第2章傳感器的功能材料及加工工藝2.12.2第2章傳感器的功能材料及加工工藝傳感器使用的材料傳感器的加工工藝2.1傳感器使用的材料表2?1各類材料在傳感器中的應(yīng)用情況2.1.1材料的基本物理知識(shí)2.1.1.1基本粒子2.1.1.2元素的電子層結(jié)構(gòu)表2?2鍵性與物性的關(guān)系2.1.1材料的基本物理知識(shí)2.1.1.3固體的能帶圖2-11在氫分子中δ1S和δ*1S分子軌道的狀態(tài)能量與兩氫核之間距離的關(guān)系曲線圖2?2“金屬”氫的能態(tài)與氫核之間距離的關(guān)系曲線2.1.1材料的基本物理知識(shí)2.1.1.4導(dǎo)體和非導(dǎo)體的能帶圖2?3在金剛石中SP3雜化原子軌道所產(chǎn)生的價(jià)帶和導(dǎo)帶圖2.1.1.4導(dǎo)體和非導(dǎo)體的能帶圖2?4金屬，絕緣體和半導(dǎo)體能帶圖2.1.1.4導(dǎo)體和非導(dǎo)體的能帶圖2?5晶胞用空間點(diǎn)陣描述2.1.2導(dǎo)體、半導(dǎo)體和電介質(zhì)2.1.2.1導(dǎo)體（金屬和離子導(dǎo)體）敏感材料（2?1）

（2?2）電場(chǎng)使電子加速：平均速度或漂移速度為：電流密度為：（2?3）電導(dǎo)率為：（2?4）2.1.2.1導(dǎo)體（金屬和離子導(dǎo)體）敏感材料圖2?6金屬系溫度敏感元件的物理量變換方式2.1.2導(dǎo)體、半導(dǎo)體和電介質(zhì)2.1.2.2半導(dǎo)體敏感材料由于電子和空穴都影響總電流，因此式（2-4）變換成下面的形式：2.1.2.3電介質(zhì)（2?5）2.1.2.2半導(dǎo)體敏感材料表2?3采用半導(dǎo)體材料制作傳感器的例子2.1.3陶瓷敏感材料表2?4利用陶瓷敏感材料制作傳感器的例子2.1.3陶瓷敏感材料2.1.3陶瓷敏感材料2.1.3.1物理敏感陶瓷材料陶瓷熱敏器件陶瓷光敏電阻陶瓷壓電元件陶瓷熱釋電材料

2.唇1.學(xué)3.抄1物理鵝敏感燦陶瓷奇材料表2?季5各種抹熱釋踏電體識(shí)的特稀性2.臟1.摔3陶瓷尤敏感疲材料2.難1.恐3.荷2化學(xué)因敏感稈陶瓷灶材料濕敏頑陶瓷氣敏溉陶瓷2.濁1.殺3.暈3其他敞陶瓷荷材料表2?笑6主要始利用暢化學(xué)?，F(xiàn)象緩的氧嚇化物驅(qū)載體擁金屬隔敏感稼元件2.贏1.地3有機(jī)彈高分踩子敏蝦感材凝料2.賀1.賄4.鋪1有機(jī)羅敏感謊材料炭的種嚴(yán)類和鴿特性表2?祝7有機(jī)筍敏感沒(méi)材料2.里1.紋4.歡1有機(jī)宴敏感秘材料獎(jiǎng)的種掩類和倡特性表2?豆8利用統(tǒng)有機(jī)浮材料執(zhí)的敏錄感元病件2.遵1.張4.含1有機(jī)尤敏感亂材料慎的種萌類和頁(yè)特性2.餅1.傳4有機(jī)疑高分悼子敏面感材劣料2.語(yǔ)1.寄4.妄2有機(jī)此高分望子濕飯敏材慌料2.燃1.牌4.饒3有機(jī)桐高分魂子氣爹敏材煮料2.紫1.繭4.追4有機(jī)另高分炒子壓詞電材夫料表2?出9幾種叢有代肥表性播的高察分子啊氣體繩傳感病器2.凈1.熔5磁性詠材料真空須中的城磁通夾量與怖外加撐磁場(chǎng)呼強(qiáng)度弊成正蹦比：其中蔽，M是每況單位堵體積饅的磁途偶極譽(yù)矩或手磁化忍強(qiáng)度膜，為密相對(duì)油磁導(dǎo)滑率。2-皂62-漆7圖2?蜂7由磁扯疇位尖移和蓋定向規(guī)引起眨的鐵孟磁材溉料的宵磁化2.秋2傳感暫器的努加工站工藝2.勻2.復(fù)1結(jié)構(gòu)傭型傳遞感器雙的加雕工工墨藝圖2?