JJF2053—20231潔凈工作臺性能參數(shù)校準規(guī)范1范圍本規(guī)范適用于潔凈工作臺性能參數(shù)的校準。2引用文件本規(guī)范引用了下列文件:GB/T13554—2020高效空氣過濾器GB/T25915.1—2021潔凈室及相關受控環(huán)境第1部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級JG/T292—2010潔凈工作臺YY/T1539—2017醫(yī)用潔凈工作臺凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本規(guī)范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修訂單)適用于本規(guī)范。3術語GB/T13554—2020、GB/T25915.1—2021、JG/T292—2010和YY/T1539—2017中界定的及以下術語和定義適用于本規(guī)范。3.1潔凈工作臺cleanbench一種箱式或類似結構的局部凈化設備,可提供潔凈度優(yōu)于ISO5級(100級)的局部操作環(huán)境。注:潔凈工作臺的常見名稱有潔凈工作臺、超凈工作臺、醫(yī)用潔凈工作臺、生物潔[來源:YY/T1539—2017,3.1,有修改]3.2垂直單向流潔凈工作臺verticalunidirectionalairflowcleanbench潔凈氣流由方向單一、流線平行并且速度均勻穩(wěn)定的垂直單向流流過有效空間的潔凈工作臺。[來源:JG/T292—2010,3.1.2]3.3水平單向流潔凈工作臺horizontalunidirectionalairflowcleanbench潔凈氣流由方向單一、流線平行并且速度均勻穩(wěn)定的水平單向流流過有效空間的潔凈工作臺。[來源:JG/T292—2010,3.1.3]3.4高效空氣過濾器highefficiencyparticulateair(HEPA)filter用于空氣過濾且使用GB/T6165規(guī)定的計數(shù)法進行試驗,最大額定風量下未經(jīng)消靜電處理時的過濾效率及經(jīng)消靜電處理后的過濾效率均不低于99.95%的過濾器。注:本規(guī)范中簡稱高效過濾器。JJF2053—20232[來源:GB/T13554—2020,3.1.1]3.5超高效空氣過濾器ultra-low-penetratingair(ULPA)filter用于空氣過濾且使用GB/T6165規(guī)定的計數(shù)法進行試驗,最大額定風量下未經(jīng)消靜電處理時的過濾效率及經(jīng)消靜電處理后的過濾效率均不低于99.999%的過濾器。注:本規(guī)范中簡稱超高效過濾器。[來源:GB/T13554—2020,3.1.2]4概述潔凈工作臺(以下簡稱工作臺)是一種箱式局部空氣凈化設備,由箱體、風機、預過濾器、高效(或超高效)過濾器、照明及電器控制系統(tǒng)組成,在正常工作狀態(tài)下能防止來自工作區(qū)外部的空氣傳播污染物通過操作口進入工作區(qū)。工作臺按照不同的氣流流型分為垂直單向流、水平單向流和非單向流工作臺,按照操作方式的不同分為單面操作型、雙面操作型工作臺。5計量特性工作臺性能參數(shù)的各項計量特性指標見表1。表1工作臺性能參數(shù)的主要計量特性指標計量特性計量特性指標風速平均風速工作臺操作區(qū)平均風速應在(0.2~0.5)m/s不均勻度≤20%高效/超高效過濾器檢漏光度法:過濾器下游透過率應不超過0.05%計數(shù)法:過濾器下游漏點值應不超過0.05%透過率對應的漏點值潔凈度應達到ISO5級照度平均背景照度不大于160lx時,操作區(qū)臺面的平均照度應不低于300lx噪聲實際噪聲應不大于65dB(A計權)振動工作區(qū)垂直表面中心頻率從10Hz和10kHz之間的凈振動應不超過5μm均方值(RMS)幅值注:1風速適用于垂直和水平單向流工作臺。2如果工作臺使用的高效/超高效過濾器標示效率級別高于99.95%,以工作臺標示的透過率為準。3以上技術指標不用于合格判別,僅供參考。