1、半導(dǎo)體設(shè)備零部件行業(yè)研究報(bào)告：核心零部件進(jìn)入投資元年 HYPERLINK /SH601696.html 半導(dǎo)體關(guān)鍵零部件分類(lèi)半導(dǎo)體設(shè)備由 8 類(lèi)核心子系統(tǒng)構(gòu)成據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司 VLSI 統(tǒng)計(jì)，半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵子系統(tǒng)主要分為 8 大類(lèi)。包含：氣液流量控 制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系 統(tǒng)、其他集成系統(tǒng)及關(guān)鍵組件，每個(gè)子系統(tǒng)亦由數(shù)量龐大的零部件組合而成。不同半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件有所不同。例如：光刻機(jī)的核心零部件包括工作臺(tái)、投影物鏡、光源 等，而等離子體真空設(shè)備（PVD、CVD、刻蝕）的核心零部件包括 MFC、射頻電源、真空泵、ESC 等。

2、半導(dǎo)體核心零部件：通用部件國(guó)產(chǎn)化難度高 HYPERLINK /SH688012.html 半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)采購(gòu)的零部件通常包括機(jī)械類(lèi)、機(jī)電一體類(lèi)、電氣類(lèi)、氣體輸送系統(tǒng)類(lèi)、真空系統(tǒng) 類(lèi)、附屬設(shè)備等。參考部分半導(dǎo)體設(shè)備公司的招股說(shuō)明書(shū)，其中，腔體、金屬加工件、EFEM 等精 密機(jī)加件的國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商包括靖江先鋒（參考沈陽(yáng)拓荊、中微公司的招股說(shuō)明書(shū)）、沈陽(yáng)富創(chuàng)（參考 公司官方網(wǎng)站）、兆恒眾力等，而真空系統(tǒng)、真空泵、射頻電源、機(jī)械手等通用部件都是采購(gòu) MKS、AE、愛(ài)德華、Rorze 等外資品牌。半導(dǎo)體附屬設(shè)備：國(guó)產(chǎn)化相對(duì)容易 HYPERLINK /SZ300024.html 集成電路制造關(guān)鍵附屬裝臵主要包

3、括溫控裝臵、干泵、尾氣處理裝臵和真空隔離閥。其中，北京京 儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司成立于 2016 年 6 月，在溫控裝臵、尾氣處理裝臵等領(lǐng)域有一定的競(jìng)爭(zhēng) 優(yōu)勢(shì)，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為一體的裝備制造企業(yè)，主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體溫控裝臵系列 （Chiller）、機(jī)器人系列（Wafer Sorter/AMR）、廢氣處理裝臵系列（Local Scrubber）等專(zhuān)用設(shè)備，現(xiàn) 已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、LCD 等領(lǐng)域，且公司客戶(hù)包括中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹無(wú)錫等國(guó)內(nèi) 知名半導(dǎo)體企業(yè)。半導(dǎo)體零部件的市場(chǎng)前景半導(dǎo)體零部件的重要性：半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈的基石核心零部件作為半導(dǎo)體設(shè)備的主要組成部分，與半導(dǎo)體材料、

4、EDA 軟件共同支撐著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中 設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)等環(huán)節(jié)，從而支撐全球經(jīng)濟(jì)數(shù)字化進(jìn)程。半導(dǎo)體核心零部件與半導(dǎo)體原材料一 樣，盡管市場(chǎng)規(guī)模小，卻決定了半導(dǎo)體設(shè)備的核心構(gòu)成、主要成本、優(yōu)質(zhì)性能等。參考半導(dǎo)體零部件各公司的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)：半導(dǎo)體核心零部件市場(chǎng)規(guī)模約 200-300 億美元，支撐半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約 800-900 億美元；半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)規(guī)模 800-900 億美元，與半導(dǎo)體材料、EDA 共同支撐全球半導(dǎo)體行業(yè)規(guī)模 5000 多億美元。參考國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司的主營(yíng)成本結(jié)構(gòu)，半導(dǎo)體零部件及原材料占設(shè)備企業(yè)主營(yíng)成本的 80%- 90%，而零部件采購(gòu)又占到半導(dǎo)體設(shè)備成本的 80%以上。半導(dǎo)

