PECVD工藝作業(yè)流程（以虛擬仿真為例）_第1頁
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文檔簡介

PECVD作業(yè)流程介紹學(xué)習(xí)說明1.請各位學(xué)員對照微知庫中虛擬仿真視頻來進(jìn)行PPT學(xué)習(xí)，以期達(dá)到最佳學(xué)習(xí)效果；2.觀看虛擬仿真視頻時，需要記錄下關(guān)鍵的數(shù)據(jù)和操作方法；3.虛擬仿真平臺網(wǎng)址(必須使用Firefox瀏覽器登錄)：

/cell/一、拿取硅片1.取片2.插片二、PECVD工藝運行1.轉(zhuǎn)移石墨舟至PECVD鍍膜機(jī)2.執(zhí)行PECVD工藝三、冷卻石墨舟1.轉(zhuǎn)移石墨舟至冷卻房2.等待冷卻四、橢偏儀測試1.隨機(jī)抽選測試硅片2.對樣片進(jìn)行折射率和膜厚的測試3.修改工藝參數(shù)4.再次測試，直到成功折射率膜厚五、清洗石墨舟1.PECVD電腦中查看需要更換的石墨舟2.執(zhí)行石墨舟清洗操作光伏的未來需要大家

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