6校準條件6.1環(huán)境條件JJF2053—202336.1.1環(huán)境溫度:(15~30)℃。6.1.2相對濕度:≤85%。注:上述條件與制造商的產(chǎn)品規(guī)定不一致時,以產(chǎn)品規(guī)定為準。6.2測量標準及其他設備6.2.1熱式風速儀測量范圍(0~1)m/s時,最大允許誤差為±0.015m/s或示值的±3%(取較大值)。6.2.2塵埃粒子計數(shù)器測量范圍至少為(0.3~10)μm,計數(shù)最大允許誤差為±30%FS。6.2.3照度計測量范圍至少為(0~2000)lx,最大允許誤差為±10%。6.2.4聲級計測量范圍至少為(40~100)dB,最大允許誤差為±1dB,分辨力不低于1dB,有“A”計權模式。6.2.5高效過濾器檢漏儀6.2.5.1光度法由氣溶膠發(fā)生器和光度計組成。氣溶膠發(fā)生器,壓力調至最小140kPa,使用聚α-烯烴(PAO)、鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)或與之相當?shù)囊后w發(fā)生氣溶膠;發(fā)生器噴嘴浸入液體的深度應不超過25mm;氣溶膠發(fā)生器的壓力計量程為(0~550)kPa,分辨力為7kPa,最大允許誤差為±7kPa。光度計為線性或對數(shù)刻度,可以將過濾器上游氣流中濃度不低于10μg/LDOP(或相當液體)多分散氣溶膠微粒標示為100%,能檢測0.001%同一氣溶膠微粒。6.2.5.2計數(shù)法由氣溶膠發(fā)生器、顆粒稀釋器及計數(shù)檢漏儀(配有手持式掃描采樣探頭)3部分組成。氣溶膠發(fā)生器產(chǎn)生冷態(tài)、多分散的氣溶膠,如癸二酸二辛脂(DEHS),氣溶膠粒徑在(0.3~0.5)μm范圍內的集中度≥70%,氣溶膠噴霧濃度為2×109P/L。顆粒稀釋器稀釋倍率≥70。計數(shù)檢漏儀采樣量28.3L/min,檢漏粒徑通道包括0.3μm、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm,檢漏粒徑≥0.3μm,掃描速度在(3~5)cm/s,探頭與過濾器出風面間距(2~3)cm。6.2.6振動測試儀最小可靠讀數(shù)為2.5μm均方根(RMS)幅值,或者具有檢測此幅值差異的能力,幅值線性度最大允許誤差為±5%FS。6.2.7煙霧發(fā)生裝置包括煙霧發(fā)生器及煙霧劑,提供可視煙霧(包括水霧和油霧)。6.2.8?90培養(yǎng)皿含營養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基、胰蛋白胨大豆瓊脂培養(yǎng)基(TSA)或其他適合普通微生物生長的無抑制劑和添加劑的培養(yǎng)基。6.2.9菌落總數(shù)標準物質應采用有證標準物質,擴展不確定度應不大于20%(k=2)。JJF2053—202347校準項目和校準方法7.1外觀檢查以目力、手感檢測,工作臺應正確安裝,工作環(huán)境符合檢測條件,結構完整,外形平整規(guī)矩,照明系統(tǒng)、風機運轉正常,無影響正常工作的缺陷和機械損傷。產(chǎn)品銘牌需清晰、完整、牢固,正確標示產(chǎn)品型號、出廠編號、生產(chǎn)廠家及標稱氣流流速等。焊接牢固,表面光潔,不應有燒穿、漏孔、裂縫、焊疤殘留物或殘渣等。7.2氣流模式7.2.1垂直單向流工作臺采用可視煙霧檢測。將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值,并將玻璃窗開啟到廠商規(guī)定的最高值或額定值狀態(tài)運行,煙霧在位于工作臺高度300mm,分別于:a)距離前窗內側150mm;b)工作區(qū)域1/2深度;c)距離后側壁板150mm處。從一側壁移動到另一側壁,觀察(目視或拍照錄像)記錄煙霧流動,重復測量3次,工作區(qū)域內氣流應向下,應不產(chǎn)生旋渦和向上氣流,且無死點。7.2.2水平單向流工作臺采用可視煙霧檢測。將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值狀態(tài)運行。