中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范

JJF1535—2015

微機(jī)電(MEMS)陀螺儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforMEMSGyroscopes

2015-06-15發(fā)布2015-09-15實施

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

JJF1535—2015

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微機(jī)電(MEMS)陀螺儀???????????????

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校準(zhǔn)規(guī)范?—?

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MEMSGyroscopes

歸口單位全國慣性技術(shù)計量技術(shù)委員會

:

主要起草單位南京理工大學(xué)

:

中航工業(yè)北京長城計量測試技術(shù)研究所

參加起草單位中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

:

本規(guī)范委托全國慣性技術(shù)計量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋

JJF1535—2015

本規(guī)范主要起草人

:

裘安萍南京理工大學(xué)

()

施芹南京理工大學(xué)

()

董雪明中航工業(yè)北京長城計量測試技術(shù)研究所

()

參加起草人

:

朱欣華南京理工大學(xué)

()

吝海鋒中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所

()

JJF1535—2015

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語

3……………………(1)

陀螺儀

3.1MEMS……………………(1)

零偏重復(fù)性B

3.2r……………………(1)

零偏穩(wěn)定性B

3.3s……………………(1)

零偏溫度靈敏度B

3.4t………………(1)

零偏加速度靈敏度B

3.5a……………(1)

角度隨機(jī)游走系數(shù)

3.6…………………(2)

帶寬B

3.7w……………(2)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(2)

校準(zhǔn)條件

6………………(3)

校準(zhǔn)環(huán)境條件

6.1………………………(3)

校準(zhǔn)用設(shè)備

6.2…………(3)

校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法

7…………………(4)

校準(zhǔn)項目

7.1……………(4)

校準(zhǔn)方法

7.2……………(5)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(11)

復(fù)校時間間隔

9…………(12)

附錄微機(jī)電陀螺儀主要參數(shù)不確定度評定示例

A(MEMS)……(13)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)頁格式

B……………(16)

Ⅰ

JJF1535—2015

引言

陀螺儀按照特定的類型大部分都有專用的校準(zhǔn)規(guī)范或測試方法陀螺儀作

,MEMS

為一種新型傳感器廣泛應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)各領(lǐng)域依據(jù)陀螺儀校準(zhǔn)的實際情況

,。MEMS,

參照TM科里奧利原理振動陀螺儀的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)范格式指

IEEEStd1431—2004《IEEE

南和試驗方法

》(IEEEStandardSpecificationFormatGuideandTestProcedureforCo-

編寫本規(guī)范

riolisVibratoryGyros)。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF1535—2015

微機(jī)電(MEMS)陀螺儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范規(guī)定了微機(jī)電陀螺儀以下簡稱陀螺儀的校準(zhǔn)項目和

(MEMS)(MEMS)

校準(zhǔn)方法適用于單敏感軸陀螺儀多敏感軸陀螺儀可以參照執(zhí)行

,MEMS,MEMS。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

優(yōu)先數(shù)和優(yōu)先數(shù)系

GB321—2005

慣性技術(shù)術(shù)語

GJB585A—1998

光纖陀螺儀測試方法

GJB2425A—2004

TM科里奧利原理振動陀螺儀的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)范格式指

IEEEStd1431—2004IEEE

南和試驗方法

(IEEEStandardSpecificationFormatGuideandTestProcedureforCori-

olisVibratoryGyros)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語

確立的以及下列術(shù)語定義和符號適用于本

GJB585A—1998、GJB2425A—2004、

規(guī)范

。

陀螺儀

3.1MEMSMEMSgyroscopes

微電子與微機(jī)械相結(jié)合的基于高頻振動的質(zhì)量被基座帶動旋轉(zhuǎn)時存在哥氏效應(yīng)原理

的微型化速率陀螺儀

。

零偏重復(fù)性B

3.2rbiasrepeatability

在同樣的條件下及規(guī)定的時間間隔內(nèi)多個工作周期的陀螺儀零偏之間的

,MEMS

一致程度重復(fù)性一般包括逐日和逐次重復(fù)性用零偏的標(biāo)準(zhǔn)偏差或零偏變化量表

。。

示

,°/h,°/s。

零偏穩(wěn)定性B

3.3sbiasstability

一個工作周期內(nèi)