ICS77040

CCSH.21

中華人民共和國國家標準

GB/T42789—2023

硅片表面光澤度的測試方法

Testmethodforglossofsiliconwafer

2023-08-06發(fā)布2024-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T42789—2023

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草單位浙江金瑞泓科技股份有限公司浙江海納半導體股份有限公司有色金屬技術經

:、、

濟研究院有限責任公司天津中環(huán)領先材料技術有限公司山東有研半導體材料有限公司上海合晶硅

、、、

材料股份有限公司麥斯克電子材料股份有限公司廣東金灣高景太陽能科技有限公司浙江旭盛電子

、、、

有限公司巢湖學院金瑞泓科技衢州有限公司

、、()。

本文件主要起草人梁興勃李琴張海英林松青潘金平李素青張雪囡由佰玲邊永智莊智慧

:、、、、、、、、、、

沈輝輝焦二強韓云霄徐志群付明全詹玉峰王可勝

、、、、、、。

Ⅰ

GB/T42789—2023

硅片表面光澤度的測試方法

1范圍

本文件描述了采用光反射法以或幾何條件測試硅片表面光澤度的方法

20°、60°85°。

本文件適用于硅腐蝕片拋光片外延片表面光澤度的測試不適用于表面有圖形的硅片的測試

、、,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

色漆和清漆不含金屬顏料的色漆漆膜的和鏡面光澤的測定

GB/T975420°、60°85°

半導體材料術語

GB/T14264

鏡向光澤度計和光澤度板

JJG696—2015

3術語和定義

和界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T9754GB/T14264。

31

.

光澤度gloss

對于規(guī)定的光源和接收角從物體鏡向方向反射的光通量與從折射率為的黑玻璃鏡向方向

,1.567

反射的光通量之比

。

注1為了確定鏡向光澤的標度對于和幾何角度折射率為的拋光黑玻璃規(guī)定其光澤度值

:,20°、60°85°1.567,

為

100。

注2對雙面硅拋光片背面光澤度的評價是以拋光片正面光澤度為基準計算的

:。

4方法原理

在規(guī)定入射角和規(guī)定光束的條件下入射光經過透鏡照射到樣品表面得到鏡向反射角方向的光

,,

束此時反射光強度由樣品材料表面性質決定接收器收集樣品反射光與標準表面反射光強度對比

,,,,