a)在散流裝置前方150mm,距離頂端150mm的位置;b)在散流裝置前方300mm,工作臺面高度中心點;c)在操作口內側150mm,工作臺面上方150mm的位置。從一側壁移動到另一側壁,觀察(目視或拍照錄像)記錄煙霧流動,重復測量3次,工作區(qū)域內氣流應向外,應不產(chǎn)生旋渦和回流,且無死點。7.3風速7.3.1垂直氣流平均風速將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值,按下列方式在位于散流裝置下側100mm且測試區(qū)域邊界與工作臺的內壁及操作口距離應為100mm的水平面上確定測量點位置,多點測量穿過該平面的垂直氣流流速。a)測量點最少應有3排,測量點等距分布,形成的正方形格柵應滿足(100~200)mm×(100~200)mm;對于標稱寬度不小于0.9m的工作臺,每排最少應有7個測量點,每個測量點重復測量3次;對于標稱寬度小于0.9m的工作臺,每排最少應有4個測量點,每個測量點重復測量3次;如果測試區(qū)域邊界距工作臺的內壁及前窗操作口100mm,上述正方形格柵間距不滿足不小于100mm的間隔要求,每排最少應有4個等距離測量點,每個測量點重復測量3次;當工作臺前窗具有不止一個標稱高度時,可能存在的不同垂直氣流網(wǎng)格應滿足上述要求。b)將風速儀探頭定位在各測量點進行測量,記錄所有測量點的測量值并按公式JJF2053—20235(1)計算測量平均值。V=Vij(1) V— V—風速的算術平均值,m/s;Vij—每個測量點單次測量的風速值,m/s;n—測量點的數(shù)量;i—風速測量點;j—測量次數(shù)。c)將工作臺氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值,重復上述a)和b)試驗步驟。7.3.2水平氣流平均風速將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值,按下列方式在位于散流裝置前側100mm且測試區(qū)域邊界與工作臺的內壁及操作口距離應為100mm的垂直面上確定測量點位置,多點測量穿過該平面的水平氣流流速。a)測量點最少應有3排,測量點等距分布,形成的正方形格柵應滿足(100~200)mm×(100~200)mm;對于標稱寬度不小于0.9m的工作臺,每排最少應有7個測量點,每個測量點重復測量3次;對于標稱寬度小于0.9m的工作臺,每排最少應有4個測量點,每個測量點重復測量3次;如果測試區(qū)域邊界距工作臺的內壁及前窗操作口100mm,上述正方形格柵間距不滿足不小于100mm的間隔要求,每排最少應有4個等距離測量點,每個測量點重復測量3次。b)將風速儀探頭定位在各測量點進行測量,記錄所有測量點的測量值并按公式(1)計算測量平均值。c)將工作臺氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值,重復上述a)和b)試驗步驟。7.3.3風速不均勻度垂直氣流和水平氣流對應的風速不均勻度按公式(2)計算。βV=·(nV-i-1V)2×100%(2)式中:βV—風速不均勻度;V—風速的算術平均值,m/s;Vi—測量點i的風速值,m/s;n—測量點的數(shù)量。7.4高效/超高效過濾器檢漏運行工作臺,將工作臺氣流流速調節(jié)至生產(chǎn)廠商規(guī)定最高值或額定值,卸除過濾器的散流裝置或保護蓋(如果有)。JJF2053—202367.4.1光度法調整上游氣溶膠濃度至(10~20)μg/L,對含有氣溶膠的高效過濾器上游氣流進行測試,上游濃度穩(wěn)定后使用氣溶膠光度計測量上游濃度并記錄,并將其設定為光度計上游濃度100%,將光度計切換至下游采樣,使用掃描探頭在距受試過濾器(1~5)cm處進行掃描檢漏。掃描過程中,正方形掃描探頭的掃描速度應不大于5cm/s,矩形掃描探頭的面積掃描速度應不大于15.5cm/s。掃描路線應略微重疊,掃描范圍應包含整個過濾器外圍,沿組合過濾片和框架的連接處以及圍繞過濾器和其他部件之間的密封處仔細掃描檢漏,記錄最大透過率作為校準結果。