PCB、FPC工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)一、高密度多層板工藝流程1、底片制作（剛、柔板相同）底片是印制電路板生產(chǎn)的前導(dǎo)工序，其制作工藝與一般照相相同。印制板的每種導(dǎo)電圖形（信號層電路圖形和地、電源層圖形）和非導(dǎo)電圖形（阻焊圖形和字符）都有一套菲林底片，這些圖形最終通過光化學(xué)轉(zhuǎn)移工藝轉(zhuǎn)移到生產(chǎn)板材上去。菲林底片在印制板生產(chǎn)中的用途為：①圖形轉(zhuǎn)移中的感光掩膜圖形，包括線路圖形和光致阻焊圖形。②網(wǎng)印工藝中的絲網(wǎng)模板的制作，包括阻焊圖形和字符。③機(jī)加工（鉆孔和外型銑）數(shù)控機(jī)床編程依據(jù)及鉆孔參考。底片制作過程需要用Na2CO3顯影液進(jìn)行顯影，有顯影廢液（L1）、顯影后沖洗廢水（W1）及廢干膜（S1）產(chǎn)生2、剪板：將銅箔基板剪裁成設(shè)計規(guī)格，采用電加熱進(jìn)行烘板以防止變形，并打磨，此過程產(chǎn)生粉塵（G1）和廢邊角料（S2）。3、預(yù)清洗：將銅箔基板用稀H2SO4、Na2S2O8溶液循環(huán)沖洗，并用磨板機(jī)進(jìn)行刷磨，清水多級淋洗。此過程產(chǎn)生酸洗廢液（L10）、清洗水（W11）和含硫酸廢氣（G9）。4、內(nèi)層涂布油墨內(nèi)層工序使用液態(tài)的光致抗蝕劑-----油墨，將需要的線路的銅面用抗蝕油墨覆蓋，此過程產(chǎn)生廢油墨（S1）。5、內(nèi)層曝光顯影：于紫外光（UV）照射下曝光，使線路圖案上的油墨起感光硬化反應(yīng)，將內(nèi)層線路圖象轉(zhuǎn)移到基板上后通過碳酸鈉溶液對未曝光硬化的線路上的油墨進(jìn)行溶解，為下一步蝕刻作準(zhǔn)備，此過程主要產(chǎn)生顯影廢液（L1）、顯影廢水（W1）、廢油墨（S1）。6、內(nèi)層蝕刻將線路圖形以外的銅面全部溶蝕掉，蝕刻溶液主要成分為CuCl2和HCl。廢酸性蝕刻液（L11），蝕刻后清洗廢水（W12），蝕刻溶液中的HCl揮發(fā)產(chǎn)生酸性廢氣（G10）。7、內(nèi)層退膜蝕刻后以含碳酸鈉的顯像液將線路以外未感光硬化的油墨以氫氧化鈉溶解去除。產(chǎn)生油墨廢液（W5）和油墨廢水（L5）。8、棕氧化：其目的在于使內(nèi)層板線路表面形成一層高抗撕裂強(qiáng)度的棕色氧化銅絨晶，以增加內(nèi)層板與膠片在進(jìn)行層壓時的結(jié)合能力，棕氧化槽液由磷酸三鈉、亞硫酸鈉、氫氧化鈉等組成。本過程污染源主要為清洗廢水（W13）及氧化廢液（L12）。9、壓合：壓合工藝是將經(jīng)過內(nèi)層線路、氧化處理后的基板兩側(cè)涂上半固化片，半固化片由玻璃纖維布和環(huán)氧樹脂等制成，當(dāng)溫度達(dá)100°C時，具有粘性和絕緣性。并在半固化片外鋪上銅箔作外層。再將銅箔線路層和絕緣層按照線路板層數(shù)需要，熱壓在一起，壓合后形成的多層線路板再進(jìn)行鉆孔處理，一方面將內(nèi)外層的導(dǎo)電層連通，作為電子元器件的插孔，另一方面可作為內(nèi)導(dǎo)電層的散熱孔。壓合工段不使用化學(xué)藥劑，污染物主要為固體廢物，如生產(chǎn)原料中使用的壓合紙、廢銅箔、廢玻纖布、以及裁切、鉆靶孔所產(chǎn)生的邊角料（S8）。10、鉆孔：其目的在于使板面形成未來零件導(dǎo)線插入的路徑，并作為上下或內(nèi)外層線路之間的連通，并用刷板機(jī)除去鉆孔時產(chǎn)生的鉆污。此工段主要污染物為覆銅板廢屑（S3）和粉塵（G2）。11、沉銅：沉銅又稱化學(xué)鍍銅，其目的在于使經(jīng)鉆孔后的非導(dǎo)體通孔壁上沉積一層密實(shí)牢固的導(dǎo)電層。此處鍍通孔采用化學(xué)沉銅方法，其原理是利用銅鏡反應(yīng)使孔壁內(nèi)附著一層銅。化學(xué)銅溶液組成為CuSO4、HCHO、NaOH、絡(luò)合劑（EDTA乙二胺）及少量穩(wěn)定劑。此過程主要污染源為酸霧（G11）、清洗廢水（W14）和化學(xué)鍍銅廢液（L13）。12、電鍍銅：在整個基板電鍍上一層薄銅，產(chǎn)生除油廢水（W15）、除油廢液（L14）、清洗廢水（W16）、酸霧（G12）和電鍍銅廢液（L15）。13、貼膜將需要進(jìn)行線路圖形電鍍以外的地方用抗鍍干膜覆蓋，此過程產(chǎn)生廢干膜（S1）。14、曝光顯影對貼好干膜的基板進(jìn)行曝光顯影，將線路圖形呈現(xiàn)在板面上，此過程產(chǎn)生顯影廢水（W1）和顯影廢液（L1）。15、圖形電鍍銅/錫（Cu/Sn）當(dāng)線路圖形被顯像裸露出來之后即進(jìn)行圖形電鍍（將線路圖形上鍍上一層銅和錫）。首先以稀硫酸去除線路表面的氧化物，將線路板浸置于含有硫酸銅、硫酸及微量氯離子和添加劑（如光澤劑）的電鍍槽液的陰極，陽極則為銅塊，供給直流電源，即可在基板的線路上鍍上一層銅。線路鍍銅后，再鍍上一層錫于線路上，以作為后續(xù)抵抗蝕刻用。浸置于含氟硼酸、氟硼酸錫，陽極為錫棒的錫電鍍槽液中進(jìn)行電鍍。此過程產(chǎn)生鍍前除油廢水（W2），除油廢液（L2）、酸霧（G3），電鍍銅廢液（L3）以及鍍銅后清洗廢水（W3），電鍍錫廢液（L4）以及鍍錫后清洗廢水（W4）。16、電鍍銅/鎳/金在基板表面導(dǎo)體先利用鍍上一層鎳后再鍍上一層金，目的是提高耐磨性，減低接觸電阻，防止銅氧化，提高連接的可靠性。由于銅表面直接鍍金會因銅金界面擴(kuò)散形成疏松態(tài)，在空氣中形成銅鹽而影響可靠性，先鍍一層鎳后能有效地阻止銅金互相擴(kuò)散。鍍鎳液19主要成分為NiSO4-7H2O，鍍金液由KAu（CN）2和添加劑組成。產(chǎn)生鍍金后清洗廢水（W6）、鍍金廢液（L6）、鍍鎳清洗廢水（W7）和鍍金廢液（L7）。此處產(chǎn)生干膜廢液（L5）和干膜廢水（W5）。17、去干膜在進(jìn)行蝕刻前，先行將線路以外的硬化干膜以氫氧化鈉將其溶解剝離，再進(jìn)行蝕刻。18、蝕刻利用蝕刻液將線路圖形以外未鍍上耐蝕刻錫的銅面全部溶蝕掉，蝕刻溶液主要成分為氨水和CuCl2。此過程產(chǎn)生清洗廢水（W8）以及含氨廢氣（G4），含絡(luò)合銅堿性蝕刻廢液（L8）。19、退錫蝕刻完成后，錫的抗蝕作用已經(jīng)完成，如果是噴錫鍍金板，則需利用硝酸型退錫液剝除錫鍍層，形成裸銅板。產(chǎn)生退錫廢液（L9）、清洗廢水（W9）和含硝酸廢氣（G5）。20、涂阻焊劑阻焊劑又稱阻焊油墨，俗稱綠油，涂覆的目的是防止導(dǎo)體不應(yīng)有的粘錫和導(dǎo)體之間因潮氣、化學(xué)品等引起的短路等，本項目使用液態(tài)感光油墨，其成分為環(huán)氧樹脂和環(huán)氧一丙烯酸，采用簾幕涂布方式涂布，涂覆需要預(yù)先烘干。此處產(chǎn)生少量廢油墨（S5）。21、曝光顯影將涂布阻焊劑的地方進(jìn)行曝光顯影，產(chǎn)生顯影廢液（L1）和顯影廢水（W1）。22、文字印刷在需要印刷文字的地方（如標(biāo)記等），利用絲網(wǎng)漏印將文字印刷在板面上。此過程產(chǎn)生少量有機(jī)廢氣（G6）。23、噴錫先行絲印一層防焊綠漆后經(jīng)紅外線硬化，再經(jīng)紫外線曝光及顯像處理，將板上通孔及線路部分裸露出來，使板面不具有粘錫性，在噴錫過程中，熔融錫僅附著于板面通孔及線路部分，其余被防焊綠漆保護(hù)的部分不附著錫。防焊綠漆印好后將基板再涂一層助焊劑，瞬間浸置于熔融態(tài)錫鉛合金槽中，并隨即垂直拉起，以熱風(fēng)及空氣刀刮除留在板上多余的熔融態(tài)錫，使板上通孔及線路上附著一層錫，作為電子零件裝配用。使用Sn-Pb合金、采用電加熱，在240°C高溫下進(jìn)行。此過程產(chǎn)生含錫、鉛塵廢氣（G7）和清洗廢水（W10）和錫渣（S6）。24、成型利用沖床及CNC將線路板加工成客戶需要的形狀。此工段主要產(chǎn)生廢線路板（S7）和含塵氣體（G8）。最后通過品質(zhì)監(jiān)測后，即可出品。S1G12G3L1W1W15W16L14L15W2W3W4硝酸W5L5G4W8L8S5W1L圖1高密度多層印刷線路板生產(chǎn)工藝及產(chǎn)污環(huán)節(jié)二、柔性線路板工藝流程柔性線路板的加工工藝與剛性板加工工藝極具相同之處，包括設(shè)備上大部份與剛性線路板設(shè)備通用，具體流程如下：1、底片制作，與剛性板相同，（不作說明）2、剪板：將柔性基板剪裁成設(shè)計規(guī)格，一般情況都是固定的規(guī)格不會變化，并且此過程不產(chǎn)生任何廢料。3、預(yù)清洗:將銅箔基板用稀H2SO4、Na2S2O8溶液循環(huán)沖洗，此過程產(chǎn)生酸洗廢液（L10）、清洗水（W11）和含硫酸廢氣（G9）。4、內(nèi)層干膜將需要進(jìn)行線路圖形電鍍以外的地方用抗鍍干膜覆蓋，此過程產(chǎn)生廢干膜（S1）。5、內(nèi)層曝光顯影：于紫外光（UV）照射下曝光，使線路圖案上的干膜起感光硬化反應(yīng)，將內(nèi)層線路圖象轉(zhuǎn)移到基板上后通過碳酸鈉溶液對未曝光硬化的線路上的干膜進(jìn)行溶解，為下一步蝕刻作準(zhǔn)備，此過程主要產(chǎn)生顯影廢液（L1）、顯影廢水（W1）、廢干膜（S1）。6、內(nèi)蝕刻將線路圖形以外的銅面全部溶蝕掉，蝕刻溶液主要成分為CuCl2和HCl。廢酸性蝕刻液（L11），蝕刻后清洗廢水（W12），蝕刻溶液中的HCl揮發(fā)產(chǎn)生酸性廢氣（G10）。7、內(nèi)層退膜蝕刻后以含碳酸鈉的顯像液將線路以外未感光硬化的油墨以氫氧化鈉溶解去除。產(chǎn)生油墨廢液（W5）和油墨廢水（L5）。8、表面處理將蝕刻后的線路面用稀H2SO4、Na2S2O8溶液循環(huán)沖洗，以保證銅面干凈無氧化，增加與純膠壓合后的接合力。此過程產(chǎn)生酸洗廢液（L6）、清洗水（W6）和含硫酸廢氣（G9）。9、層壓根據(jù)不同客戶的不同要求將各層采用純膠通過一定的溫度和壓力的作用下壓在一起得到一個互聯(lián)的作用，壓合工段不使用化學(xué)藥劑，污染物主要為固體廢物，如生產(chǎn)原料中使用的壓合紙、廢純膠、以及裁切、鉆靶孔所產(chǎn)生的邊角料（S8）。10、鉆孔：其主要目的在于作為上下或內(nèi)外層線路之間的連通，并用刷板機(jī)除去鉆孔時產(chǎn)生的鉆污，此工段主要污染物為覆銅廢屑（S3）和粉塵（G2）。11、孔處理經(jīng)過鉆孔的板子孔壁上有較多的樹脂鉆污，如雙面則不用去鉆污處理，而多層板即需要則要采用等離子體技術(shù)進(jìn)行去鉆污以使內(nèi)層銅環(huán)與孔壁鍍銅層呈可靠的三面接觸，此工段基本上不存在污染，11、孔金屬化：其目的與剛性板相同，在于使經(jīng)鉆孔后的非導(dǎo)體通孔壁上沉積一層密實(shí)牢固的導(dǎo)電層。此處鍍通孔采用化學(xué)沉銅方法，其原理是利用銅鏡反應(yīng)使孔壁內(nèi)附著一層銅。化學(xué)銅溶液組成為CuSO4、HCHO、NaOH、絡(luò)合劑（EDTA乙二胺）及少量穩(wěn)定劑。此過程主要污染源為酸霧（G11）、清洗廢水（W14）和化學(xué)鍍銅廢液（L13）。12、電鍍銅：在整個基板電鍍上一層薄銅，產(chǎn)生除油廢水（W15）、除油廢液（L14）、清洗廢水（W16）、酸霧（G12）和電鍍銅廢液（L15）。13、貼膜將需要進(jìn)行線路圖形電鍍以外的地方用抗鍍干膜覆蓋（需采用真空壓膜機(jī)），此過程產(chǎn)生廢干膜（S1）。14、曝光顯影對貼好干膜的基板進(jìn)行曝光顯影，將線路圖形呈現(xiàn)在板面上，此過程產(chǎn)生顯影廢水（W1）和顯影廢液（L1）。15、圖形電鍍銅/錫（Cu/Sn）當(dāng)線路圖形被顯像裸露出來之后即進(jìn)行圖形電鍍（將線路圖形上鍍上一層銅和錫）。首先以稀硫酸去除線路表面的氧化物，將線路板浸置于含有硫酸銅、硫酸及微量氯離子和添加劑（如光澤劑）的電鍍槽液的陰極，陽極則為銅塊，供給直流電源，即可在基板的線路上鍍上一層銅。線路鍍銅后，再鍍上一層錫于線路上，以作為后續(xù)抵抗蝕刻用。浸置于含氟硼酸、氟硼酸錫，陽極為錫棒的錫電鍍槽液中進(jìn)行電鍍。此過程產(chǎn)生鍍前除油廢水（W2），除油廢液（L2）、酸霧（G3），電鍍銅廢液（L3）以及鍍銅后清洗廢水（W3），電鍍錫廢液（L4）以及鍍錫后清洗廢水（W4）。16、電鍍銅/鎳/金在基板表面導(dǎo)體先利用鍍上一層鎳后再鍍上一層金，目的是提高耐磨性，減低接觸電阻，防止銅氧化，提高連接的可靠性。由于銅表面直接鍍金會因銅金界面擴(kuò)散形成疏松態(tài)，在空氣中形成銅鹽而影響可靠性，先鍍一層鎳后能有效地阻止銅金互相擴(kuò)散。鍍鎳液19主要成分為NiSO4.7H2O，鍍金液由KAu（CN）2和添加劑組成。產(chǎn)生鍍金后清洗廢水（W6）、鍍金廢液（L6）、鍍鎳清洗廢水（W7）和鍍金廢液（L7）。此處產(chǎn)生干膜廢液（L5）和干膜廢水（W5）。17、去干膜在進(jìn)行蝕刻前，先行將線路以外的硬化干膜以氫氧化鈉將其溶解剝離，再進(jìn)行蝕刻。18、蝕刻利用蝕刻液將線路圖形以外未鍍上耐蝕刻錫的銅面全部溶蝕掉，蝕刻溶液主要成分為氨水和CuCl2。此過程產(chǎn)生清洗廢水（W8）以及含氨廢氣（G4），含絡(luò)合銅堿性蝕刻廢液（L8）。19、退錫蝕刻完成后，錫的抗蝕作用已經(jīng)完成，如果是噴錫鍍金板，則需利用硝酸型退錫液剝除錫鍍層，形成裸銅板。產(chǎn)生退錫廢液（L9）、清洗廢水（W9）和含硝酸廢氣（G5）。20、前處理將蝕刻后的線路面用稀H2SO4、Na2S2O8溶液循環(huán)沖洗，以保證銅面干凈無氧化，增加與覆蓋膜的結(jié)合力，此過程產(chǎn)生酸洗廢液（L10）、清洗水（W11）和含硫酸廢氣（G9）。21、壓覆蓋膜在外層線路表面貼上一層覆蓋膜代替阻焊油墨，是防止導(dǎo)體不應(yīng)有的粘錫和導(dǎo)體之間因潮氣、化學(xué)品等引起的短路等，此過程產(chǎn)生廢覆蓋膜（S2）。22、文字印刷在需要印刷文字的地方（如標(biāo)記等），利用絲網(wǎng)漏印將文字印刷在板面上。此過程產(chǎn)生少量有機(jī)廢氣（G6）。23、噴錫先行在覆蓋膜上通孔及焊盤部分裸露出來，其余板面不具有粘錫性，在噴錫過程中，熔融錫僅附著于板面通孔及線路部分，其余被防焊綠漆保護(hù)的部分不附著錫。防焊綠漆印好后將基板再涂一層助焊劑，瞬間浸置于熔融態(tài)錫鉛合金槽中，并隨即垂直拉起，以熱風(fēng)及空氣刀刮除留在板上多余的熔融態(tài)錫，使板上通孔及線路上附著一層錫，作為電子零件精品文檔裝配用。使用Sn-Pb合金、采用電加熱，在240°C高溫下進(jìn)行。此過程產(chǎn)生含錫、鉛塵廢氣（G7）和清洗廢水（W10）和錫渣（S6）。24、成型利用沖床及CNC將線路板加工成客戶需要的形狀。此工段主要產(chǎn)生廢線路板（S7）和含塵氣體（G8）。最后通過品質(zhì)監(jiān)測后，即可出品。W5W13L12G2L5S8S3VG12W15W16L14L15S1W1L1G3W2W3W4硝酸S5W1圖2柔性線路板生產(chǎn)工藝及產(chǎn)污環(huán)節(jié)（與高密度印刷線路板基本相同環(huán)節(jié)，產(chǎn)污環(huán)節(jié)編號也相同）三、主要原輔材料消耗及貯運(yùn)1、原輔材料消耗擬建項目主要原輔材料消耗情況見表2。項目所用原材料大部分從國內(nèi)采購，部分從國外進(jìn)口，如覆銅板等。所有原輔材料均由汽車運(yùn)輸?shù)綇S。表1主要原輔材料消耗情況表種類名稱主要成分規(guī)格單位年用量基材環(huán)氧覆銅板銅、環(huán)氧樹脂F(xiàn)R-920mmX1220mm張213827柔性板板材聚酰亞胺萬m225覆蓋膜/萬m240PP纖維環(huán)氧樹脂、玻璃纖維7628、2116、1080萬m286.24銅箔銅—萬m242.4錫條錫、鉛錫（63%）鉛（37%）噸39.6陽極磷銅銅、磷磷0.03%,銅噸124.7化學(xué)品堿蝕刻液NH3.H2O、NH4C110%升170000酸蝕刻液CuC12.2H2O、HC1CuCl2.2H2O(200g/l)HCl(10%)升112400鹽酸HC1"~化學(xué)純37%升468000雙氧水H2O2化學(xué)純50%公斤42840硝酸hno3工業(yè)65%30KG/桶公斤113500硫酸H2SO4CP25KG/桶公斤119588硫酸銅CuSO.5HO200g/LCP25KG/桶公斤8640硫酸鎳42NSO/6HOCP25KG/包公斤1923鎳角i42鎳50KG/桶公斤904.8化學(xué)鎳EN-51B25L/桶升4000364導(dǎo)電鹽金鹽5KG/箱公斤100硫酸亞錫硫酸亞錫硫酸亞錫公斤32000錫球SN99.9@22公斤19872退錫液硝酸PC-200025L/桶升94520退錫補(bǔ)加劑A、B25L/桶升30960碳酸鈉Na2CO3工業(yè)40kg/包公斤48132氫氧化鈉NaOH工業(yè)25kg/包公斤142000過硫酸鈉Na2S2Q工業(yè)25KG/包升162000其它字符油墨環(huán)氧樹脂S-411W10KG/箱太陽公斤2545黃菲林HCS20*24"100PCS/BOX"盒2754皺紋聚脂膜16*10YARDS*4MIL/卷米324化銅添加劑HCADD25KG/桶kg52387酸銅添加劑UC25KG/桶kg10490鍍銅光亮劑PCM25L/桶升16070甲醛CP25KG/桶升15590棕化添加劑PART-A7030升12800高錳酸鉀工業(yè)50kg/桶kg4064膨脹劑P25kg/桶kg5510日光菲林DL3P100PCS/BOX20*24""盒115活性碳碳CP10KG/箱公斤2300酸性清潔劑SE-25025L/桶升44370檸檬酸CP10KG/箱公斤2920抗氧化劑2—乙氧基乙醇W70720L/桶公斤2836