5、體零部件的市場(chǎng)規(guī)模：200-300 億美元方法一：營(yíng)業(yè)成本推導(dǎo)，推測(cè)全球半導(dǎo)體零部件的市場(chǎng)規(guī)模估計(jì) 300 億美元左右。參考半導(dǎo)體設(shè)備 上市公司的財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)，半導(dǎo)體設(shè)備零部件及原材料的采購(gòu)成本占半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)營(yíng)業(yè)成本的 80%- 90%，且半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的毛利率普遍在 40%-60%之間，即營(yíng)業(yè)成本占營(yíng)業(yè)收入的比重平均在 50% 左右，因此半導(dǎo)體設(shè)備零部件及其他原材料市場(chǎng)規(guī)模相當(dāng)于全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模的 40%-45%范 圍內(nèi)，其中半導(dǎo)體零部件占據(jù)大部分（8 成以上）。根據(jù)全球 2021 年半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約為 800- 900 多億美元，由此推測(cè)全球半導(dǎo)體零部件的市場(chǎng)規(guī)模估計(jì) 300 億美

6、元左右。方法二：通過(guò)核心零部件企業(yè)的收入加總推導(dǎo)，估計(jì)全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件及附屬設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模 超 200 億美元。非光刻零部件：參考全球主要半導(dǎo)體零部件的收入規(guī)模，包括 MKS、UCT、ICHOR、AE、 Edwards 等主要半導(dǎo)體零部件公司的收入總計(jì)為 100 多億美元；光刻零部件：ASML 光刻機(jī)相關(guān)的零部件市場(chǎng)規(guī)模估計(jì)超過(guò) 50 億美元，主要參考 ASML 2021 年光刻機(jī)整機(jī)總收入有望達(dá)到 140 億歐元，毛利率接近 50%，營(yíng)業(yè)成本中零部件占了大部 分。附屬設(shè)備：根據(jù) IC World 會(huì)議資料，半導(dǎo)體附屬設(shè)備年均市場(chǎng)規(guī)模超過(guò) 20 億美元。備件備品：Fab 廠運(yùn)營(yíng)過(guò)程中，需更

7、換的備品備件市場(chǎng)需求。參考應(yīng)用材料、ASML、泛林半 導(dǎo)體、TEL 等的收入結(jié)構(gòu)，備品備件及售后服務(wù)在整個(gè)收入結(jié)構(gòu)中占比平均為 26%，或者說(shuō) 備品備件及售后服務(wù)相當(dāng)于整機(jī)銷(xiāo)售收入的 36%，但估計(jì)包括了部分人工增值服務(wù)收入。因 此，F(xiàn)ab 廠運(yùn)營(yíng)中更換的備品備件應(yīng)該具備一定的市場(chǎng)規(guī)模。細(xì)分市場(chǎng)：射頻電源、真空泵、吸盤(pán)、噴淋頭等占比高參考芯謀研究發(fā)布的中國(guó)半導(dǎo)體卡脖子的源頭之一設(shè)備零部件，中國(guó)晶圓制造廠商采購(gòu)的 設(shè)備零部件主要有：石英（Quartz）、射頻發(fā)生器（RF Generator）、各種泵（Pump）等，各占零部件采購(gòu)金額的 比重依次是 11%、10%、10%；閥門(mén)（Valve）、靜電

8、吸盤(pán)（e-Chuck）、反應(yīng)腔噴淋頭（Shower Head）、邊緣環(huán)（Edge Ring） 等零部件的采購(gòu)占比依次是 9%、9%、8%、6%；真空規(guī)、MFC、陶瓷部件、O-Ring 等零部件的采購(gòu)占比依次是 3%、2%、2%、1%。半導(dǎo)體零部件的競(jìng)爭(zhēng)格局主要被美國(guó)、日本壟斷，行業(yè)集中度高據(jù) IC World 2020 公開(kāi)的 20 類(lèi)半導(dǎo)體核心零部件產(chǎn)品的 44 家主要供應(yīng)商中，有約 20 家美國(guó)供應(yīng)商 (近 45%)、16 家日本供應(yīng)商（近 36%）、2 家德國(guó)供應(yīng)商、2 家瑞士供應(yīng)商、2 家韓國(guó)供應(yīng)商、1 家 英國(guó)供應(yīng)商等，均為境外供應(yīng)商，且以美國(guó)和日本的供應(yīng)廠商為主。根據(jù)全球主要半導(dǎo)體