7.4.2計數(shù)法使用計數(shù)檢漏儀測量過濾器上游含塵濃度并記錄,上游濃度應不小于40000L-1,環(huán)境含塵濃度達不到時,應使用氣溶膠發(fā)生器產(chǎn)生所需的氣溶膠濃度或根據(jù)需要選擇使用稀釋器,計數(shù)檢漏儀采樣探頭開口面積應為8cm2~10cm2,形狀宜為正方形。當采用矩形探頭時,邊長之比應不超過15∶1,探頭開口方向應平行于氣流方向,探頭距離過濾器出風表面距離應為(1~5)cm,掃描探頭應以垂直于氣流的方向勻速運動,探頭移動速度應不超過8cm/s,記錄下游測得的最大漏點值作為校準結果。若上游試驗氣溶膠濃度足夠大,使得判定“疑似漏點”的期望讀數(shù)(NP)不小于20時,掃描過程中任何導致計數(shù)檢漏儀產(chǎn)生不小于NP的區(qū)域將被判定為漏點。當NP小于20時,掃描過程中任何導致計數(shù)檢漏儀產(chǎn)生不小于NP的區(qū)域將被標記為“疑似漏點”,應將掃描探頭固定放置于疑似漏點處一定時間(如不少于20s)進行定點檢漏試驗。定點檢漏過程漏點判定的計數(shù)檢漏儀期望讀數(shù)、定點試驗時間以及實際觀測上限值應分別按公式(3)和公式(4)確定。Ne=Cu×PL×QS×TS(3)式中:Nd=Ne-2Ne(4)Ne—漏點判定的計數(shù)檢漏儀期望讀數(shù),無量綱;Nd—計數(shù)檢漏儀實際觀測上限讀數(shù),無量綱;Cu—上游氣溶膠濃度,L-1;PL—局部透過率允許限值,0.05%;QS—計數(shù)檢漏儀標準采樣流量,0.472L/s(28.3L/min);TS—定點檢漏的時間,s。7.5潔凈度將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值,并將玻璃窗(如果有)開啟到廠商規(guī)定的最高值或額定值(無玻璃窗操作口的潔凈臺可直接檢測),潔凈度的采樣邊界距離內表面及操作口100mm,塵埃粒子計數(shù)器的采樣口置于工作臺面向上200mm高度位置,采樣口正對氣流方向,除了在測試區(qū)域4個角布置采樣點外,還需在測試區(qū)域中心布點,采樣點數(shù)不少于5個,每個采樣點重復采樣3次,每次采樣量應不小于5.66L。根據(jù)公式(5)計量每個采樣點粒子濃度平均值作為潔凈度校準結果,粒子濃度的ISO空氣清潔度等級見表2所示。JJF2053—20237 Mi=式中:Mij=1(5)Mi—采樣點i處的平均粒子濃度,m-3;Mi—每個采樣點單次采樣的粒子濃度,m-3。表2粒子濃度的ISO空氣清潔度等級ISO等級N大于或等于關注粒徑的粒子最大濃度限值/m-30.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μm110—————21002410———3100023710235——4100002370102035283—51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937———3520008320029308———3520000832000293009———35200000832000029300010200m-3包括大于或等于該粒徑的所有粒子。7.6照度在工作臺面上,沿臺面兩內側壁中心連線設置照度測量點,測量點之間的距離不超過300mm,與側壁最小距離為150mm,關掉工作臺的照明燈,使用照度計從一側起依次在測量點測量背景照度,每個測量點重復測量3次;打開工作臺的照明燈,啟動風機,依次在測量點測量照度,每個測量點重復測量3次。開燈時的平均照度或平均背景照度根據(jù)公式(6)進行計算。E=Eij(6) E— E—開燈時的平均照度(或平均背景照度),lx;Eij—開燈(關燈)時每個測量點單次測量的照度(背景照度),lx;n—測量點數(shù)。7.7噪聲“A”計權模式;打開工作臺照明燈及風機,在正常工作狀態(tài)下,在工作臺前面中心水平向外300mm,且距工作臺面380mm高度處測量噪聲,重復測量3次。關閉工作臺照明燈及風機,在相同位置測量背景噪聲,重復測量3次。當背景噪聲平均值不大于55dB時,根據(jù)公式(8)進行計算實際噪聲。當背景噪聲平均值大于55dB時,實測JJF2053—20238值參照儀器操作手冊提供的曲線或表進行修正,如不滿足,應用標準校正曲線或表3進行修正,通過公式(9)進行計算。