種類名稱主要成分規(guī)格單位年用量除泡劑20AF-2聚乙二醇HN-1825kg/桶公斤2476助焊劑聚（亞烷基）二醇70?80%升44795浮石灰硅酸鹽公斤20000洗網(wǎng)水25L/桶EC-7升13079感光干膜AF504024*500FT”萬m275感光線路油墨公斤16258釋稀劑PMA涂布濕膜用PMA（19.2L/桶）升4896焊接抗腐油墨SR-6000N100GD110KG/箱公斤486002、主要原輔材料理化特性本項目使用的主要有毒有害原輔材料理化性質(zhì)和危險性見表4.2.2。表2主要有毒有害原輔材料理化性質(zhì)和危險性名稱鹽酸硫酸氯化銅過氧化氫硝酸別名氫氯酸氫硫酸雙氧水發(fā)煙硝酸危規(guī)號910079103891002分子式HClH2SO4CuCl2.2H2OHOHNO3分子量36.472498.07170.4834.0163.01外觀及性況強(qiáng)烈刺激氣味，無色發(fā)煙氣體無色粘稠油狀液體。綠色斜方晶體無色透明液體，味苦，有氣味，水溶液旱弱酸性無色透明液體熔點(diǎn)（。010.4110沸點(diǎn)（°C）-85317150.278飽和蒸汽壓1.36kPa溶解性極易溶于水成為鹽酸，溶于乙醇、乙醚能與水和醇相混溶于水、醇、丙酮溶于水、醚、醇，不溶于石油醚能與水任意混合相對密度1.2681.842.391.4631.504燃燒性不燃不燃不燃不燃不燃穩(wěn)定性化學(xué)性質(zhì)活潑，易揮發(fā)為HCl化學(xué)性質(zhì)非?；顫娫诳諝庵谐苯庥龆喾N有機(jī)溶劑分解，遇多種金屬立即分解見光和暴露空氣產(chǎn)生氧化氮不兼容性與多數(shù)金屬、堿不兼容與有機(jī)物氯酸鹽、硝酸鹽、碳化物、金屬等均不兼容。與可氧化物質(zhì)、金屬等不兼容與可燃有機(jī)物質(zhì)、強(qiáng)堿均不兼容危害性有毒、對眼、皮膚有強(qiáng)刺激性，引起灼傷；與金屬反應(yīng)放出h2而與空氣形成爆炸性混合物，有強(qiáng)腐蝕性。有毒、腐蝕性強(qiáng)，能造成組織灼傷，化學(xué)性質(zhì)活潑，能使粉末狀可燃物燃燒，與高氯酸鹽、硝酸鹽、金屬粉末及其它可燃物猛烈反應(yīng)發(fā)生爆炸或燃燒，硫酸煙霧對粘膜、眼等造成損傷。有毒，對組織器官造成傷害濃溶液有高毒和強(qiáng)刺激性，有較大的燃燒和爆炸危險，與醇、甘油等有機(jī)物混合形成強(qiáng)烈的爆炸混合物，蒸汽或煙霧能刺激皮膚、眼和粘膜蒸汽或煙霧有高毒，液體對皮膚、粘膜有腐蝕性，引起嚴(yán)重的組織灼傷，化學(xué)性質(zhì)活潑，與多種物質(zhì)如金屬粉末、碳化物猛烈反應(yīng)，發(fā)生爆炸，遇可燃物、易氧化物著火易燃。環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)車間空氣容許濃度15mg/m3車間空氣容許濃度2mg/m3。車間空氣容許濃度1.5mg/m3（美）車間空氣容許濃度5mg/m3（美）