9、零部件企業(yè)（不含光刻機(jī)零部件）的半導(dǎo)體收入進(jìn)行統(tǒng)計(jì)，美國(guó)半導(dǎo)體零部件 企業(yè)的合計(jì)收入占比 44%，日本半導(dǎo)體零部件企業(yè)的合計(jì)收入占比 33%，英國(guó)、瑞士等歐洲地區(qū)占 比 21%，新加坡、韓國(guó)等半導(dǎo)體零部件企業(yè)的合計(jì)收入占比僅為 2%。ASML 光刻機(jī)零部件供應(yīng)商遍布全球光刻機(jī)作為芯片制造的核心設(shè)備，內(nèi)部結(jié)構(gòu)精確而復(fù)雜，最先進(jìn)的光刻機(jī)由近 10 萬(wàn)個(gè)組件構(gòu)成， 而其核心零部件均為國(guó)際廠商供應(yīng)，具體包括：=光源系統(tǒng)由美國(guó) Cymer 提供；光學(xué)鏡頭由德國(guó)蔡司提供；計(jì)量設(shè)備由美國(guó)是德科技提供；傳送帶由荷蘭 VDL 集團(tuán)提供。半導(dǎo)體零部件的國(guó)產(chǎn)化目前半導(dǎo)體核心零部件高度依賴(lài)進(jìn)口長(zhǎng)江存儲(chǔ)技術(shù)有限責(zé)任公司

10、副總裁、聯(lián)席 CTO 程衛(wèi)華曾介紹，在半導(dǎo)體晶圓制 造廠里，密封圈、靜電吸盤(pán)、閥類(lèi)、陶瓷類(lèi)真空壓力計(jì)等零部件大部分需要進(jìn)口。其中，閥類(lèi)費(fèi)用 支出約占所有耗材支出的 10.6%，市場(chǎng)需求強(qiáng)勁，但國(guó)內(nèi)供應(yīng)商基本為空白。參考芯謀研究數(shù)據(jù)，目前半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化率超過(guò) 10%的有 Quartz 成品、Shower head、Edge ring 等少數(shù)幾類(lèi)，其余的國(guó)產(chǎn)化程度都比較低，特別是 Valve、Gauge、O-ring 等幾乎完全依賴(lài)進(jìn)口。據(jù)各家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的前五大供應(yīng)商統(tǒng)計(jì)，半導(dǎo)體真空設(shè)備的零部件較大程度依賴(lài)于美國(guó)的 MKS、UCT，以及日本的 RORZE CORPORATION、Ferro

11、tec 等。政策引導(dǎo)半導(dǎo)體零部件等卡脖子環(huán)節(jié)的國(guó)產(chǎn)化突破在歷次政府工作報(bào)告中，核心零部件卡脖子環(huán)節(jié)均受到重視。在 2021 年 7 月 30 日召開(kāi)的中共中央 政治局召開(kāi)會(huì)議上強(qiáng)調(diào)：要強(qiáng)化科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性，加強(qiáng)基礎(chǔ)研究，推動(dòng)應(yīng)用研究，開(kāi) 展補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈專(zhuān)項(xiàng)行動(dòng)，加快解決“卡脖子”難題，發(fā)展專(zhuān)精特新中小企業(yè)。在 2019 年 9 月 3 日舉辦的 半導(dǎo)體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)峰會(huì)上，與會(huì)企業(yè)表示要促進(jìn)我國(guó)半導(dǎo)體集成電路零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展， 增強(qiáng)零部件企業(yè)和下游企業(yè)之間的合作，構(gòu)建良性的產(chǎn)業(yè)生態(tài)，加快零部件國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。通過(guò)整合 全國(guó)集成電路零部件領(lǐng)域創(chuàng)新資源，緩解“卡脖子”問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自

