拉晶標(biāo)準(zhǔn)化考試試題一、填空題1.車間的濕度要求是（），溫度要求是（）。(答案：10-70,18-28)答案解析：1.濕度要求是10-70%，溫度要求是18-28℃2.加料過程卡料或加不完，直接提出不得再嘗試（），第一時間反饋值班主管，禁止（）。(答案：加料,私自處理)答案解析：2.加料過程卡料或加不完，直接提出不得再嘗試加料，第一時間反饋值班主管，禁止私自處理3.拉料領(lǐng)料時確認(rèn)（），防止拉錯加錯，或加多現(xiàn)象(答案：爐牌號)答案解析：3.拉料領(lǐng)料時確認(rèn)爐牌號，防止拉錯加錯，或加多現(xiàn)象4.引晶的目標(biāo)拉速在（）。(答案：180-210)答案解析：4.引晶的目標(biāo)拉速在180mm/h-210mm/h5.點(diǎn)調(diào)溫之前確認(rèn)晶轉(zhuǎn)為（）轉(zhuǎn)，堝轉(zhuǎn)（）轉(zhuǎn)，氬氣流量，干泵頻率，爐壓投閉環(huán)(答案：8,7)答案解析：5.點(diǎn)調(diào)溫之前確認(rèn)晶轉(zhuǎn)為8轉(zhuǎn)，堝轉(zhuǎn)7轉(zhuǎn)，氬氣流量，干泵頻率，爐壓投閉環(huán)6.確定大蓋氈的對中性，確定方法:（）。(答案：大蓋氈內(nèi)沿四點(diǎn)與下保溫蓋內(nèi)沿距離相等)答案解析：6.確定大蓋氈的對中性，確定方法：大蓋氈內(nèi)沿四點(diǎn)與下保溫蓋內(nèi)沿距離相等7.吸盤壓力表顯示負(fù)壓大于（），靜置（）min吸盤壓力無變化，可進(jìn)行吊料操作。(答案：0.06,5)答案解析：7.吸盤壓力表顯示負(fù)壓≥0.06MP，靜置5min吸盤壓力無變化，可進(jìn)行吊料操作。8.清理爐蓋時需要戴（）。(答案：安全帽)答案解析：8.清理爐蓋時需要戴安全帽。9.停泵2小時后，再次開啟主泵，抽（）后關(guān)閉主泵,禁止開啟（）。(答案：10-20,球閥)答案解析：9.停泵2小時后，再次開啟主泵，抽10min-20min后關(guān)閉主泵,禁止開啟球閥10.吸盤下沿與堝幫上沿前后左右四點(diǎn)高度偏差小于（），若超出范圍，需重新提升裝置進(jìn)行調(diào)整。(答案：3mm)11.拉晶過程中，如需校準(zhǔn)實(shí)際直徑，可根據(jù)（）個像素值對應(yīng)實(shí)際直徑為（）mm參考值進(jìn)行校準(zhǔn)。(答案：5,1)12.抽真空前需（），正確輸入（）信息，之后點(diǎn)擊抽空，系統(tǒng)自動進(jìn)入抽空。(答案：初始化,投料量)13.收尾前，應(yīng)根據(jù)（）、晶體（）是否達(dá)到收尾標(biāo)準(zhǔn)后再啟動，收尾的目的是為了（）。(答案：剩料重量,晶體長度,排查位錯)14.坩堝零位指的是:。(答案：堝幫上沿與加熱器上沿平行的位置)15.單晶爐打開爐蓋后，爐膛內(nèi)充滿（），氬氣密度比空氣（），會充滿整個爐膛，不易擴(kuò)散，因此（）人在主爐室沒有打開的情況下，直接進(jìn)入爐膛，否則會發(fā)生（）（氬氣對人體無直接危害，但是大量吸入會造成人體缺氧窒息）。(答案：氬氣,大,嚴(yán)禁,窒息死亡)一、簡答題1.系統(tǒng)校正液口距的流程，步驟及關(guān)鍵點(diǎn)?（10分）答案解析：1、確認(rèn)液口距捕捉線無跳動，換熱器置于下限，校準(zhǔn)系數(shù)1.4

2、CCD校準(zhǔn)：液口距捕捉線捕捉到“月牙”左右邊緣，捕捉穩(wěn)定（跳動范圍≤±0.2mm），像素實(shí)時值與平均值穩(wěn)定后，在“液口距校準(zhǔn)”框內(nèi)點(diǎn)擊“點(diǎn)擊校準(zhǔn)”

3、堝位放置：【運(yùn)動控制】--升降堝位，使“液口距標(biāo)準(zhǔn)值”顯示為20mm，下降堝位23個，使“液口距標(biāo)準(zhǔn)值”顯示為36.5±1mm2.預(yù)防漏硅注意事項(xiàng)。（8分）答案解析：（1）裝料前確認(rèn)熱場裝配正常，上軸正常，石墨堝幫及石英坩堝合格。

（2）嚴(yán)格按照裝料要求操作，避免砸傷石英坩堝，碰傷的坩堝退回坩堝房，經(jīng)確認(rèn)后再進(jìn)行相關(guān)處理，禁止直接進(jìn)行使用。

（3）提升上軸時注意隔離閥完全打開且上軸無擺動。

（4）回熔晶棒時，防止晶體一次性下降太多，戳壞石英坩堝。

（5）拉晶過程中要防止結(jié)晶造成漏硅。

（6）防止拉晶時多次斷線回熔造成拉晶時間太長漏硅

（7）提升上軸時禁止升過上軸限位。3.簡述晶體扭曲的原因以及處理方法。（8分）答案解析：1、爐內(nèi)溫度過低，拉速過高

2、液口距過大。

處理措施：

1、觀察坩堝位置，若坩堝位置過低，液口距過大，則手動增大堝升，液口距合適后退出。

2、觀察爐內(nèi)情況，若液口距合適，則手動升溫0.5kw,30min后查看晶棒情況，若還是變形再升0.5kw。4、簡述異常停電處理方法。（10分）答案解析：所有人立馬撤離至過道等通知

1、大于兩分鐘沒來電

①設(shè)備開啟柴油泵-電源柜來電

②進(jìn)入片區(qū)進(jìn)行處理-降堝，降晶轉(zhuǎn)（堝位下降30mm,晶轉(zhuǎn)給至0）

③撤離-安全區(qū)域

2、小于兩分鐘來電

①全部進(jìn)入片區(qū)處理

②班長把所有主泵開關(guān)打開（除停爐爐臺），主泵預(yù)熱1min后，打開主室球閥，副室充氣閥（主室充氣閥）；主操負(fù)責(zé)打開負(fù)責(zé)爐臺的主底加開關(guān)，并給定主底加功率（熔料加料：主底加90+70Kw,調(diào)溫引放，等徑75kw）,停爐爐臺無需操作。

③降晶轉(zhuǎn)，堝轉(zhuǎn)，提出晶棒（晶轉(zhuǎn)給至0，堝轉(zhuǎn)下降30mm）\