續(xù)表2主要有毒有害原輔材料理化性質(zhì)和危險性名稱氫氧化鈉高錳酸鉀硫酸銅硫酸鎳別名苛性鈉膽磯危規(guī)號95001分子式NaOHKMnO,CuSO’SHONiSO.,6HO分子量40.0158.0342249.6842282.86外觀及性況白色易潮解固體深紫色晶體，有金屬光澤，味甜澀藍(lán)色透明三斜晶體或藍(lán)色顆粒，水溶液呈酸性藍(lán)色或翠綠色透明晶體熔點(diǎn)（°C）318240（分解）200848（分解）沸點(diǎn)（°C）1390溶解性溶于水、乙醇、甘油溶于水溶于水、甘油、不溶于乙醇溶于水和乙醇相對密度2.132.7032.862.07燃燒性不燃不燃不燃不燃穩(wěn)定性空氣中吸水和CO2生成Na2CO3遇乙醚、乙醇、雙氧水等發(fā)生爆炸，240C分解放出氧氣。45C失二分子結(jié)晶水110C失四分子結(jié)晶水不兼容性與水、酸、可燃液體、金屬、硝基化合物不兼容與有機(jī)溶劑，銨等不兼容危害性吞服有高毒，水溶液對組織有腐蝕性，對眼、皮膚有強(qiáng)刺激性，遇水能放出大量熱，使可燃物燃燒對皮膚、眼、粘膜造成灼傷，與易燃品有機(jī)溶劑相混爆炸對水中生物有毒殺作用。環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)車間空氣容許濃度2mg/m3（美）

