1、FFU Interlock的原理與應用利用偵測風機轉速快慢來有效判斷FFU運轉是否正常以防止產(chǎn)品Particle污染問題1風機轉速偵測與訊號轉換利用光學檢測器（Photo-Micro Sensor）偵測風機葉片上固定環(huán)狀貼紙，貼紙為黑白兩色并各為180度。當檢測器偵測到白色區(qū)域時，由于反射率達90 %以上，致使輸出訊號為導通狀態(tài)，我們假設它為1。當檢測器偵測到黑色區(qū)域時，反射率變的極低，輸出訊號即為關閉狀態(tài)，我們假設它為0。當正常風機在運轉時，黑白貼紙交錯被光學檢測器感應，使得輸出訊號構成 0 - 1 - 0 - 1 波形。2波形與計算方法所以利用檢視脈沖寬度來定義時間長度，即可了解風機運轉情

2、況。例如，假設風機運轉速度低于50轉以下為不正常狀況，其運算原理為 :運轉速度f = 50Hz 周期時間T = 1/50Hz = 20 ms當脈沖寬度大于10ms , 即視為異常3應用于SMIF SYSTEMSMIF ARM : 適用機型 : LPT2200, LPI2200Mini-Environment : 適用范圍 : Particle concern issue任何需要 FFU Interlock 設備4與SMIF ARM 整合設計概念風機轉速訊號SMIF ARMFan RunningFan Error機臺 PIO ReadyAutomation Ready機臺 PIO FailedA

3、utomation FailedARM Action StopARM 可收/下貨ARM無法收/下貨可自行定義轉速快慢決定Fan error5SMIF ARM風機轉速控制圖示 利用上述概念偵測風機轉速快慢判斷異常與否，再與SMIF ARM訊號整合，來控制ARM是否可以收/下貨甚至于在傳送過程中斷動作，以便人員確認產(chǎn)品潔凈程度。6與Mini-Environment 整合設計概念風機轉速訊號System ControllerFAN or System Controller OkFAN or System Controller ErrorNo alarmAlarm and Red Lamp onSMI

4、F Arm Action StopSMIF power interrupter module ( Option )最多可連接4個風機Battery Supply 控制器電源供應中斷時可發(fā)出警告聲響7Mini-Environment風機控制器圖示Spare Portcan connect toSMIF power interrupter moduleto prevent arm has any action in case particle high issue8偵測風機轉速的優(yōu)點可自行設定轉速快慢來決定風機運轉是否正常。測量點單純精準。不會因Mini-Environment的體積大小與形狀不同，而須增加測點或是量測誤差值過大而產(chǎn)生誤判?？膳cSMIF ARM訊號連結成一套完整Interlock系統(tǒng)，避免發(fā)生環(huán)境潔凈度問題后，而ARM仍可收 / 下貨與動作。價格便宜。與一般風壓或風量偵測儀器比較更仍節(jié)省一半以上的成本。應用范圍廣泛，任何需監(jiān)控風機功能之設備機臺皆可使用。9風速的設定與調整根據(jù)美國聯(lián)邦標準潔凈室規(guī)格，Class 1100的環(huán)境之下，風速標準必須達到0.350.5