ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)

圖像銳度評估方法

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—

Methodsofevaluatingimagesharpness

(ISO/TS24597:2011,IDT)

2017-05-31發(fā)布2018-04-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

獲取圖像的步驟

4SEM…………………2

概述

4.1…………………2

試樣

4.2…………………2

試樣傾斜

4.3……………2

視場選擇

4.4……………2

像素大小選擇

4.5………………………3

圖像亮度和襯度

4.6……………………4

圖像襯噪比

4.7…………………………4

圖像聚焦和像散

4.8……………………6

外部因素干擾

4.9………………………6

錯誤襯度

4.10……………6

圖像數(shù)據(jù)文件

4.11SEM………………6

圖像獲取及圖像區(qū)域選擇

5SEM…………6

評估方法

6…………………6

概述

6.1…………………6

襯噪比

6.2………………7

傅立葉變換法

6.3(FT)…………………7

襯度梯度法

6.4-(CG)…………………10

導數(shù)法

6.5(DR)………………………12

測試報告

7…………………14

概述

7.1…………………14

測試報告內(nèi)容

7.2………………………14

附錄規(guī)范性附錄襯噪比細節(jié)

A()(CNR)………………15

附錄規(guī)范性附錄傅立葉變換法細節(jié)

B()(FT)………19

附錄規(guī)范性附錄襯度梯度法細節(jié)

C()-(CG)…………32

附錄規(guī)范性附錄導數(shù)法細節(jié)

D()(DR)………………42

附錄資料性附錄評估圖像銳度的背景

E()……………59

附錄資料性附錄各種評估方法的特征和適用性

F()…………………63

附錄資料性附錄用于評估圖像銳度的試樣的制備方法

G()…………66

附錄資料性附錄測試報告示例

H()……………………68

參考文獻

……………………70

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用微束分析掃描電子顯微術(shù)圖像銳度評估方

ISO/TS24597:2011《

法

》。

與本標準中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對應(yīng)關(guān)系的我國文件如下

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)術(shù)語

———GB/T21636—2008(ISO22493:2008,IDT)。

本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準起草單位中國科學技術(shù)大學物理學院

:。

本標準主要起草人丁澤軍阮矚

:、。

Ⅰ

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析掃描電子顯微術(shù)

圖像銳度評估方法

1范圍

本標準規(guī)定了用于評估掃描電子顯微鏡生成的數(shù)字圖像銳度的種方法傅立葉變換

(SEM)3:(FT)

法襯度梯度法導數(shù)法

、-(CG)、(DR)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

檢測和校準實驗室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

微束分析掃描電鏡圖像放大倍率校準導則

GB/T27788—2011(ISO16700:2004,IDT)

微束分析掃描電子顯微術(shù)術(shù)語

ISO22493(Microbeamanalysis-Scanningelectronmicro-

scopy—Vocabulary)

3術(shù)語和定義

和界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T27788—2011ISO22493。

31

.

像素pixel

數(shù)字圖像中不可再分的最小成像單位

SEM。

32

.

像素大小pixelsize

圖像中單位像素的試樣長度單位納米

SEM,