續(xù)表2主要有毒有害原輔材料理化性質(zhì)和危險性名稱氰化金鉀氨危規(guī)號8100182503分子式KAu(CN)。NH分子量2288317.03外觀及性況有輕微苦杏仁味，水溶液呈堿性無色、有刺激性辛辣味的惡臭氣體，呈弱堿性溶解性溶于水、乙醇、甘油溶于乙醇和乙醚，水溶液呈堿性燃燒性不燃易燃穩(wěn)定性放置會分解穩(wěn)定不兼容性與強(qiáng)氧化劑不兼容與強(qiáng)氧化劑、鈣、次氯酸鹽漂白劑、金、汞、銀、鹵素和酸類不兼容。危害性劇毒，口服重度后發(fā)病驟急，出現(xiàn)痙攣至窒息死亡誤服氨水可致消化道灼傷，有口腔、胸、腹部疼痛，嘔血、虛脫，可發(fā)生食道、胃穿孔。眼接觸液氨或高濃度氨氣可引起灼傷，嚴(yán)重者可發(fā)生角膜穿孔，皮膚接觸可灼傷。環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)車間空氣容許濃度0.3mg/m3車間空氣容許濃度30mg/m33、物料運(yùn)輸與存儲本項目所用原輔材料基本以國內(nèi)采購為主，部分從國外進(jìn)口（如覆銅板等）。所有原輔材料均采用陸路運(yùn)輸。擬建項目屬高新電子行業(yè)，物料耗用量不大，全年進(jìn)出廠運(yùn)輸量約10284噸，物料進(jìn)出主要依靠陸運(yùn)，物料中有3230噸液態(tài)藥劑或廢液，部分采用槽車運(yùn)輸，廠內(nèi)設(shè)置封閉式的藥劑倉庫，內(nèi)設(shè)藥劑貯罐，按藥劑性質(zhì)分別貯存，廢液收集后分別臨時貯存于廢液儲罐內(nèi)。由于各生產(chǎn)部門生產(chǎn)率安排較均勻及相近，每批進(jìn)廠的物料量均由采購部限制于安全貯存量，因此在廠內(nèi)的物料以最低貯存量為主。因此每批進(jìn)廠的物料量均不大，在廠內(nèi)貯存的物料也不多。四、主要生產(chǎn)設(shè)備本項目主要生產(chǎn)設(shè)備見表3。

表3主要制造設(shè)備表設(shè)備名稱數(shù)量產(chǎn)地設(shè)備名稱W.曰數(shù)量產(chǎn)地自動開料機(jī)1臺中國圖形電鍍線1條中國內(nèi)層前處理線1條中國SES線2條中國7KW半自動曝光機(jī)4臺中國外層AOI機(jī)4臺中國DES線1條中國外層VRS機(jī)6臺中國內(nèi)層AOI機(jī)4臺中國火山灰磨板機(jī)2臺中國內(nèi)層VRS機(jī)6臺中國綠油噴涂機(jī)1臺中國OPE沖孔機(jī)1臺中國隧道爐2臺中國雙軸打靶機(jī)1臺中國噴錫前處理線1條中國棕化線1條中國噴錫機(jī)1臺中國自動鉚釘機(jī)1臺中國噴錫后處理機(jī)1條中國切PP機(jī)1臺中國水平沉銀線1條中國切銅箔機(jī)1臺中國水平OSP線1條中國磨鋼板機(jī)1臺中國自動沉錫線1條中國壓合機(jī)2臺中國自動沉金線1條中國X-RAY打靶機(jī)1臺日本4頭鑼機(jī)15臺中國4頭鑼機(jī)2臺中國電腦V-CUT機(jī)3臺中國6頭鉆孔機(jī)25臺中國通用測試機(jī)6臺中國粗磨機(jī)1臺中國專用測試機(jī)8臺中國沉銅線1條中國成品清洗機(jī)2臺中國全板電鍍線1條中國全自動壓膜機(jī)1臺中國火山灰磨板線1條中國全自動曝光機(jī)1臺中國快速壓機(jī)10臺中國柔性板專用磨板機(jī)1臺中國彎折沒測試儀3臺美國柔性板專用沉電銅線1條中國柔性板壓膜機(jī)1臺臺灣沖床10臺中國中央吸塵機(jī)3套臺灣中央空調(diào)機(jī)4臺中國中央冰水機(jī)3臺德國中央空壓機(jī)3臺中國五、主要物料平衡圖3和圖4分別為高密度多層板的主要物料平衡圖。甘2310基板裁板2088.469預(yù)清洗2088.469濕膜2324.292?t1;1F11Fi干膜水、硫酸、過硫酸鈉726.391307.285曝光顯影NaCO357.259G17.146S2214.385G9

0.021W1116.436L102072.012S171.462W18.79L148.46NaOH>^氧化劑、NaOH銅箔W51.786L5241.073W1320.68L12185.334S8142.8G23.481S3249.9238G12W15L140.018W16L15401.9723617.73S148.237W1L1G3W211.434103.0830.179W3NaOH堿性蝕刻液]16.364729.442]工6907.021」心4去干膜?蝕刻硝酸20-4386901.233,W4272.64碳酸鈉曝光顯影W5L5G4W8L8S5W13.913174.7420.1792.76927.9770.17917.1871