12、主可控，為我國(guó)集成 電路技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展做出貢獻(xiàn)。半導(dǎo)體零部件的國(guó)產(chǎn)化正在進(jìn)行致力于半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化的本土企業(yè)，目前統(tǒng)計(jì)至少有 10 多家以上。具體包括： HYPERLINK /SH688233.html 神工股份：為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先集成電路刻蝕用單晶硅材料供應(yīng)商，主營(yíng) 14-19 英寸的大尺寸高純度 集成電路刻蝕用單晶硅材料，是晶圓生產(chǎn)中刻蝕環(huán)節(jié)所使用的核心耗材。目前已向多個(gè)國(guó)際 知名硅電極制造商提供產(chǎn)品，近 9 成營(yíng)收來(lái)自港澳臺(tái)及海外。同時(shí)，子公司福建精工能夠把 大直徑單晶硅材料加工成刻蝕機(jī)用硅零部件（硅上電極、硅托環(huán)等），目前已批量生產(chǎn)，獲 得或通過(guò)多家 8 英寸、12 英寸集成電路生產(chǎn)商的評(píng)估機(jī)

13、會(huì)。公司還積極布局大尺寸硅片領(lǐng) 域，3 大業(yè)務(wù)的協(xié)同效應(yīng)使公司獲得更加扎實(shí)的成長(zhǎng)確定性。 HYPERLINK /SH600641.html 萬(wàn)業(yè)企業(yè)：通過(guò)聯(lián)合收購(gòu)新加坡 Compart System，布局半導(dǎo)體零部件業(yè)務(wù)。Compart System 主 營(yíng)業(yè)務(wù)包括 BTP 組件、裝配件、密封件、氣棒總成、MFC 質(zhì)量流量控制器、焊接件，核心 客戶(hù)包括 UCT、ICHOR 等，終端客戶(hù)包括應(yīng)用材料和泛林半導(dǎo)體等。 HYPERLINK /SZ300820.html 英杰電氣：公司主要產(chǎn)品包括功率控制電源、特種電源等。半導(dǎo)體客戶(hù)方面，主要供應(yīng)設(shè)備 用功率控制器、射頻電源等，配套 MOCVD 、藍(lán)寶

14、石爐、碳化硅設(shè)備等。 HYPERLINK /SZ300260.html 新萊應(yīng)材：公司半導(dǎo)體產(chǎn)品面向國(guó)內(nèi)外眾多客戶(hù)，包括國(guó)外的美商應(yīng)材、LAM、國(guó)內(nèi)的北方 華創(chuàng)、中微半導(dǎo)體、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、無(wú)錫海力士、中芯國(guó)際、正帆科技、至純科技、 亞翔集成、等知名客戶(hù)。當(dāng)前公司半導(dǎo)體真空系統(tǒng)產(chǎn)品面的客戶(hù)較多，未來(lái)氣體系統(tǒng)將是公 司重點(diǎn)攻克的方向，并于 2019 年底發(fā)行可轉(zhuǎn)債募資 2.8 億元加大投入半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)。靖江先鋒：公司成立于 2008 年，專(zhuān)注于精密金屬零部件生產(chǎn)制造，具有數(shù)控加工中心為主體 的精密加工，和針對(duì)鋁、不銹鋼等金屬材料表處理能力。 HYPERLINK /SZ300316.html

15、 晶盛機(jī)電：在半導(dǎo)體關(guān)鍵輔材耗材方面，公司建立了以高純石英坩堝、拋光液及半導(dǎo)體閥 門(mén)、管件、磁流體、精密零部件為主的產(chǎn)品體系，建立了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備精密加工制 造基地，半導(dǎo)體輔材耗材業(yè)務(wù)取得快速增長(zhǎng)。公司半導(dǎo)體石英坩堝在研發(fā)和市場(chǎng)開(kāi)拓方面取 得積極進(jìn)展，已向客戶(hù)批量銷(xiāo)售 32 英寸合成坩堝，并研發(fā)了 36 英寸石英坩堝。目前公司 的半導(dǎo)體石英坩堝在大陸及中國(guó)臺(tái)灣市場(chǎng)份額增長(zhǎng)較快，并爭(zhēng)取向海外其他市場(chǎng)開(kāi)拓業(yè)務(wù)。 HYPERLINK /SZ300666.html 江豐電子： 公司半導(dǎo)體零部件主要布局 PVD 機(jī)臺(tái)用 Clamp Ring、Collimator，CVD、etching 機(jī)臺(tái) 用 face plate、shower head 等，化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)臺(tái)用金剛石研磨片、Retaining Ring 等。半導(dǎo)體零部件投資策略半導(dǎo)體核心零部件加速發(fā)展，進(jìn)入投資元年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)高速成長(zhǎng)