周報(bào)—W7Wuhu

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Department張卷—化學(xué)站一.重大事項(xiàng)概述提綱三.本周自我總結(jié)二.異常處理心得Wuhu

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Department一、重大事項(xiàng)概述Wuhu

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Department日期:2014/12/27機(jī)臺(tái)名稱：A1QXC041異常原因：片源出貨后載籃上有水珠處理時(shí)間：12:00-13:00處理內(nèi)容：

1.片源經(jīng)ipa烘干后，由手臂取出后發(fā)現(xiàn)載籃上有水珠；2.觀察發(fā)現(xiàn)只有兩批片源同時(shí)run貨時(shí)會(huì)出現(xiàn)這一狀況，因?yàn)槿『娓珊蟮钠辞笆直弁Ｖ顾凵戏?，手臂上帶有較多水漬；

3.對(duì)比其他HCL清洗機(jī)發(fā)現(xiàn)其他機(jī)臺(tái)無(wú)此現(xiàn)象，對(duì)比配方時(shí)發(fā)現(xiàn)41號(hào)機(jī)水槽配方細(xì)項(xiàng)和其他機(jī)臺(tái)不一樣，聯(lián)系工藝過(guò)來(lái)處理，將此機(jī)臺(tái)水槽配方改為與其他機(jī)臺(tái)一致，再進(jìn)行空run測(cè)試；

4.測(cè)試后查看載籃和卡塞上無(wú)水漬，多次空run都正常后交付生產(chǎn)。一、重大事項(xiàng)概述日期:2014/12/29機(jī)臺(tái)名稱：A3DLZ006異常原因：射頻功率不穩(wěn)定處理時(shí)間：9:00-10:00處理內(nèi)容：機(jī)臺(tái)作業(yè)時(shí)，電流和射頻功率不穩(wěn)定，通過(guò)視窗觀察射頻時(shí)閃爍； 檢查射頻功率源和自動(dòng)匹配器后部接線無(wú)異常，保險(xiǎn)絲均正常，重新插拔接線后無(wú)果，將射頻功率源更換之后仍出現(xiàn)相同問(wèn)題，更換自動(dòng)匹配器后，機(jī)臺(tái)射頻正常，空run測(cè)試正常，測(cè)量卡塞溫度在正常范圍內(nèi)；進(jìn)行多次run測(cè)試正常后，將機(jī)臺(tái)交予生產(chǎn)。二、異常處理心得Wuhu

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Department處理異常前，戴好防護(hù)用具，保證人身安全；通過(guò)對(duì)比相同機(jī)臺(tái)往往能更快查找出問(wèn)題所在；處理完成后，切記要進(jìn)行測(cè)試工作，確保機(jī)臺(tái)能正常運(yùn)行方可交付工藝或生產(chǎn)。三、本周自我總結(jié)Wuhu

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Department自動(dòng)清洗櫥片源烘干后仍有水漬，可能原因是HN2壓力不足，夾取載籃時(shí)手臂上殘留的水珠太多等，在確認(rèn)不是硬件問(wèn)題后，要從軟體上查找原因，有時(shí)往往是軟體問(wèn)題所導(dǎo)致的；十三所等離子去膠機(jī)目前每日都有對(duì)卡塞進(jìn)行測(cè)溫，若卡塞溫度過(guò)高，可能是勻氣盤勻氣不均，導(dǎo)致射頻時(shí)卡塞各個(gè)點(diǎn)反應(yīng)不均勻，部分點(diǎn)溫度升高；射頻不穩(wěn)定有可