G7微量W10S6微量53.06G81.608G7微量W10S6微量53.06G81.608S7

468.074W5W13L12G2L5S8S3W5W13L12G2L5S8S3S1G12G3L1W1W15W16L14L15W2W3W4硝酸W5L5G4W8L8S5W1圖4柔性線路板生產(chǎn)物料平衡表銅平衡投入方為覆銅基板銅484.11t、銅箔銅648.10t、陽極銅796t、電鍍液含銅141.9t,合計2070.11t。產(chǎn)出方為產(chǎn)品余銅及鍍層銅，其余進(jìn)入廢水（以CuSO4.5H2O、CuCl2.2H2O及少量銅粉形態(tài)）、廢液（以CuCl2.2H2O、CuSO4.5H2O、Cu（NO3）2）形態(tài)）、固廢（以金屬銅形態(tài)）。其平衡入表4所示。表4銅平衡表投入產(chǎn)出名稱數(shù)量（t/a）去向名稱數(shù)量（t/a）濃度（mg/l）含銅（t/a）覆銅基板242.5產(chǎn)品線路板621.1銅箔板316.9廢水A號水132787.20689.03陽極銅124.7B號水69451.20161.11電鍍液含銅93.7廢液化學(xué)銅390.003000011.70電鍍銅514.80300001.54化學(xué)鍍鐐286.00200008.58化學(xué)鍍金57.20200001.72堿蝕刻5.20300000.16圖形電鍍銅228.8200004.58圖形電鍍錫228.8200004.58酸性蝕刻26.00200000.52氧化36.405000.02廢酸145.605000.07固廢廢線路板143.520%28.7邊角料179.4520%35.89廢基板242.520%48.5合計777.8777.8鎳平衡投入方為鐐角0.905T，以及投入硫酸鐐1.923T，含Ni1.87t，投入化學(xué)鐐4000升,含鐐為3.184T，合計為5.959T，產(chǎn)出方為產(chǎn)品鍍鐐層，其余進(jìn)入廢水和廢液，其平衡如表5表5鐐平衡表投入產(chǎn)出名稱數(shù)量去向名稱數(shù)量（t/a）濃度（mg/l）含鐐（t/a）鐐角0.905T產(chǎn)品線路板——5.189硫酸鐐1.87T廢水鍍鐐5876.4650.38化學(xué)鐐3.184T廢液鍍鐐1825000.09固廢廢線路板15.13—0.30合計5.959————5.959錫平衡投入方為化學(xué)鍍錫液32T（含錫量為55.3%）,即有17.7T和投入的錫球19.87T,以及熔融的錫鉛合金中的錫24.9T，總計投入錫62.47t。產(chǎn)出方為線路板上的鍍錫層，作為鍍銅蝕刻保護(hù)層，如后續(xù)工段要進(jìn)行熱風(fēng)整平工藝噴錫，則須將鍍錫層退去，這時鍍錫層進(jìn)入廢水及廢液中。根據(jù)調(diào)查，進(jìn)入廢氣中的錫量很小，基本可以忽略不計。表6Sn平衡表（t/a）投入產(chǎn)出古口產(chǎn)品廢水廢液62.4722.6118.2321.62比例（%）36.229.1934.61④NH2+平衡4投入方為含氨蝕刻液（含氨17.7t），用作電路圖形蝕刻、經(jīng)此工序后氨除少部分進(jìn)入廢氣和廢水中外，其余均進(jìn)入廢液（堿性蝕刻廢液）中，以銅氨絡(luò)合物、氯化銨、氨水等形式存在，其物料平衡見表4.3.5。表7NH2+平衡表（t/a）投入產(chǎn)出古口產(chǎn)品廢水廢液廢氣17.703.3111.083.3比例（%）018.762.618.7⑤hno3平衡在生產(chǎn)工藝中硝酸主要來源于剝掛架用硝酸溶液（56.75t）和退錫劑中（66.2t），投入硝酸總計為122.9t，硝酸在生產(chǎn)中不會進(jìn)入產(chǎn)品中，只會有部分在工藝中損耗生成其它物質(zhì)成為廢液或廢水，或揮發(fā)成為廢氣。其物料平衡見表4.3.6。表8HNO3平衡表（t/a）投入產(chǎn)出古口產(chǎn)品廢水廢液廢氣122.9T024.9597.70.25比例（%）020.379.50.2⑥Cl+衡投入方為37%鹽酸用作電鍍微蝕及微蝕用助劑，其中Cl-含量為173.2t。以及酸性蝕刻液中含Cl-4.16，總計177.4t，主要進(jìn)入酸性蝕刻廢液（含氯化銅，氯化亞銅等），少部分進(jìn)入廢水和廢氣中。其物料平衡見表4.3.7。

表9Cl-平衡表（t/a）投入產(chǎn)出古口產(chǎn)品廢水廢液廢氣177.404.01169.83.58比例（%）02.2695.722.02⑦SO2--平衡4投入方為電鍍硫酸銅中含硫酸根（8.64t）,98%的H2SO4（含硫酸根117.2t）和10%硫酸（含硫酸根85.4t）,鍍鎳液硫酸鎳中含SO2-為1.92t，總計213.162t。4主要用作表面清洗，不進(jìn)入產(chǎn)品，分別進(jìn)入廢水、廢氣和廢液中。其物料平衡見表4.3.8。表10SO2-平衡表（t/a）4投入產(chǎn)出名稱數(shù)量去向名稱數(shù)量濃度（mg/l）含SO2-量498%H2SO4117.2產(chǎn)品----10%H；SO485.4廢水B號廢水70.98653192.6硫酸銅8.64廢液化學(xué)銅98.8500005.7硫酸鎳1.92電鍍銅31.2500000.76電鍍銅除油20.8500000.65鍍鎳金10.4500000.52酸洗98.85000011.262廢氣1.67-1.67合計213.162669.12⑧TP（總磷）平衡投入方為電鍍銅陽極磷銅含磷0.03%約0.04T,,以及化學(xué)鍍鎳液中的磷0.06t,總計為0.1T。其物料平衡見表4.3.9。表11TP平衡表（t/a）投入產(chǎn)出古口產(chǎn)品廢水廢液0.1T00.01T0.099T比例（%）0199⑨金（Au）平衡投入方為化學(xué)鍍金液中金鹽含金量（含金68.3kg）,產(chǎn)出方為主要為線路板上線路鍍金層，少部分進(jìn)入廢水和廢液中。其平衡如表4.3.10。表12Au平衡表（kg/a）投入產(chǎn)出古口產(chǎn)品廢水廢液68.3T62.4T5.67T0.22T比例（%）91.388.30.32⑩鉛（Pb）平衡投入方為噴錫時的熔融錫鉛合金中含鉛，產(chǎn)出方為主要為線路板上線路鍍錫鉛層，其余進(jìn)入廢渣中。其平衡如表4.3.10。表13Pb平衡表（kg/a）投入產(chǎn)出古口產(chǎn)品廢渣14.613.19T1.41T比例（%）9010六、公用工程、動力消耗及來源1、供電由市電網(wǎng)專線供給，年用電36000KVA2、給排水?dāng)M建項目總用水量為2000t/d，年用水量72萬t/a，生產(chǎn)及生活用水均取自自來水。排水采取雨污分流，擬建項目用排水平衡如圖4-5所示。I46.4■-自來水—k175V一1223V-I■787-I98V-410-I52V.54J198*顯影氧化預(yù)清洗剝膜化學(xué)沉銅電鍍銅內(nèi)層蝕刻外層蝕刻—4清洗廢水（W11）13.2——H顯影廢水（W1）38.4.剝膜廢水（W5）347C水

2988.5供清洗廢水（W13）16.7*?鍍后水洗（W14）一64.6―鍍后水洗（W16）■-13.6f除油廢水（W15）8.9*內(nèi)層蝕刻（W12）8.9*外層蝕刻（W8）-11.7鍍銅水洗（W3）-11.77898I3803052I5478圖形電鍍錫旨鍍錫水洗（W4）783.4%除油廢水（W2）“!......42.9.53十*155噴錫退錫*化氣塔A^_12*生活用水里鍍鎳（W7）1.1鍍金（W6）0.7f|噴錫（W10）0.798r~——~-—-絲~?循環(huán)冷卻水補(bǔ)充水退錫（可9）化氣塔廢水生活污水制水棄水々98圖5擬建項目水量平衡（t/d）15590A水

金屬

離子

廢水

885生活污水155制水棄水90B水

有機(jī)

