犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜２６２４９—２０１０

電子工業(yè)用氣體硒化氫

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２０１１０１１４發(fā)布２０１１０５０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜２６２４９—２０１０

前言

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ和附錄Ｂ為規(guī)范性附錄。附錄Ｃ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)（ＳＡＣ／ＴＣ２０３／ＳＣ１）歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院、上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司、河

北保定市北方特種氣體有限公司。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：周澤義、方華、莊鴻濤、李建浩、周鵬云、徐少兵。

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜２６２４９—２０１０

電子工業(yè)用氣體硒化氫

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硒化氫的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硒鋁、硒鎂合金化合物水解、單質(zhì)硒與氫高溫反應(yīng)等方法獲得并經(jīng)精制得到的硒化氫

產(chǎn)品。它主要用于太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。

分子式：Ｈ２Ｓｅ。

相對(duì)分子質(zhì)量：８０．９７５８８（按２００７年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體中濕度的測(cè)定第１部分：電解法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法

ＧＢ／Ｔ１１６４０鋁合金無(wú)縫氣瓶

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ／Ｔ２６５７１特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》（國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布，２０００年）

３技術(shù)要求

硒化氫的技術(shù)要求應(yīng)符合表１的規(guī)定。

表１技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

－２

硒化氫（Ｈ２Ｓｅ）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．９９

－６

氫（Ｈ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０≤２０

－６

氧＋氬（Ｏ２＋Ａｒ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０≤１０

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０≤２０

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６≤１０

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０≤１０

總烴（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６≤１０

－６

硫化氫（Ｈ２Ｓ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０