標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 30857-2014 藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)定藍(lán)寶石襯底片的厚度及其變化的測量方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于直徑不大于300mm、厚度范圍在10μm至2mm之間的藍(lán)寶石襯底片。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，對于藍(lán)寶石襯底片的厚度測量主要采用接觸式和非接觸式兩種方式。接觸式測量通常使用千分尺等工具直接對樣品進(jìn)行測量；而非接觸式則包括但不限于激光干涉法、白光干涉法等光學(xué)技術(shù)手段，這些方法能夠提供更高的精度，并且不會因為物理接觸而可能損傷樣品表面。選擇哪種方法取決于具體的應(yīng)用場景以及所需的測量精度。

針對厚度變化（也稱為平面度或翹曲）的評估，《GB/T 30857-2014》推薦了基于光學(xué)原理的技術(shù)，如利用激光掃描來獲得整個襯底面上的高度分布圖，進(jìn)而分析其平坦程度或形變情況。此外，還提出了關(guān)于如何正確設(shè)置實驗條件、處理數(shù)據(jù)等方面的具體指導(dǎo)原則，確保不同實驗室之間結(jié)果的一致性和可比性。

該文件詳細(xì)描述了測試前準(zhǔn)備工作的步驟，比如清洗樣品表面以去除雜質(zhì)，確保測量區(qū)域干凈無損；同時明確了記錄與報告要求，包括但不限于原始數(shù)據(jù)記錄格式、計算公式應(yīng)用示例等內(nèi)容，幫助使用者更好地理解和執(zhí)行相關(guān)操作流程。通過遵循本標(biāo)準(zhǔn)所列的各項指南，可以有效提高藍(lán)寶石襯底材料質(zhì)量控制水平，促進(jìn)半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)的發(fā)展。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2014-07-24 頒布
  • 2015-04-01 實施
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文檔簡介

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T30857—2014

藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法

Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsapphiresubstrates

2014-07-24發(fā)布2015-04-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T30857—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會及材料分技術(shù)委員會

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并歸口

203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位協(xié)鑫光電科技控股有限公司中國科學(xué)院上海光機(jī)所浙江昀豐新能源科技

:、、

有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人魏明德黃朝暉劉逸楓杭寅徐永亮

:、、、、。

Ⅰ

GB/T30857—2014

藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了制備氮化鎵薄膜外延片及其他用途的藍(lán)寶石單晶切割片研磨片拋光片簡稱襯底

、、(

片厚度和厚度變化是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限度要求的測試方法

)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化的測試

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

5點厚度變化5pointsthicknessvariation

TV5

襯底片上特定個點的厚度測量值中的最大厚度與最小厚度的差值稱為襯底片的點厚度變化

55。

4方法概述

41分立點式測量

.

在襯底片中心點和距邊圓周上的個對稱位置點見圖測量襯底片厚度中心點厚度作為

2mm4(1)。

襯底片的標(biāo)稱厚度個厚度測量值中的最大厚度與最小厚度的差值即為襯底片的點厚度變化

。55。

說明

:

距圓邊

1、4、5———2mm;

中心點

2———;

距平邊

3———2mm。

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