廢水

4974.4.3其它壓縮空氣由3臺空壓機(jī)供給，另外，配備制冷機(jī)3臺提供生產(chǎn)生活用制冷。生產(chǎn)過程中所用純水由一臺200t/d制水能力的純水機(jī)組提供。表4.4.1公用工程耗量及來源序號名稱單位耗量來源1自來水m3/a274,498鎮(zhèn)自來水2電KVA/a4,000市電3純水t/a62,400純水機(jī)組4冷卻循環(huán)水t/d320鎮(zhèn)自來水5儀器空氣Nm3/h2,700自制4.5擬建項目污染源分析4.5.1廢水?dāng)M建項目產(chǎn)生的廢水分為生產(chǎn)廢水和生活污水，生產(chǎn)廢水包括含金屬離子廢水和有機(jī)廢水，根據(jù)對同類型企業(yè)的調(diào)查（表4.5.1），確定本項目水質(zhì)、水量情況見表4.5.2。生產(chǎn)廢水分流后經(jīng)廠內(nèi)污水處理站處理達(dá)到一級排放標(biāo)準(zhǔn)后排入小河后進(jìn)入大河，生活污水經(jīng)化糞池處理后直接排入小河。表4.5.1印刷線路板廢水水質(zhì)情況水樣產(chǎn)品Cu(mg/l)COD(mg/l)雅新電子（東莞）雙面板、多面板35300佳達(dá)線路板廠（東莞）[1]51.2—大康線路板廠（東莞）[1]48.5—建和電子廠（東莞）[1]39.5—添佳電子廠（東莞）[1]31.6—通達(dá)線路板廠（東莞）[1]60.1—南京14所五分廠蝕刻廢水78.5183.5南京14所五分廠顯影廢水0.73401.0蘇州某線路板廠去膜廢水[2]-788*【1】“塑料線路板廠廢水處理的研究”，《國外塑料》，2000年第18卷第2期【2】“H2O2/Fe2+氧化偶合混凝法處理干膜廢水的研究”，《四川環(huán)境》2001年第20卷第1期表4.5.2擬建項目廢水源、水量及情況表類別廢水來源編號排放量（t/d）主要污染物濃度（mg/l）CuCODNiSSA號廢水含金屬離子廢水化學(xué)鍍銅W14988060—電鍍銅W163808060—圖形電鍍銅W3788060—圖形電鍍錫鉛_W4_^88060鍍鎳W653060鍍金W756306065內(nèi)層（酸性）飩為W12528060—外層（堿性）蝕刻W85480-—氧化W137830100—噴錫W10330—退錫鉛W9330—A號混合廢水88568585300B號廢水除油廢水電鍍銅W15_J015580圖形電鍍W24215150氧化廢水黑氧化W137820700清洗廢水預(yù)清洗W1134715301000B號混合廢水49716169300C號廢水干膜廢水顯影廢水W1750.71200夫膜廢水W52230.81100C號混合廢水2980.771126300A、B、C5苧水混合168042300300其它制水棄水制水過程_9030150生活污水生活用水155300100合計19254.5.2廢氣擬建項目主要廢氣排放源為生產(chǎn)過程中各類化學(xué)氣體及工業(yè)粉塵。裁板、壓板、鉆孔及成型裁邊，污染物為粉塵，主要成分為基板碎片和銅箔碎片，在各產(chǎn)生階段采用除塵設(shè)備將其去除，除塵效率為90%以上?；瘜W(xué)氣體主要由電鍍、蝕刻、沉鍍、噴錫等工段產(chǎn)生，在這四個工段分別設(shè)置化氣塔，通過管道收集鍍槽出來的廢氣集中至化氣塔凈化處理，最后由四個15m高排氣筒排放。根據(jù)類比調(diào)查（“線路板生產(chǎn)廢氣的治理”，《環(huán)境科學(xué)與技術(shù)》2001年第4期），線路板生產(chǎn)廢氣以堿性（或酸性）水溶液作吸收劑處理后，酸性廢氣、有機(jī)廢氣、含鉛廢氣中污染物去除率均在90%以上，排氣濃度小于無組織排放監(jiān)控限值。噴錫生產(chǎn)線主要排放污染物為含錫鉛的金屬顆粒物（粒徑小于10微米），根據(jù)資料調(diào)查，一般處理效率在90%左右。詳細(xì)廢氣排放情況詳見表4.5.3。表4.5.3擬建項目廢氣排放資料表廢氣污染源資料廢氣排放參數(shù)污染物排放點(diǎn)污染物產(chǎn)生量（kg/h）排放量（kg/h）排放資料高度（m）直徑（m）廢氣量（m3/h）溫度（°C）除塵設(shè)備（裁板）粉塵0.0160.00165.50.25500050除塵設(shè)備（鉆孔）粉塵0.3240.0324除塵設(shè)備（成型）粉塵0.1520.0152除塵設(shè)備（壓合）粉塵0.0880.0088化氣塔1#（電鍍工段）硫酸霧0.3660.0366151.225,00030化氣塔2#（蝕刻工段）硫酸霧0.0230.0023151.275,00030鹽酸霧0.10.01硝酸0.0050.0005氨0.1900.019化氣塔3#（沉鍍工段）硫酸霧0.0230.0023151.225,00030鹽酸0.3750.0375化氣塔4#（噴錫生產(chǎn)線）松香0.0140.0014151.225,00030

4.5.3噪聲產(chǎn)生及排放情況項目噪聲源較多，但聲源的聲功率不高，且大多數(shù)聲源都安置在工廠廠房內(nèi)或相應(yīng)設(shè)備的室內(nèi)，根據(jù)同類工廠有關(guān)資料，線路板生產(chǎn)設(shè)備噪聲污染不嚴(yán)重，因此本項目對噪聲源僅作一般控制。主要噪聲源具體情況見表4.5.4。表4.5.4項目噪聲源情況表序號設(shè)備名稱臺數(shù)單機(jī)dB(A)治理措施車間外聲級1冷卻塔風(fēng)機(jī)270隔聲板602化氣塔風(fēng)機(jī)470建筑隔聲降噪（平均降噪20dB）3空壓機(jī)3804制冷機(jī)2705粉塵風(fēng)機(jī)20756裁板機(jī)1657磨邊機(jī)1808烘箱1709重迭機(jī)18010鉆床28411粘邊機(jī)18512水平磨表機(jī)18113垂直沉銅18214干膜前處理清洗線18015干膜壓合機(jī)18216曝光機(jī)27517顯像機(jī)18318垂直電鍍18519蝕刻線18020噴錫線18821防焊膜涂膜機(jī)17022半自動涂膜機(jī)17223運(yùn)轉(zhuǎn)烘干機(jī)17824V形切割機(jī)18625沖床外形切割機(jī)18826切外形機(jī)28827清洗機(jī)18428電測機(jī)1704.5.4固體廢物擬建項目產(chǎn)生的固體廢物主要為生產(chǎn)工序中產(chǎn)生的邊角料、廢液、含銅污泥