N'=N'i(7)N=Ni(8)N'=Ni-ΔN(9) N'— N'—背景噪聲平均值,dB;N—背景噪聲單次測量值,dB;N—實際噪聲,dB;N'—修正后的實際噪聲,dB;Ni—總噪聲單次測量值,dB;ΔN—從測量總噪聲中減去的值(計算方法詳見表3),dB。表3噪聲測量值修正表測量總噪聲與背景噪聲的差值/dB從測量總噪聲中減去的值/dB0~2降低背景噪聲,重新測試334~526~101>1007.8振動將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值狀態(tài)運行。使用夾鉗、螺釘或雙面膠帶將測振儀的傳感元件固定到工作臺面的幾何中心,測定工作臺正常工作時的總振動振幅,重復測量3次,關閉工作臺風機,測定背景振幅,重復測量3次,根據(jù)公式(10)計算工作臺的凈振動振幅。1n1n式中:ΔA—凈振動振幅,μm;iA-1ii=1nA'ii=1(10)Ai—風機開啟時的總振動振幅單次測量值,μm;A—風機關閉時的背景振幅單次測量值,μm;n—測量次數(shù)。7.9產(chǎn)品保護(沉降菌法)沉降菌濃度檢測應在7.2~7.5項目符合要求后并僅對有此需求的工作臺進行檢測,校準方法如下。JJF2053—20239a)將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值,并將玻璃窗(如果有)開啟到廠商規(guī)定的最高值或額定值,雙面操作的潔凈臺應將兩側玻璃都開啟到廠商規(guī)定的最高值或額定值,無玻璃窗操作口的潔凈臺可直接檢測;b)自凈30min或廠商要求的自凈時間后,在距離工作臺內壁及操作口100mm范圍內的測量區(qū)域,取測量區(qū)域4個角及測量區(qū)域中心為布置點,測量點不少于14個,以無菌操作方式將TSA培養(yǎng)皿敞開暴露30min后蓋上培養(yǎng)皿蓋;c)設置一組陽性及一組陰性對照培養(yǎng)皿,高等級潔凈實驗室陽性對照培養(yǎng)皿應使用TSA對菌落總數(shù)標準物質的量值進行測定,測定方法見標準物質證書;d)將培養(yǎng)皿在(30~35)℃的培養(yǎng)箱中培養(yǎng),時間不少于48h;e)計數(shù)所有培養(yǎng)皿中的菌落總數(shù),計算算術平均值,應符合表1要求;f)將工作臺的氣流流速設置為廠商規(guī)定的最高值,重復上述試驗步驟;g)工作臺正常運行30min后的校準結果,應滿足培養(yǎng)皿上的平均菌落數(shù)不超過0.5CFU/30min。8校準結果表達經(jīng)校準的工作臺,出具校準報告,校準記錄格式見附錄A,校準報告內容見附錄B,測量不確定度按JJF1059.1-2012的要求評定,測量不確定度評定示例見附錄C。9復測時間間隔由于復測時間間隔的長短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質量等諸因素所1年。JJF2053—202310附錄A校準原始記錄格式(推薦性表格)客戶名稱:儀器名稱:型號規(guī)格:出廠編號:制造廠家:記錄編號:環(huán)境溫度:℃相對濕度:%校準地點:校準日期:1.外觀檢查□符合要求□不符合要求2.風速(□垂直氣流平均風速□水平氣流平均風速)把風速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值把風速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值測量點測量結果/(m/s)平均值m/s測量點測量結果/(m/s)平均值m/s123123112233445566778899101011111212131314141515161617171818JJF2053—202311(續(xù))把風速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值把風速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值測量點測量結果/(m/s)平均值m/s測量點測量結果/(m/s)平均值m/s123123191920202121222223232424…………平均風速/(m/s)平均風速/(m/s)風速不均勻度風速不均勻度3.