中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范

JJF1062—2022

電離真空計校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforIonizationVacuumGauges

2022-04-29發(fā)布2022-10-29實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1062—2022

電離真空計校準(zhǔn)規(guī)范??

??JJ?F?1?0?6?2?—?20?2?2????

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CalibrationSpecificationforIonization代?替JJF1062—1999?

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?JJG462—2004?

VacuumGauges

歸口單位全國壓力計量技術(shù)委員會

:

主要起草單位中國計量科學(xué)研究院

:

參加起草單位云南省計量測試技術(shù)研究院

:

成都國光電氣股份有限公司

本規(guī)范委托全國壓力計量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋

JJF1062—2022

本規(guī)范主要起草人

:

王金庫中國計量科學(xué)研究院

()

于紅燕中國計量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

周瑩云南省計量測試技術(shù)研究院

()

李濘成都國光電氣股份有限公司

()

JJF1062—2022

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和計量單位

3………………………(1)

術(shù)語

3.1…………………(1)

計量單位

3.2……………(1)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(2)

校準(zhǔn)條件

6………………(2)

環(huán)境條件

6.1……………(2)

計量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備

6.2………………(2)

校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法

7…………………(3)

校準(zhǔn)項目

7.1……………(3)

校準(zhǔn)方法

7.2……………(3)

數(shù)據(jù)處理

7.3……………(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(6)

復(fù)校時間間隔

9…………(6)

附錄電離真空計校準(zhǔn)記錄格式

A……………………(7)

附錄電離真空計校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式

B………………(8)

附錄電離真空計測量結(jié)果的不確定度評定示例

C…………………(9)

Ⅰ

JJF1062—2022

引言

國家計量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則通用計量術(shù)語及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義測量不確定度評定與表示和真空技

》、JJF1059.1—2012《》GB/T3163—2007《

術(shù)術(shù)語共同構(gòu)成本規(guī)范制定的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

》。

本規(guī)范參考了熱陰極電離真空計真空

JB/T7463—2005《》、GB/T34873—2017《

計與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比較校準(zhǔn)真空技術(shù)真空計與標(biāo)準(zhǔn)真

》、GB/T34876—2017《

空計直接比較校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評定采用了其中的基本原則對具體方法和技術(shù)

》,,

指標(biāo)進(jìn)行了細(xì)化補(bǔ)充和修改

、。

本規(guī)范代替電離真空計及二等標(biāo)準(zhǔn)電離真空

JJF1062—1999《》JJG462—2004《

計

》。

與和相比除編輯性修改外主要技術(shù)變化如下

JJF1062—1999JJG462—2004,,:

刪除規(guī)管常數(shù)和電路的電參數(shù)檢測部分

———;

刪除壓力示值誤差超差判據(jù)

———;

原規(guī)范中要求標(biāo)準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)室的本底壓力不大于被校真空計壓力下限測量點壓

———

力值的本次修訂將該數(shù)值修改為見和

2%,10%(7.2.2.17.2.2.2);

增加不確定度評定方法見附錄

———(C)。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況為

:

———JJG462—2004;JJF1062—1999。

Ⅱ

JJF1062—2022

電離真空計校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于測量范圍在-92的電離真空計校準(zhǔn)

1×10Pa~1×10Pa。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

真空技術(shù)術(shù)語

GB/T3163—2007

真空技術(shù)圖形符號

GB/T3164—2007

真空計與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比較校準(zhǔn)

GB/T34873—2017

真空技術(shù)真空計與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比較校準(zhǔn)結(jié)果的不確

GB/T34876—2017

定度評定

熱陰極電離真空計

JB/T7463—2005

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和計量單位

術(shù)語

3.1

真空計

3.1.1vacuumgauge

測量低于大氣壓力的氣體或蒸汽壓力的一種儀器

。

定義

[GB/T3163—2007,4.1.2]

規(guī)管

3.1.2gaugehead

某些種類的真空計中包含壓力敏感元件并直接與真空系統(tǒng)連接的部件

,。

電離真空計

3.1.3ionizationvacuumgauge

通過測量氣體在控制條件下電離產(chǎn)生的離子流來確定分子密度進(jìn)而測得壓力的一

,

種真空計

。

校準(zhǔn)室

3.1.