ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31987—2015

電子工業(yè)用氣體鍺烷

Gasforelectronicindustry—Germane

2015-09-11發(fā)布2016-05-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T31987—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司佛山市華特氣體有限公司中昊光明化工研究

:、、

設(shè)計(jì)院有限公司國家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心福建西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

、()、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人方華裴友宏郭秀麗林宇巍陳熔周鵬云

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31987—2015

電子工業(yè)用氣體鍺烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鍺烷的技術(shù)要求試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝貯運(yùn)和安全

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于氯化鍺還原電解氧化鍺的硫酸溶液鍺鎂合金與鹽酸反應(yīng)等方法得到的鍺烷產(chǎn)品

、、。

它用于化學(xué)試劑制取高純度鍺化學(xué)氣相淀積擴(kuò)散非晶硅外延離子注入等領(lǐng)域

、、、、、、。

分子式

:GeH4。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計(jì)算

:76.662(2011)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版

(2011)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

鍺烷的質(zhì)量應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

鍺烷純度體積分?jǐn)?shù)-2

(GeH4)()/10≥99.999

氫含量體積分?jǐn)?shù)-6

(H2)()/10<50

氧氬含量體積分?jǐn)?shù)-6

(O2)+(Ar)()/10≤2

氮含量體積分?jǐn)?shù)-6

(N2)()/10≤