高效/超高效過濾器檢漏(以下兩種方法二選一)光度法測量結果/%上游濃度/(μg/L)透過率計數(shù)法測量結果使用的稀釋器稀釋比上游濃度稀釋后檢測值稀釋前濃度漏點值4.潔凈度測量點粒徑≥0.5μm時粒子濃度采樣結果/m-3平均值/m-312312345JJF2053—2023125.照度測量點123456……平均值lx背景照度測量值lx開燈時照度測量值lx6.噪聲實際噪聲/dB背景噪聲/dB總噪聲/dB7.振動凈振動振幅/μm總振動振幅/μm背景振幅/μm8.氣流模式把風速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值□垂直氣流試驗:氣流應向下,應不產(chǎn)生旋渦和向上氣流,且無死點□水平氣流試驗:氣流應向外,應不產(chǎn)生旋渦和回流,且無死點觀察結果□符合要求□不符合要求9.產(chǎn)品保護(沉降菌法)把風速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值把風速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最高值測量點測量結果CFU/30min平均值CFU/30min測量點測量結果CFU/30min平均值CFU/30min1122334455校準員:核驗員:JJF2053—202313附錄B校準證書(內頁)格式(推薦性表格)序號校準項目校準結果1外觀檢查□符合要求□不符合要求2風速(□垂直氣流平均風速□水平氣流平均風速)平均風速風速不均勻度風速校準結果擴展不確定度(k=2)3高效/超高效過濾器檢漏光度法:透過率/%計數(shù)法:粒子數(shù)4潔凈度最大平均粒子濃度m-3潔凈度校準結果擴展不確定度(k=2)5照度開燈時的平均照度/lx平均背景照度/lx照度校準結果擴展不確定度(k=2)6噪聲實際噪聲/dB噪聲校準結果擴展不確定度(k=2)7振動凈振動振幅/μm振動幅值校準結果擴展不確定度(k=2)8氣流模式□垂直氣流試驗:氣流應向下,應不產(chǎn)生旋渦和向上氣流,且無死點□符合要求□不符合要求□水平氣流試驗:氣流應向外,應不產(chǎn)生旋渦和回流,且無死點□符合要求□不符合要求9產(chǎn)品保護(沉降菌法)校準員:核驗員:JJF2053—202314附錄C測量不確定度評定示例工作臺測量過程中涉及的參數(shù)主要有風速、潔凈度、照度、噪聲和振動,這5個參數(shù)都是使用標準器進行直接測量,且測量結果受溫度、濕度、氣壓等環(huán)境因素的影響可以忽略。因此,主要分析測量過程中對測量結果影響較大的不確定度分量來源,對其進行不確定度評定。C.1風速測量結果不確定度評定以低擋位的垂直氣流平均風速校準為例進行以下評定示例。C.1.1測量方法將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值,按下列方式在位于散流裝置下側100mm且測試區(qū)域邊界與潔凈臺的內壁及操作口距離應為100mm的水平面上確定測量點位置,多點測量穿過該平面的水平氣流流速。a)測量點最少應有3排,測量點等距分布,形成的正方形柵格應滿足(100~200)mm×(100~200)mm;對于標稱寬度不小于0.9的工作臺,每排最少應有7個測量點,每個測量點重復測量3次;對于標稱寬度小于0.9的工作臺,每排最少應有4個測量點,每個測量點重復測量3次;如果測試區(qū)域邊界距工作臺的內壁及前窗操作口100mm,上述正方形格柵間距不滿足不小于100mm的間隔要求,每排最少應有4個等距離測量點,每個測量點重復測量3次;當工作臺前窗具有不止一個標稱高度時,可能存在的不同垂直氣流網(wǎng)格應滿足上述要求。b)將風速儀探頭定位在各測量點進行測量,記錄所有測量點的測量值并按公式(C.1)計算測量平均值。C.1.2測量模型V=Vij(C.1) V— V—風速的算術平均值,m/s;Vij—每個測量點單次測量的的風速值,m/s;n—測量點的數(shù)量;i—風速測量點;j—測量次數(shù)。