電

子

廠潔

凈

室

系

統(tǒng)簡

介大綱HJTC/R介紹潔凈室系統(tǒng)型式為何需要CleanRoom潔凈室的定義潔凈等級(jí)定義制程線寬與潔凈度之關(guān)系

CleanRoom之環(huán)境因子影響C/R潔凈度的環(huán)境因子風(fēng)管系統(tǒng)FFU系統(tǒng)軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)架構(gòu)表及主要系統(tǒng)介紹Layout說明MAU與空氣循環(huán)系統(tǒng)潔凈室的定義潔凈室為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而給于特別設(shè)計(jì)之房間以符合制程工藝之需求

回主畫面潔凈等級(jí)回主畫面制程線寬與潔凈度之關(guān)系回主畫面污染物大小0.3um粒徑肉眼可視粒徑人類頭發(fā)直徑-100um回主畫面影響C/R潔凈度之環(huán)境因子溫度濕度壓力微塵粒子照度微振動(dòng)噪聲靜電化學(xué)物質(zhì)回主畫面潔凈室空調(diào)系統(tǒng)型式風(fēng)管系統(tǒng)FFU系統(tǒng)軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)以風(fēng)管輸送潔凈空氣循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣天花空間為微負(fù)壓氣室獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱天花空間為正壓氣室獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱回主畫面風(fēng)管系統(tǒng)

(循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣)潔凈度、溫度及濕度控制FFU系統(tǒng)

(獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制溫度控制軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)

(獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制溫度控制架構(gòu)表及主要系統(tǒng)設(shè)備介紹LIGHTINGSPEAKERFFUHARMONICMAU&DCBANK&HARMONICFILTERHVACMONITORFFUMONITORION.SYS.FMSARCHHVACFIREPROTECTIONELEC/CONTROLELECCHEMICALC/RHVACDIARCH

HJTFAB8NPROJECTGASP-PEPOXYCOATINGRAISEDFLOORCEILINGGRIDSYS.PARTITIONAIRSHWOR/AIRLOCKTOOLFOUNDATIONVIRBRATIONDEFENCEMAUSYS.FFUSYS2’ndCHWDRYCOILAIRWASHERSYS.FIRESPRINKLERDESMOKESYS.ADRANCEDETECTORSYS.AIRSAMPLINGSYS.CDAPCWPVHVBAIW回主畫面HJTC/R主要潔凈需求CleanlinessTemperatureHumidity10023±0.5℃45±5%RH100023±2℃

45±5%RH0.123±0.5℃45±5%RH1000023±2℃

45±10%RH回主畫面電子廠平面配置概念圖FAB2FAB1S

BO

BC

U

BWH回主畫面SUB–FAB（MASKSHOP)回主畫面RAP回主畫面FAB、SB3F、G/R回主畫面TRUSS、SB4F-TESTAREA回主畫面電子廠剖面概念圖RAISEDFLOORCOILCOILDESMOKEFANDESMOKEFANCDABAPCWPV回主畫面MAU+空氣循環(huán)系統(tǒng)外氣空調(diào)箱功能壓力之控制濕度之控制外氣微塵粒之預(yù)處理氣態(tài)分子之控制空氣循環(huán)系統(tǒng)功能潔凈度之控制