等。廢活性碳主要來自電鍍（5kg/月），污水處理（8kg/月），純水制備（10kg/月）。固廢產(chǎn)生情況見表4.5.5，廢液產(chǎn)生情況見表4.5.6。表4.5.5擬建項目固體廢物產(chǎn)生情況表固廢名稱類別產(chǎn)生環(huán)節(jié)產(chǎn)生量（t/a）主要成分錫渣17噴錫4.16Sn、Pb廢活性炭22黑孔、污水處理0.276C、Cu含重金屬污泥22,46污水處理7.5污泥、Cu(OH)2、Ni(OH)2廢油墨12阻焊涂帶機(jī)0.25油墨（環(huán)氧樹脂）PET保護(hù)膜14內(nèi)、外層電路制作6PET廢基板及碎屑13裁板、鉆孔、壓合40.4覆銅板廢包裝材料61,79,80物料購入22.4包裝紙、鐵桶、塑料桶廢阻焊劑46阻焊18.1阻焊劑廢助劑22,46電鍍銅6SiO2、銅廢線路板13成型38.2覆銅板合計——143.3表4.5.6廢液量及主要污染物類別廢液名稱來源廢液成分固廢編號排放量（m3）排1號液低含銅廢液電鍍銅廢液（L15）h2so4、h2o222251圖形電鍍銅廢液（L3）Cu2+22101鍍鎳廢液（L7）Ni、Cu2+462512號液（有機(jī)廢液）除油廢液圖形電鍍（L2）COD22121電鍍銅（L15）COD35201干膜廢液去膜（L5）NaOH3581顯影廢液顯影（L1）kco335313號液含錫廢液退錫廢液（L9）Sn3111圖形電鍍錫廢液（L4）CU2+311014號液酸性蝕刻廢液酸性蝕刻廢液（L11）CU2+22315號液堿性蝕刻廢液堿性蝕刻（L8）絡(luò)合銅22116號液化學(xué)銅廢液化學(xué)銅（L13）絡(luò)合銅221017號液廢酸氧化（L12）CU2+2221氧化酸洗（L10）H’S?！?4101合計140處理方案：1號廢液里主要是銅污染，排放專業(yè)公司的微蝕含銅廢水處理系統(tǒng)；2號廢液主要是COD，本公司自行進(jìn)行酸化預(yù)處理，然后排放專業(yè)公司有機(jī)廢水處理系統(tǒng);3號廢液直接交由專業(yè)公司處理；4號廢液交專業(yè)公司處理，再生，回收銅，然后回用于生產(chǎn)線；5號廢液交專業(yè)生產(chǎn)線；6號廢液排放專業(yè)公司化學(xué)銅處理系統(tǒng)；7號廢液為一般的銅污染，排放專業(yè)公司綜合廢水處理系統(tǒng)；5污染防治措施及其評價5.1廢水治理措施本項目生產(chǎn)過程中主要廢水有工藝廢水，制水棄水，循環(huán)冷卻廢水，生活污水。5.1.1工藝廢水工藝廢水的處理根據(jù)水質(zhì)，將性質(zhì)相似的廢水合并進(jìn)行集中處理。具體做法如下:將重金屬離子濃度較高的廢水合并為A號廢水。將除油廢水、氧化還原廢水、干膜廢水、預(yù)清洗廢水等有機(jī)廢水合并為B號廢水，其中預(yù)清洗廢水的SS較高（1000mg/L左右）在車間內(nèi)對該廢水進(jìn)行過濾處理并回收沙粉，過濾后的廢水再與其它有機(jī)廢水一并進(jìn)入廢水處理設(shè)施。處理設(shè)施的處理規(guī)模為800t/d，分為三套，分別處理A、B、C號廢水。⑴A號廢水處理工藝及評述A號廢水中重金屬離子濃度較高，主要成分是銅離子，此外還有鎳和錫。本項目擬采取處理方案以離子交換為主，工藝流程見圖5-1。1號池離于離圖5-1A水處理工藝處理過程如下:A號廢水首先進(jìn)入1#調(diào)節(jié)池，調(diào)節(jié)池的作用一是調(diào)節(jié)水量保證廢水處理系統(tǒng)進(jìn)水的穩(wěn)定性，二是調(diào)節(jié)水質(zhì)，減少水質(zhì)變化對處理系統(tǒng)的沖擊負(fù)荷。調(diào)節(jié)池出水依次進(jìn)入砂罐、碳罐去除水中的懸浮物后進(jìn)入陽離子交換柱。廢水經(jīng)兩極陽離子交換可去除水中大部分的重金屬離子。陽離子交換柱出水大部分進(jìn)入中和池，調(diào)整pH值后排放。A號廢水處理方案中存在的問題有:根據(jù)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB8978—96）中要求，含鎳廢水（W7）由于其精品文檔毒性較大，應(yīng)先進(jìn)行單獨(dú)處理，同時要考慮鎳的回收。除鎳后的廢水再進(jìn)入1#調(diào)節(jié)池。根據(jù)調(diào)查，雅新電子（東莞）有限公司采用沉淀+過濾+活性碳吸附+離子交換。進(jìn)水水質(zhì)：平均Cu29=35mg/L平均CODcr=300mg/L；處理后水質(zhì)：Cu29=0.08mg/L,CODcr=100mg/L，可達(dá)到一級排放標(biāo)準(zhǔn)。離子交換柱在處理重金屬濃度較低的廢水時具有較高的處理效率，其壽命較長。此處理工藝中，高濃度的重金屬廢水對離子交換柱的沖擊較大，致使離子交換柱壽命較低。因此，高濃度的重金屬會由回收商回收處理。（2）B號廢水處理工藝及評述B號廢水處理工藝流程見圖5-2院:油、晶恒仕.毋化涅玄楸圖5—2B水處理工藝處理過程如下：B號廢水由儲液罐進(jìn)行收集，儲液罐共10個，分別收集性質(zhì)不同的廢水，將廢水通過泵打入2#沉淀缸，在沉淀缸中首先加入硫酸調(diào)節(jié)pH值，然后加入FeSO4,再加入Ca（OH）2攪拌，最后加入PAC微攪拌進(jìn)行混凝沉淀處理。經(jīng)沉淀處理的廢水再經(jīng)過砂濾，兩極陽離子交換后進(jìn)入中和池調(diào)節(jié)pH值排放。沉淀產(chǎn)生的污泥進(jìn)入污泥濃縮池進(jìn)行濃縮，上清液回流至2#沉淀池。濃縮后的污泥進(jìn)入甲壓渣機(jī)，壓榨后的污泥委托合格廠商代為處置，濾液回流至2#沉淀缸。另因生產(chǎn)量及廢水濃度成正比，沉淀池前只需加定量化學(xué)藥物而無需調(diào)節(jié)儀也能達(dá)到最高較能。在此沉淀工藝過程中，不同的化學(xué)物可以達(dá)到分開處理而得到最佳較果。（3）C號廢水處理工藝及評述C號廢水呈堿性，主要污染物以R-COO-存在，COD濃度在1000?1500mg/l，圖5-3C水處理工藝流程處理過程如下：C號廢水由儲液罐收集后，由泵打入1#沉淀缸，加入PAC、PAM,進(jìn)行沉淀預(yù)處理。處理后的廢水進(jìn)入2#調(diào)節(jié)池，通過曝氣達(dá)到均化水質(zhì)的目的，同時去除部分COD。然后對C號廢水進(jìn)行三級加藥反應(yīng)處理，一級反應(yīng)槽中加入石灰，在第二級反應(yīng)槽加APAC，第三級反應(yīng)槽加入PAM，加藥后的廢水進(jìn)入斜板式沉淀池進(jìn)行沉淀。出水經(jīng)過砂濾罐進(jìn)入中和池，調(diào)節(jié)pH值后排放。沉淀產(chǎn)生的污泥進(jìn)入乙污泥濃縮池，濃縮后的污泥由乙壓榨機(jī)脫水后出售。上清液和濾液回流至1#沉淀缸。5.1.2制水棄水該項廢水主要污染物為SS，直接排入雨水管網(wǎng)。5.1.3生活污水生活污水采用小型有動力生活污水處理裝置，該設(shè)備是成熟工藝，可以達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)（BOD5<30mg/l,COD<100mg/l,SS<70mg/l）。5.1.4污水接入鎮(zhèn)污水處理廠的可能性鎮(zhèn)污水處理廠擬建于市鎮(zhèn)工業(yè)C區(qū)（見圖2-1），尾水受納水體小梅河。擬采用投資和運(yùn)行費(fèi)用低、處理性能高、具有優(yōu)異的脫氮除磷功能的CASS工藝處理污水。近期污水處理量近期（2005年）規(guī)模為1萬m3/d（其中生活污水0.5萬m3/d，工業(yè)廢水量約為0.5萬m3/d），遠(yuǎn)期（2010）規(guī)模為2萬m3/d（生活污水量約為1.0萬m3/d，工業(yè)廢水量約為1.0萬m3/d）。原官林鎮(zhèn)水廠取水口在大田河，該河在小梅河和大河交界處的上游和大河交界，規(guī)劃中的市鎮(zhèn)水廠取水口在林津蕩，處于大河和林津蕩交界處的上游，避免了大河的水對其產(chǎn)生影響。本項目所設(shè)排污口對現(xiàn)有和規(guī)劃中的水廠基本無影響。本項目污水收集區(qū)域匯水總面積約10.88km2，收集五個排水區(qū)域的污水，分別是鎮(zhèn)北老區(qū)、鎮(zhèn)南老區(qū)、工業(yè)A區(qū)、工業(yè)B區(qū)、工業(yè)C區(qū)。由于XX有限公司位于X鎮(zhèn)的東工業(yè)區(qū)，而擬建的X鎮(zhèn)污水處理廠位于X鎮(zhèn)的西側(cè)，直線距離將近5公里，且X鎮(zhèn)污水處理廠近期也要在2005年才能投產(chǎn)，因此XX有限公司的污水接入X鎮(zhèn)污水處理廠的可能性不大。但是，由于目前X鎮(zhèn)的生活污水和工業(yè)廢水一般未經(jīng)處理直接或間接排入河道，對附近水體造成較大影響。X鎮(zhèn)污水處理廠的建設(shè)對于提高整個市鎮(zhèn)的水環(huán)境的質(zhì)量，改善最終受納水體滆湖和太湖的水質(zhì)狀況等具有積極的作用。另外，由于區(qū)域污染物排放總量的削減，也使XX有限公司建成后，區(qū)域內(nèi)污染物排放總量不會增加。5.2廢氣治理措施對裁板、鉆孔等工段產(chǎn)生的粉塵在各車間采用袋式收塵器對粉塵進(jìn)行收集后排放，除塵效率為90%以上。生產(chǎn)過程產(chǎn)生的酸堿廢氣采用三級填充式洗滌塔（高3.2m），在塔內(nèi)裝有填充材料，以增加氣液接觸程度和傳質(zhì)效果。洗滌塔中的液氣比為1?3L/m3，填充部分氣體流速小于1.5m/s。廢氣由塔底接入，吸收液則由上往下噴淋。氣液的逆流操作以提高廢氣中污染物進(jìn)出口之間的濃度差，確保廢氣的達(dá)標(biāo)排放。通過監(jiān)測廢氣中的pH濃度，及時用氫氧化鈉水溶液或硫酸溶液調(diào)整吸收液的pH值達(dá)到調(diào)節(jié)廢氣中的pH濃度。噴錫等其它過程產(chǎn)生的有機(jī)廢氣，采用三級填充式洗滌塔（高3.2m）吸附設(shè)備，以稀硫酸作吸附填料。對揮發(fā)性有機(jī)物的吸附率可達(dá)90%以上，吸收處理后的廢氣經(jīng)排氣筒排入大氣。