C.1.3不確定度來源根據(jù)上述測量模型以及測量方法,其不確定度來源主要包括以下3個方面:a)測量重復性引入的標準不確定度u1;b)熱式風速儀分辨力引入的標準不確定度u2;c)標準器具引入的標準不確定度u3。C.1.4測量不確定度評定JJF2053—202315C.1.4.1重復性引入的不確定度分量u1使用熱式風速儀在工作臺的21個測量點進行測量,每個測量點連續(xù)測量10次,對重復測量結果進行分析,測量結果見表C.1。表C.1垂直氣流流速測定結果測量點測量結果/(m/s)1234567891010.260.250.240.260.250.260.250.240.260.2520.230.240.220.240.220.230.240.220.240.2230.240.230.250.230.240.240.230.250.230.2440.230.240.220.240.220.230.240.220.240.2250.240.230.250.230.240.240.230.250.230.2460.240.250.240.260.240.240.250.240.260.2470.230.240.220.240.220.230.240.220.240.2280.250.240.260.240.250.250.240.250.260.2590.270.260.260.280.270.270.260.260.280.27100.230.240.220.240.220.230.240.220.240.22110.260.250.250.260.240.260.250.250.260.24120.280.270.280.270.260.280.270.280.270.26130.250.240.250.240.230.250.240.250.240.23140.240.250.240.250.260.240.250.240.250.26150.250.240.250.240.230.250.240.250.240.23160.230.220.240.220.230.230.220.240.220.23170.240.250.240.250.230.240.250.240.250.23180.220.230.240.230.220.220.230.240.230.22190.260.250.250.240.260.260.250.250.240.26200.230.220.230.220.240.230.220.230.220.24210.220.230.240.230.220.220.230.240.230.22合并樣本標準偏差sp按公式(C.2)計算: (Vkj-Vj)(Vkj-Vj)2(C.2)式中:m—測量點的數(shù)量;JJF2053—202316n—每個測量點包含的測量次數(shù);Vkj—第j個測量點第k次的測量值,m/s;Vj—第j個測量點測量值的算術平均值,m/s。通過公式(C.2)計算出合并樣本標準偏差如下:sp=0.008m/s0.008由于每個測量點實際測3次(n=3),因此重復測量引入的不確定度分量sp=0.008m/s0.008u1==3mu1==3C.1.4.2熱式風速儀分辨力引入的不確定度u2熱式風速儀的分辨力為0.01m/s,分散區(qū)間半寬為0.005m/s,按均勻分布計算,則u2=0.0053m/s=0.0029m/sC.1.4.3標準器具引入的不確定度u3熱式風速儀的最大允許誤差為±0.015m/s,按均勻分布計算,則u3=C.1.5標準不確定度一覽表0.0153m/s=0.009m/s標準不確定度一覽表見表C.2。表C.2垂直氣流流速測定結果標準不確定度一覽表不確定度來源ui標準不確定度/(m/s)測量重復性u10.005分辨力u20.0029標準器具u30.009C.1.6合成標準不確定度uc由于各不確定度間不相關,則uc==uc==0.0107m/s取k=2,則C.2潔凈度測量結果不確定度評=取k=2,則C.2.1測量方法將工作臺的氣流流速設置為生產(chǎn)廠商規(guī)定的最低值,并將玻璃窗(如果有)開啟到廠商規(guī)定的最高值或額定值(無玻璃窗操作口的潔凈臺可直接檢測),潔凈度的采樣邊界距離內表面及操作口100mm,塵埃粒子計數(shù)器的采樣口置于工作臺面向上200mm高度位置,采樣口正對氣流方向,除了在測試區(qū)域4個角布置采樣點外,還需在測試區(qū)JJF2053—202317s=域中心布點,采樣點數(shù)不少于5個,每個采樣點重復采樣3次,每次采樣量應不小于5.66L。