料8應(yīng)用倡不同賄的加瓜工方芽法所魄能得它到的錢加工垮精度2.時(shí)2.隆1結(jié)構(gòu)虎型傳羨感器旦的加陵工工閥藝圖2?垂9懸臂斬梁式鍵稱重縱傳感脂器2.甩2.億1結(jié)構(gòu)域型傳忍感器渴的加正工工倚藝1．彈纏性體決的加愁工和絕處理2．應(yīng)毒變計(jì)島的粘墳貼與使固化3．組債橋、壯布線消衛(wèi)性虹能檢漢查4．傳讓感器懂的性貢能補(bǔ)階償與長(zhǎng)老化5．防碰潮密莊封工亦藝6．性瞞能檢層測(cè)和筋標(biāo)定扎工藝2.竟2.挖1結(jié)構(gòu)驗(yàn)型傳惱感器真的加肆工工辛藝圖2?糟10電阻懇應(yīng)變魂式傳鉛感器焰的防效護(hù)密臂封結(jié)呼構(gòu)示極意圖2.絕2.爬2微機(jī)基械加張工工狗藝2.重2.憶2.倦1微傳秤感器順與微關(guān)機(jī)電苗系統(tǒng)圖2?炭11嬌ME擠MS所涉爐及到快的技貓術(shù)領(lǐng)咳域2.蝦2.閘2.切1微傳贊感器遙與微航機(jī)電蜜系統(tǒng)圖2?饑12累M顏EM充S的應(yīng)鴉用2.速2.瞧2微機(jī)魂械加雄工工蔑藝2.迷2.沒(méi)2.享2ME要MS所用逮材料1．單珍晶硅短與多迅晶硅圖2?蠅13單晶兼硅的棚硅胞略及常栗用晶銹片2.醉2.追2微機(jī)擊械加叔工工油藝2．氧辯化硅碼與氮拘化硅3．金藏屬材嘆料4．光摔刻膠圖2?燒14光刻帖膠用豎于平摘面光蘭刻2.宅2.菌2微機(jī)箏械加運(yùn)工工供藝2.嬌2.剃2.揪3傳統(tǒng)默超精姓密與航特種株加工萄技術(shù)超精貪密機(jī)努械加議工微鉆供孔加藍(lán)工微銑敗削加張工微細(xì)瘡磨削仍（超裂精密樂(lè)磨削饞）微細(xì)參電火么花加局工2.咱2.靈2.懼3傳統(tǒng)氣超精或密與啟特種漂加工贈(zèng)技術(shù)圖2?渠15線電妥極電駁火花墓磨削夾法原俗理示龍意圖2?典16采用棒線電矩極電完火花煌磨削翼加工少的微不結(jié)構(gòu)2.頭2.圾2微機(jī)解械加獎(jiǎng)工工朱藝高能午束微滋機(jī)械漂加工愚技術(shù)激光忽束加深工電子圾束加導(dǎo)工電餡子束建加工圖2?華17激光國(guó)束加魔工示處意圖2?佛18熱型少電子嗚束加泰工示澆意2.管2.牙2微機(jī)宮械加遙工工塊藝離子裝束加糧工圖2?瞧19非熱氏型電胳子束慌加工借示意2.倘2.獄2微機(jī)側(cè)械加犁工工階藝2.舒2.熟2.額4微機(jī)床電系肌統(tǒng)常姐用的疾集成盒電路軋工藝薄膜藍(lán)成形氧化圖2?勸20濕氧績(jī)氧化涂法示誕意2.上2.齊2.該4微機(jī)揮電系暖統(tǒng)常匆用的依集成濕電路棵工藝金屬愿化圖2?莫21真空較蒸鍍默法示狠意圖2?鞭22濺射殖法示錢意2.多2.賭2.怠4微機(jī)過(guò)電系開(kāi)統(tǒng)常他用的纖集成啟電路廚工藝化學(xué)予氣相業(yè)淀積圖2?癥23常壓惕化學(xué)翻氣相繞工藝娛裝置思的示璃意圖2?轉(zhuǎn)24等離及子化蹦學(xué)氣相工錄藝裝薄置的利示意2.蟲(chóng)2.明2.襪4微機(jī)蘿電系餃統(tǒng)常萬(wàn)用的宰集成妨電路勞工藝外延旋涂憐法厚膜然工藝圖2?夫25厚膜稿壓力使傳感刃器工信藝流腎程示炎意圖2.雁2.折2.夢(mèng)4微機(jī)惱電系套統(tǒng)常酬用的僻集成奴電路俊工藝摻雜注技術(shù)擴(kuò)散糧雜質(zhì)離子丘注入圖2?弦26離子羊注入嗎機(jī)示太意圖2.模2.跌2.俘4微機(jī)柜電系屬統(tǒng)常業(yè)用的希集成鞋電路丸工藝光刻腳技術(shù)圖2?屯27光刻畢工藝邀流程2.找2.偽