標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 13843-1992 藍(lán)寶石單晶拋光襯底片》這一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍(lán)寶石單晶拋光襯底片的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求。具體來說，它涵蓋了以下幾個(gè)關(guān)鍵方面：

  1. 定義與分類：標(biāo)準(zhǔn)首先明確了藍(lán)寶石單晶拋光襯底片的基本概念，以及按照尺寸、厚度、晶向等不同參數(shù)進(jìn)行的分類。

  2. 技術(shù)要求：

    • 材料：規(guī)定了用于制造襯底片的藍(lán)寶石單晶應(yīng)滿足的純度和晶體質(zhì)量要求。
    • 尺寸和形狀：詳細(xì)說明了襯底片的尺寸公差、平面度、平行度及厚度公差等指標(biāo)。
    • 表面質(zhì)量：包括表面粗糙度、平整度、潔凈度等，要求無明顯劃痕、污染點(diǎn)或其它缺陷。
    • 物理性能：可能包括密度、熱膨脹系數(shù)等物理特性指標(biāo)，確保襯底片在后續(xù)應(yīng)用中的穩(wěn)定性。

  3. 試驗(yàn)方法：為驗(yàn)證上述技術(shù)要求，標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)介紹了各項(xiàng)測(cè)試的執(zhí)行方法，如如何測(cè)量尺寸、使用何種設(shè)備檢測(cè)表面粗糙度等。

  4. 檢驗(yàn)規(guī)則：明確了產(chǎn)品檢驗(yàn)的程序、抽樣方法及合格判定準(zhǔn)則，確保每批產(chǎn)品的質(zhì)量一致性。

  5. 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存：規(guī)定了產(chǎn)品上應(yīng)標(biāo)注的信息（如生產(chǎn)日期、批號(hào)、規(guī)格等），以及包裝材料、方式、運(yùn)輸條件和儲(chǔ)存環(huán)境的要求，以防止在流通和存儲(chǔ)過程中對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成損害。


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  • 已被廢除、停止使用，并不再更新
  • 1992-12-28 頒布
  • 1993-08-01 實(shí)施
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GB/T 13843-1992藍(lán)寶石單晶拋光襯底片_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

UDC621.382.032.9L90中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T13843-92藍(lán)寶石單晶拋光襯底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates1992-12-28發(fā)布1993-08-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CB/T13843-92藍(lán)寶石單晶拋光襯底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates主題內(nèi)客與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了生長(zhǎng)硅的高純藍(lán)寶石單品拋光襯底片的技術(shù)要求、測(cè)試方法、檢驗(yàn)規(guī)則：本標(biāo)準(zhǔn)適用于制備半導(dǎo)體器件的生長(zhǎng)硅的高純藍(lán)寶石單品拋光襯底片。引用標(biāo)準(zhǔn)GB/T1556硅單晶晶向X衍射測(cè)量方法GB6618硅片厚度和總厚度變化的測(cè)試方法GB6619硅片彎曲度的接觸式測(cè)試方法GB6621硅拋光片表面平整度的非接觸式測(cè)試方法GB66244硅單晶拋光片表面質(zhì)量目測(cè)檢驗(yàn)方法GB10311表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值GB2828逐批檢查計(jì)數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查》硅片上的缺陷、浩污觀察標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程術(shù)語，硅品體完整性見附錄A。3技術(shù)要求3.11化學(xué)組成為高純的α-Al.O,,總雜質(zhì)含量應(yīng)小于1×10-。322結(jié)品完整性在所有直徑范圍內(nèi)都是單品結(jié)構(gòu)，位錯(cuò)應(yīng)等于或小于10°個(gè)/cm2.3.33制備襯底所使用的藍(lán)寶石單品的生長(zhǎng)方法采用直拉法(CZ)。3.44表面取向在所有直徑范圍內(nèi)均為(1102)±2"。3.5參考面3.5.1主參考面取向C軸在(1102)面上的投影順時(shí)針旋轉(zhuǎn)45"±2"見圖1)。3.5.2次參考面取向C軸在(1102)面上的投影逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)45°±2（

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