半導(dǎo)體PN結(jié)特性的表征及視頻制作答辯人：陽蒙強(qiáng)學(xué)號(hào)：201011141921指導(dǎo)老師：王引書教授2014年5月22日目錄頁contents01選題背景02實(shí)驗(yàn)原理03實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析04視頻展示1、選題半導(dǎo)體PN結(jié)具有單向?qū)щ娦缘奶攸c(diǎn)，可以用于整流、檢波，是制造二極管、三級(jí)管的物質(zhì)基礎(chǔ)。半導(dǎo)體器件大量使用在電子產(chǎn)品中，是制造半導(dǎo)體二極管、三極管、CCD、CPU的重要材料。---電子產(chǎn)業(yè)的糧食---一種重要的半導(dǎo)體器件背景1、選題意義

中學(xué)生在日常生活中就已經(jīng)接觸了很多半導(dǎo)體器件，講授一些半導(dǎo)體PN結(jié)的知識(shí)可以讓他們更好地將物理學(xué)習(xí)與日常生活聯(lián)系起來。通過I-V測量，C-V測量以及深能級(jí)瞬態(tài)譜的測量，可以讓學(xué)生更加全面地和較為深入地認(rèn)識(shí)半導(dǎo)體PN結(jié)。2、理論分析P型半導(dǎo)體和N型半導(dǎo)體在本征半導(dǎo)體，中摻入少量三價(jià)元素雜質(zhì)形成以空穴導(dǎo)電為主的半導(dǎo)體空穴為多數(shù)載流子，自由電子為少數(shù)載流子P型半導(dǎo)體本征半導(dǎo)體中摻入五價(jià)原子，如磷等形成以電子導(dǎo)電為主的半導(dǎo)體電子為多數(shù)載流子，空穴為少數(shù)載流子。N型半導(dǎo)體2、理論分析PN結(jié)的形成P型半導(dǎo)體+N型半導(dǎo)體緩變結(jié)擴(kuò)散作用外延法生長突變結(jié)2、理論分析同質(zhì)PN結(jié)能帶結(jié)構(gòu)及勢(shì)壘的形成2、理論分析PN結(jié)I-V特性正向電壓反向電壓2、理論分析PN結(jié)I-V特性2、設(shè)計(jì)理論P(yáng)N結(jié)C-V特性在耗盡近似的情況下，突變結(jié)空間電荷區(qū)的電子電勢(shì)變化可以由泊松方程描述：積分可得：勢(shì)壘區(qū)單位面積的電荷：Q=eNd，則：定義微分電容：單位面積的微分電容為2、設(shè)計(jì)理論P(yáng)N結(jié)的勢(shì)壘電容計(jì)入結(jié)面積后上式可以改寫為：在不同電壓V下測量電容，做1/C2—V曲線可以得到一條直線，由其斜率可以求出雜質(zhì)濃度N，從直線在V軸上的截距可以求出結(jié)的勢(shì)壘高度VD。2、設(shè)計(jì)理論P(yáng)N結(jié)的深能級(jí)瞬態(tài)電容

深能級(jí)是半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)，與靠近導(dǎo)帶和價(jià)帶的淺能級(jí)相比，處于較深能量狀態(tài)的能級(jí)。

雜質(zhì)缺陷產(chǎn)生的深能級(jí)分布在禁帶中較寬的范圍內(nèi)，能起陷阱和復(fù)合中心以及發(fā)光中心的作用，對(duì)結(jié)電容和電導(dǎo)率有影響，但與淺能級(jí)相比這種影響隨溫度而改變。

淺能級(jí)決定著半導(dǎo)體的電導(dǎo)率和結(jié)電容，除在77K以下的極低溫度范圍內(nèi)，其對(duì)電導(dǎo)率和結(jié)電容的影響基本不隨溫度變化?？梢酝ㄟ^電橋平衡掉淺能級(jí)結(jié)電容，通過放大增益和改變溫度探測到深能級(jí)瞬態(tài)電容。2、理論分析PN結(jié)的勢(shì)壘電容圖1深能級(jí)充放電示意圖、結(jié)電容的變化及反偏下pn結(jié)的能帶結(jié)構(gòu)圖2、理論分析PN結(jié)的勢(shì)壘電容結(jié)電容：對(duì)結(jié)施加零偏壓脈沖(多子脈沖)，可使原耗盡區(qū)中的深能級(jí)充以電子。此時(shí)結(jié)電容為：VR脈沖過后pn結(jié)仍恢復(fù)反向偏置，結(jié)電容下降為：電容的該變量：2、理論分析PN結(jié)的深能級(jí)瞬態(tài)電容對(duì)于P+N結(jié)：深能級(jí)放電過程中NT（ET）上電子（或空穴）濃度nT(t)(或pT(t))，隨時(shí)間t指數(shù)減少：在ND>>NT的條件下，深能級(jí)瞬態(tài)電容為：2、理論分析PN結(jié)的深能級(jí)瞬態(tài)譜2、理論分析PN結(jié)深能級(jí)瞬態(tài)譜對(duì)于譜峰點(diǎn)：可以得到：實(shí)驗(yàn)中VD1信號(hào)：，n=5,10,20,50t2/t1=3VD2信號(hào)：，n=5,10,20,502、理論分析PN結(jié)的勢(shì)壘電容從實(shí)驗(yàn)上得到e作為溫度的函數(shù):

由曲線的斜率確定Ec-ET值，即深能級(jí)雜質(zhì)的電離能3、結(jié)果及視頻I-V特性3、結(jié)果及視頻C-V特性3、結(jié)果及視頻C-V特性接觸電勢(shì)差VD=0.7846V淺能級(jí)雜質(zhì)濃度N=8.661018cm-33、結(jié)果及視頻深能級(jí)瞬態(tài)譜3、結(jié)果及視頻多子峰13、結(jié)果及視頻多子峰23、結(jié)果及視頻多子峰33、結(jié)果及視頻可能摻雜的深能級(jí)雜質(zhì)峰1，峰2，峰3對(duì)應(yīng)的斜率分別為：-3146，--4046，-5399玻爾茲曼常量kB=8.6173357*10-5eV/K，利用（EC-ET）=—kB*k。得到（EC-ET）分別為：0.271eV，0.349eV，0.465eV。元素SGeKNiAgMgCdV（EC-ET