1、exactPECVDexactPECVD設(shè)備長期關(guān)機(jī)項目檢查表深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司設(shè)備長期關(guān)機(jī)項目檢查表檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注1管無石墨舟（Y/N）反應(yīng)管內(nèi)槳上2管無石墨舟（Y/N）反應(yīng)管內(nèi)槳上3管無石墨舟（Y/N）反應(yīng)管內(nèi)槳上4管無石墨舟（Y/N）反應(yīng)管內(nèi)槳上機(jī)械手部分無石墨舟（Y/N）機(jī)械手抓手1暫存區(qū)2暫存區(qū)3暫存區(qū)石墨舟儲存環(huán)境溫度（9）濕度潔凈度N2開啟（Y/N）深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注1管抽真空所設(shè)置N2流量（SCCM）所設(shè)置SiH4流量（SCCM）所設(shè)置NH3流量（SCCM）所設(shè)置N2O流量（S

2、CCM）開啟“主抽閥”時的壓力（mbar）整個系統(tǒng)的真空底壓（mtorr）2管抽真空所設(shè)置N2流量（SCCM）所設(shè)置SiH4流量（SCCM）所設(shè)置NH3流量（SCCM）所設(shè)置N2O流量（SCCM）開啟“主抽閥”時的壓力（mbar）整個系統(tǒng)的真空底壓（mtorr）3管抽真空所設(shè)置N2流量（SCCM）所設(shè)置SiH4流量（SCCM）所設(shè)置NH3流量（SCCM）所設(shè)置N2O流量（SCCM）開啟“主抽閥”時的壓力（mbar）整個系統(tǒng)的真空底壓（mtorr）深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注4管抽真空所設(shè)置N2流量（SCCM）所設(shè)置SiH4流量（SCCM）所設(shè)置N

3、H3流量（SCCM）所設(shè)置N2O流量（SCCM）開啟“主抽閥”時的壓力（mbar）整個系統(tǒng)的真空底壓（mtorr）管道清洗特氣管道內(nèi)停止輸入特氣（Y/N）特氣管道內(nèi)輸入高純氮氣（Y/N）高純氮開啟和關(guān)閉的時間（s/s）高純氮開/關(guān)次數(shù)清洗管道時1管所設(shè)置氣體流量（SCCM）N2SiHNH3n2o清洗管道時2管所設(shè)置氣體流量（SCCM）N2SiHNH3N2O深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注清洗管道時3管所設(shè)置氣體流量（SCCM）N2SiHnh3n2o清洗管道時4管所設(shè)置氣體流量（SCCM）N2SiHNH3n2o1管溫度最高溫區(qū)的溫度（00開始降溫時按下

4、“加熱關(guān)”按鈕時開始清理爐管時1管清理爐管反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mbar）反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mtorr）清理爐管、法蘭、爐門雜物（Y/N）2管溫度最高溫區(qū)的溫度C0開始降溫時按下“加熱關(guān)”按鈕時開始清理爐管時深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注2管清理爐管反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mbar）反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mtorr）清理爐管、法蘭、爐門雜物（Y/N）3管溫度最高溫區(qū)的溫度。0開始降溫時按下“加熱關(guān)”按鈕時開始清理爐管時3管清理爐管反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mbar）反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mtorr）清理爐管、法蘭、爐門雜物（Y/N）4管溫度最高溫區(qū)的溫度。0開始降溫時按下“加熱關(guān)”按鈕

5、時開始清理爐管時4管清理爐管反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mbar）反應(yīng)管內(nèi)壓力值（mtorr）清理爐管、法蘭、爐門雜物（Y/N）1管機(jī)械復(fù)位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮（Y/N）上下編碼器計數(shù)值深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注上下原點光電開關(guān)亮（Y/N）爐門已關(guān)閉（Y/N）2管機(jī)械復(fù)位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮（Y/N）上下編碼器計數(shù)值上下原點光電開關(guān)亮（Y/N）爐門已關(guān)閉（Y/N）3管機(jī)械復(fù)位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮（Y/N）上下編碼器計數(shù)值上下原點光電開關(guān)亮（Y/N）爐門已關(guān)閉（Y/N）4管機(jī)械復(fù)位平移編碼器計數(shù)值平移原點光電開關(guān)亮（

6、Y/N）上下編碼器計數(shù)值上下原點光電開關(guān)亮（Y/N）爐門已關(guān)閉（Y/N）深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注機(jī)械手復(fù)位1軸原點指示燈亮（丫山）2軸原點指示燈亮（丫山）3軸原點指示燈亮（丫山）已點擊【復(fù)位】按鈕（丫山）關(guān)閉主氣路閥門（Y/N）N2壓力表顯示壓力（bar/psi）N2總閥門n2調(diào)壓閥SiH4壓力表顯示壓力（bar/psi）SiH4總閥門SiH4調(diào)壓閥NH3壓力表顯示壓力（bar/psi）nh3總閥門NH3調(diào)壓閥N2O壓力表顯示壓力（bar/psi）N2O總閥門n2o調(diào)壓閥關(guān)閉1管閥門（Y/N）n2手動閥SiH4手動閥深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股

7、份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉2管閥門（Y/N）N2手動閥SiH4手動閥NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉3管閥門（Y/N）N2手動閥SiH4手動閥NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉2管閥門（Y/N）N2手動閥SiH4手動閥NH3手動閥N2O手動閥關(guān)閉CDA閥門（Y/N）CDA總閥門CDA調(diào)壓閥1管儀表工作正常（Y/N）電子壓力規(guī)水流量計深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注尾氣稀釋流量計N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀2管儀表工作正常（Y/N）電子壓力規(guī)水流量計尾氣稀釋流量計N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀3管儀表工作正常（Y/N）電子壓力規(guī)水流量計尾氣稀釋流量計3管儀表工作正常（Y/N）N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀4管儀表工作正常（Y/N）電子壓力規(guī)水流量計尾氣稀釋流量計N2、SiH4、NH3、N2O流量計溫控儀深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司檢查項目檢查部位/條件檢查結(jié)果責(zé)任人備注公用儀表工作正常（Y/N）數(shù)字CDA流量表斷電斷開1管所有斷路器