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中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1059—2015

硅外延用三氯氫硅中總碳的測(cè)定

氣相色譜法

Determinationoftotalcarboncontentintrichlorosilaneforsiliconeqitaxy—

Gaschromatographicmethod

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1059—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中鍺科技有限公司昆明冶研新材料股份有限公司江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限

:、、

公司新特能源股份有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉英杰鄭華榮柯尊斌劉新軍趙建為王桃霞張京張?jiān)茣煑罴t燕陳喜清

:、、、、、、、、、、

楊帥

。

Ⅰ

YS/T1059—2015

硅外延用三氯氫硅中總碳的測(cè)定

氣相色譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅外延用三氯氫硅中總碳含量的氣相色譜測(cè)定方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅外延用三氯氫硅中總碳含量的測(cè)定測(cè)定范圍為

,0.00005%~0.005%。

2方法提要

三氯氫硅樣品在惰性氣體保護(hù)下注入氣相色譜儀其中的含碳組分在高溫富氫還原爐內(nèi)全部轉(zhuǎn)

,,、

化為甲烷然后用氫火焰離子化檢測(cè)器檢測(cè)甲烷的含量計(jì)算出三氯氫硅中的總碳量轉(zhuǎn)化反應(yīng)如下

,,。:

850℃

xyz+z+y-x+z+y

HSiCCl1/2(4)H2→SiHClCH4

3試劑和材料

31氫氣體積分?jǐn)?shù)

.,≥99.999%。

32惰性氣體體積分?jǐn)?shù)

.,≥99.999%。

33壓縮空氣經(jīng)活性炭干燥

.,。

34丙酮分析純

.,。

35甲烷標(biāo)準(zhǔn)氣體補(bǔ)充氣為氫氣

.,。

4儀器設(shè)備

41氣相色譜儀配有氫火焰離子化檢測(cè)器氫氣還原爐以及相應(yīng)的色譜工作站

.:(FID)、,。

42色譜柱碳分子篩色譜柱或其他等效色譜柱尺寸為?

.:,3mm×50cm。

43氫氣還原爐爐內(nèi)配備長(zhǎng)內(nèi)徑左右的內(nèi)裝石英砂的石英管

.:40cm,3mm。

44微量注射器

.:10μL。

5干擾因素

51樣品應(yīng)置于冰箱中冷凍保存防止樣品揮發(fā)損失

.,。

52室內(nèi)濕度應(yīng)控制在以下防止環(huán)境濕度對(duì)樣品的影響

.40%,。

53惰性氣體操作箱內(nèi)的空氣必須用高純氣體置換干凈否則樣品水解影響測(cè)試結(jié)果

.,,。

54樣品應(yīng)避免和有機(jī)物質(zhì)接觸儀器進(jìn)樣系統(tǒng)避免引入有機(jī)物質(zhì)否則會(huì)造成測(cè)試結(jié)果偏高

.,;。

6分析步驟

警告移取三氯氫硅樣品時(shí)要防止樣品泄露建議在惰性氣體保護(hù)下轉(zhuǎn)移樣品并佩戴好防護(hù)用