中國科學院光電技術研究所先進光譽矸制中心高精度光學無驗測術進晨報告人:侯溪光電技術研究所先進光學研制中心2019-9-5中國科學院光電技術研究所先進光譽矸制中心1目錄心1、概述心2、國內外高精度面形檢測技術現(xiàn)狀和發(fā)長趨勢心3、高精度面形干涉檢測技術進長☆4、結語目錄2概述概述3火型望遠鏡空間望遠鏡ICEPlanetsOriginsofLife現(xiàn)代光學工程向”一火一小”兩個方向發(fā)展大中“大”:大口徑大相對口徑拼接離軸非賕面輕質量高艚度☆“小”:亞納米級高精度面形低中高頻粗糙度大型地基望遠鐃、空間望遠鏡、慣性約袁聚變裝置、深紫外和極紫外投影曝光糸統(tǒng)已經(jīng)成為現(xiàn)代光學工程的典型代表。IE.inmrmsDUV光剡機EUV光刻機火型望遠鏡4仿真檢測技制造技x系統(tǒng)集術成高端光學糸統(tǒng)研制需要高精度檢測披術,而高精度檢測技術支據(jù)光學糸統(tǒng)精確仿真、確定性制造和糸統(tǒng)集成。仿真5納來制造原子級確定性制造工的極端0.1m1mm0.1mm自上而下毛細血管101m0.110nmDNA大小分原子大小19401960198020002020納來制造6制造與檢圓密不可分☆“Ifyoucanmeasureii,youcanmakeit.KennethGoldberg,CenterforX-RayOptics,LawrenceBerkeleyNationalLaboratory,CA,USA☆沒有檢測,就沒有控制,更沒有確定性加工☆檢測到多高加工到多高☆光學制造精度受到相應檢測精度的限制制造與檢圓密不可分7高精度光學元件制造與檢測相輔相成用不同的救火倍率以覆蓋堂個中頻破段Rms表面誤差基礎如工Figure10umMSFR10nm用不問的精度提升掃描范匱Ex10LateralFrequency[um1以覆蓋整錄終成形Wavelength[um]個高頻段「鏞心、厚度、曲棗率操、表而堯痛、炊表畫破壞檢呦非球面樸儀檢測制造與檢測的集成模型及軟件高精度光學元件制造與檢測相輔相成8撳心關健技術高精度面形檢故才abm時5-10nmsIm2聰mmInm<lnm<0.1nmrms?挑戰(zhàn)極限1懶W2m4的2mTakingOpticalPrecisiontotheExtreme,MarkBigelow&NoreenHarned,2019,ASMLOPTICS撳心關健技術高精度面形檢故才9從本質上講,納米級甚至亞納米級高精度面形檢測基于超高重復性的集光機電算為一體的干涉儀,通過減小參考波前誤差,隔離、抑惻、分離或補悽校正糸統(tǒng)和隨機誤差實現(xiàn)高精度測量。·當前核心任務:提升復位精度,實現(xiàn)制造和檢測的有效閉環(huán)提升絕對檢測精度,實現(xiàn)設計與檢測的有效閉環(huán)從本質上講,納米級甚至亞納米級高精度面形檢10高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件11高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件12高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件13高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件14高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件15高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件16高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件17高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件18高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件19高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件20高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件21高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件22高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件23高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件24高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件25高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件26高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件27高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件28高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件29高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件30高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件31高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件32高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件33高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件34高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件35高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件36高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件37高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件38高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件39高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件40高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件41高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件42高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件43高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件44高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件45高精度光學元件面形干涉檢測技術進展課件46高精度光