車間廢氣污水處理站圖5-4廢氣處理設(shè)施工藝圖表5.2.1廢氣治理效果車間廢氣污水處理站污染源污染物去除效率排放量標(biāo)準(zhǔn)備注1排放濃度排放標(biāo)準(zhǔn)備注2kg/hkg/hmg/m3mg/m3袋式除塵設(shè)備粉塵90%0.0580.47達(dá)標(biāo)3120達(dá)標(biāo)化氣塔1#（電鍍工段）硫酸霧90%0.03661.5145化氣塔2#（蝕刻工段）硫酸霧90%0.00231.50.145鹽酸霧0.01000.260.4100硝酸0.00050.770.02240氨0.01904.9——化氣塔3#（沉鍍工段）硫酸霧90%0.00231.50.145鹽酸0.03750.262100化氣塔4#（噴錫生產(chǎn)線）松香90%0.00140.0040.030.75.3噪聲治理措施所有生產(chǎn)設(shè)備均布置在密閉廠房內(nèi)。室外產(chǎn)噪設(shè)備（冷卻塔）配置必要的消聲設(shè)施，可以滿足廠界達(dá)標(biāo)要求。5.4固廢處置措施擬建項目主要固廢有生產(chǎn)下腳料、生活垃圾、廢液、污泥。一般性廢棄物和生活垃圾由當(dāng)?shù)丨h(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處置，污水處理站污泥部分委托市鎮(zhèn)豐江冶煉廠代為處置，該廠對污泥進(jìn)行干燥后同其它原料混合一并進(jìn)行冶煉。另外一部分污泥委托江蘇省固廢登記管理中心代為處置。廢液進(jìn)行分類貯存，分別處理，其中I號廢液（不絡(luò)合銅的酸性液體）收集后運(yùn)走變賣，其余三類廢液（絡(luò)合銅廢液、干膜廢液、廢酸）均在廠內(nèi)污水站進(jìn)行處理。①將高濃度的I號廢液（蝕刻廢液）收集后外售給有處理能力的廠商（昆山中環(huán)實(shí)業(yè)有限公司）進(jìn)行回收，該公司對蝕刻廢液的處理如下圖：圖5-4廢液處置工藝II號廢液（除油廢液、絡(luò)合銅廢液、KMnO4廢液）集中至C2號貯缸后，每三天處理一次。加除泡劑后，將缸內(nèi)的液體泵至反應(yīng)沉淀缸，加入硫酸亞鐵攪拌，再加入石灰攪拌，最后加PAC微攪拌，待沉淀物集結(jié)，上清液混合適量的氧化劑使余下的有機(jī)物氧化，再與含金屬廢水一并處理。III號廢液（干膜廢液）濃度高達(dá)20000mg/l，主要污染物以R-COO-形式存在，具體處理方法如下：首先將干膜廢液收集到C4號貯存池，均衡濃度、水量及曝氣（預(yù)計每星期處理一次）。從廢水池泵至反應(yīng)、沉淀缸，先加入硫酸將pH調(diào)至3左右，使干膜不溶于水析出。再加入PAC、PAM等絮凝劑使之成塊狀、下沉，然后排到污泥罐再壓成干泥餅。上清液中的COD濃度可降至1000左右，然后再與干膜廢水一并處理。W號廢液（廢酸）排放至C3號缸貯存，待離子交換樹脂再生時使用。預(yù)計每兩天需要再生一次。用作再生后的廢酸含有大量的銅，收集后賣出給專業(yè)公司處理。固廢的處置情況詳見表5.2.2。表4.5.4擬建項目固體廢物處置情況

固廢名稱處置情況錫渣廢活性炭廢油墨廢邊角料及碎屑PET保護(hù)膜廢基板廢包裝材料委托蘇州新區(qū)物資回收利用有限公司長江回收站處置廢助劑委托委托昆山中環(huán)實(shí)業(yè)有限公司處置廢線路板委托蘇州新區(qū)物資回收利用有限公司長江回收站含重金屬污泥委托江蘇省X市豐江冶煉廠，作為原料進(jìn)行冶煉I號廢液委托昆山中環(huán)實(shí)業(yè)有限公司處置II號廢液預(yù)處理后同含金屬離子廢水一并處理III號廢液預(yù)處理后同干膜廢水一并處理IV號廢液離子交換樹脂再生用，用后委托昆山中環(huán)實(shí)業(yè)有限公司處置綜上所述，公司對生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的固廢（包括廢液）等均進(jìn)行了妥善處置安排，如委托合格廠商處置，并均簽訂了協(xié)議和合同（見附錄），因此可以認(rèn)為該公司對固廢的處置是可行的。6清潔生產(chǎn)分析清潔生產(chǎn)是將整體預(yù)防的環(huán)境戰(zhàn)略持續(xù)應(yīng)用于生產(chǎn)全過程中，以期減少對人類和環(huán)境的風(fēng)險。清潔生產(chǎn)通過采用無污染或少污染的生產(chǎn)方式，加上科學(xué)嚴(yán)格的管理措施來實(shí)現(xiàn)。本項目采用現(xiàn)有國內(nèi)外成熟可靠的生產(chǎn)工藝技術(shù)，通過引進(jìn)先進(jìn)的設(shè)備、優(yōu)化生產(chǎn)工藝流程，符合當(dāng)前的國家有關(guān)產(chǎn)業(yè)政策。根據(jù)國內(nèi)外有關(guān)文獻(xiàn)資料及本項目的實(shí)際情況，本項目的清潔生產(chǎn)分析主要從生產(chǎn)工藝設(shè)備上進(jìn)行分析。6.1生產(chǎn)工藝先進(jìn)性⑴刷磨工段各刷磨制機(jī)均設(shè)立銅粉過濾機(jī)，過濾分離水洗水之銅粉屑后，水洗水可循環(huán)使用，而且每日減少銅粉排出量達(dá)10公斤。銅粉回收機(jī)是一種既節(jié)約大量用水又不需要進(jìn)行廢水處理的環(huán)保設(shè)備。主要用于磨板機(jī)磨刷下來的銅粉和沖洗水全部集中流到銅粉回收機(jī)的集液缸內(nèi)，然后經(jīng)過過濾布袋，使其銅粉留下，而水通過過濾布袋又重新回到磨板機(jī)的添加水洗段，得到反復(fù)使用。水的反復(fù)使用率可達(dá)95%以上，而分離出來的銅粉可直接回收而不需要處理。⑵黑孔線在化學(xué)沉銅液中含有乙二胺四乙酸（EDTA）用作螯合劑，而大多數(shù)印制線路板制造商不具備回收乙二胺四乙酸（EDTA）的方法，故化學(xué)沉銅在使用上受到限制?，F(xiàn)在日趨流行的是不用化學(xué)沉銅的直接金屬化法（DMS），本項目的雙面板生產(chǎn)采用碳基直接金屬化法（黑孔法Black-Hole），此法是將精細(xì)碳粉浸涂在孔壁上形成導(dǎo)電層，經(jīng)過微蝕處理除去銅層上的碳基，只在孔壁內(nèi)部非導(dǎo)體（絕緣的環(huán)氧樹脂基材）上保留導(dǎo)電的碳膜層，然后直接電鍍。電鍍階段采用新型全密閉設(shè)備，同傳統(tǒng)電鍍槽相比，廢氣向外界溢散量降低95%以上，污水排放量減少約三分之一，廢液中污染物濃度較低。同時，由于設(shè)備有較好的隔聲效果，并加裝送風(fēng)機(jī)消音裝置，使噪聲污染大大降低。⑷蝕刻機(jī)工段本項目在氨銅蝕刻段及水洗段間設(shè)有吸水滾輪和風(fēng)刀，使得蝕刻液在蝕刻槽中得到充分利用，排放污水帶出氨銅量比傳統(tǒng)方法可減少80%，降低了廢水處理的難度和處理費(fèi)用。相關(guān)排氣位置均附有廢氣排氣口，排氣時直接與廢氣管路相連進(jìn)入廢氣處理設(shè)施，避免了廢氣外泄。⑸顯影機(jī)工段本項目在顯影機(jī)工段及水洗段間設(shè)有吸水滾輪和風(fēng)刀，使得顯影液在顯影槽中得到充分利用，排放污水帶出碳酸鉀量大大降低。相關(guān)排氣位置均附有廢氣排氣口，排氣時直接與廢氣管路相連進(jìn)入廢氣處理設(shè)施，避免了廢氣外泄。同時，顯影