晰可見(jiàn)，在IRB-30中則模糊不清。6 April 2011 www.semilab.huIRB-50測(cè)試結(jié)果IRB-30測(cè)試結(jié)果另外IRB-50沒(méi)有IRB-30由于鏡頭導(dǎo)致的變形。6 April 2011 www.semilab.hu這兩幅圖為未經(jīng)處理的原圖大小，截取部分，上圖為IRB-50所測(cè)，下圖為IRB-30測(cè)得，上圖紅框中硬質(zhì)點(diǎn)清晰可見(jiàn)，但是I

3、RB-30的圖像中就難以辨認(rèn)6 April 2011 www.semilab.hu這兩幅圖為未經(jīng)處理的原圖大小，截取部分，上圖為IRB-50所測(cè)，下圖為IRB-30測(cè)得，上圖紅框中硬質(zhì)點(diǎn)清晰可見(jiàn)，但是IRB-30的圖像中就難以辨認(rèn)6 April 2011 www.semilab.hu這兩幅圖為未經(jīng)處理的原圖大小，截取部分，左圖為IRB-50所測(cè)，上圖為IRB-30測(cè)得，左圖紅框中硬質(zhì)點(diǎn) 清晰可見(jiàn)但是IRB-30的圖像中就難以辨認(rèn)6 April 2011 www.semilab.hu這兩幅圖為未經(jīng)處理的原圖大小，截取部分，上圖為IRB-50所測(cè)，下圖為IRB-30測(cè)得，上圖紅框中裂紋清晰可見(jiàn)，但是IRB-30的圖像中就難以辨認(rèn)6 April 2011 www.semilab.hu左圖為IRB-50所測(cè)，右圖為IRB-30測(cè)得，IRB-50圖像亮度均勻，400mm以下任意高度的硅錠都可完美測(cè)試，IRB-30圖像亮度不均，比較短的硅錠只能遮蓋光源進(jìn)行測(cè)試。6 April 2011 www.semilab.hu從成像質(zhì)量上進(jìn)行對(duì)比IRB-50完勝I(mǎi)RB-30IRB-50分辨率高，能更準(zhǔn)確的識(shí)別出雜質(zhì)，尤其是硬質(zhì)點(diǎn)等微小雜質(zhì)IRB-50成像亮度均勻IRB-50可以測(cè)量任意長(zhǎng)度的硅錠（量程400