第三電容式傳感器演示文稿現(xiàn)在是1頁\一共有16頁\編輯于星期一優(yōu)選第三電容式傳感器現(xiàn)在是2頁\一共有16頁\編輯于星期一1、變面積型：

變面積型傳感器是線性的。增大初始電容C0可以提高靈敏度K，這種傳感器主要用于位移等參數(shù)的測量。

現(xiàn)在是3頁\一共有16頁\編輯于星期一2、變介電常數(shù)型：

變介電常數(shù)型傳感器是線性的。增大初始電容C0

可以提高靈敏度K，這種傳感器主要用于物位測量、介電常數(shù)測量和測厚儀?，F(xiàn)在是4頁\一共有16頁\編輯于星期一3、變間距型（常用形式）

當極板距離有一個增量Δd時，則傳感器電容為：

現(xiàn)在是5頁\一共有16頁\編輯于星期一靈敏度K為

非線性誤差為：

常采用差動式電容傳感器，此時電容傳感器輸出為：現(xiàn)在是6頁\一共有16頁\編輯于星期一靈敏度為：

非線性誤差為：

變面積型和變介電常數(shù)型(測厚除外)電容傳感器具有很好的線性。但它們的結論都是忽略了邊緣效應得到的。實際上由于邊緣效應仍存在非線性問題，且靈敏度下降，但比變極距型好得多?，F(xiàn)在是7頁\一共有16頁\編輯于星期一二、電容式傳感器的測量電路調(diào)制型電路分為：調(diào)頻電路和調(diào)幅電路；1．交流激勵法，2.交流電橋電路

脈沖型電路，脈沖型轉換電路的基本原理是利用電容的充放電。兩種性能較好，較常用的電路為：雙T型充放電網(wǎng)絡，脈沖調(diào)寬型電路?，F(xiàn)在是8頁\一共有16頁\編輯于星期一1.交流電橋現(xiàn)在是9頁\一共有16頁\編輯于星期一2．脈沖寬度調(diào)制電路現(xiàn)在是10頁\一共有16頁\編輯于星期一現(xiàn)在是11頁\一共有16頁\編輯于星期一令，則電路輸出為：為觸發(fā)器輸出高電平，當電容為變間距電容傳感器時，現(xiàn)在是12頁\一共有16頁\編輯于星期一三、誤差分析1．溫度的影響

從選材、結構、加工工藝等方面可以有效的減小溫度誤差，同時保證絕緣材料具有高的絕緣性能。2．邊緣效應及其消除邊緣效應不僅使電容傳感器的靈敏度降低而且產(chǎn)生非線性因此應盡量消除或減小它。消除邊緣效應的方法：

·增加原始電容值

·加裝等位環(huán)3．寄生與分布電容的影響及消除

寄生電容是電容極板與周圍物體產(chǎn)生的電容。它改變電容傳感器的電容量且本身極不穩(wěn)定，影響傳感器的靈敏度，而它的變化則為虛假信號影響儀器的精度，必須消除和減小它。現(xiàn)在是13頁\一共有16頁\編輯于星期一消除和減小寄生電容可采用如下方法：·增加原始電容值可減小寄生電容的影響?！ぷ⒁鈧鞲衅鞯慕拥睾推帘??！鞲衅髋c電子線路的前置級(集成化)裝在一個殼體內(nèi)，省去傳感器至前置級的電纜?！げ捎?驅動電線"技術(也稱"雙層屏蔽等位傳輸"技術)?！げ捎眠\算放大器法·整體屏蔽法。防止和減小外界干擾現(xiàn)在是14頁\一