計算每個采樣點粒子濃度平均值作為潔凈度校準結果。s=C.2.2測量模型Mi=Mi(C.3) Mi— Mi—采樣點i處的平均粒子濃度,m-3;Mi—每個采樣點單次采樣的粒子濃度,m-3。C.2.3不確定度來源根據(jù)公式(C.3)的測量模型以及測量方法,其不確定度來源主要包括以下3個方面:a)測量重復性引入的標準不確定度u1;b)塵埃粒子計數(shù)器分辨力引入的標準不確定度u2;c)標準器具引入的標準不確定度u3。C.2.4測量不確定度評定C.2.4.1測量重復性引入的不確定度分量u1使用塵埃粒子計數(shù)器在工作臺的1個采樣點對粒徑≥0.5μm的顆粒進行測量,連續(xù)采樣10次,對重復采樣結果進行分析,采樣結果見表C.3。表C.3潔凈度測定結果測量點粒徑≥0.5μm時粒子濃度采樣結果/m-3123456789101141310691071197實驗標準偏差s按公式(C.4)計算:1Mi式中:n—測量次數(shù);(Mi-Mi)2i=1n-1(C.4)Mi—第i次的測量值,m-3;Mi—測量的算術平均值,m-3。通過公式(C.4)計算出實驗標準偏差如下:s=27.0%由于每個采樣點實際測3次(n=3),因此重復采樣引入的不確定度分量u1為s=27.0%=16.0%u1=16.0%C.2.4.2塵埃粒子計數(shù)器分辨力引入的不確定度u2JJF2053—202318塵埃粒子計數(shù)器的分辨力為1m-3,分散區(qū)間半寬為0.5m-3,全部采樣結果的平均值為9.6m-3,按均勻分布計算,則u2×100%=3.0%C.2.4.3標準器具引入的不確定度u3塵埃粒子計數(shù)器的最大允許誤差為±20%,按均勻分布計算,則20%3u3=20%3C.2.5標準不確定度一覽表=11.5%標準不確定度一覽表見表C.4。表C.4潔凈度測量結果標準不確定度一覽表不確定度來源ui標準不確定度/%測量重復性u116.0分辨力u23.0標準器具u311.5C.2.6合成標準不確定度ucr由于各不確定度間不相關,則ucr==19ucr==19.93%取k=2,則C.3照度測量結果不確定度評定Ur取k=2,則C.3.1測量方法在工作臺面上,沿臺面兩內側壁中心連線設置照度測量點,測量點之間的距離不超過300mm,與側壁最小距離為150mm,關掉工作臺的照明燈,使用照度計從一側起依次在測量點測量背景照度,每個測量點重復測量3次;打開工作臺的照明燈,啟動風機,依次在測量點測量照度,每個測量點重復測量3次。開燈時的平均照度或平均背景照度根據(jù)公式(C.5)進行計算。C.3.2測量模型E=Eij(C.5) E— E—開燈時的平均照度(或平均背景照度),lx;Eij—開燈(關燈)時每個測量點單次測量的照度(背景照度),lx;n—測量點數(shù)。C.3.3不確定度來源JJF2053—202319根據(jù)上述測量模型以及測量方法,其不確定度來源主要包括以下3個方面:a)測量重復性引入的標準不確定度u1;b)照度計分辨力引入的標準不確定度u2;c)標準器具引入的標準不確定度u3。C.3.4測量不確定度評定C.3.4.1測量重復性引入的不確定度分量u1工作臺開燈時使用照度計在5個測量點進行測量,每個測量點連續(xù)測量10次,對重復測量結果進行分析,測量結果見表C.5。表C.5照度測量結果測量點不同測量點開燈時的照度測量結果/lx1234567891015555385585605495545425635485522566558557559565564563560561562356857257356556757457157056657045495375445435405395475425465455530519518527526524523522522520合并樣本標準偏差sp按公式(C.6)計算: (Ekj-Ej)(Ekj-Ej)2(C.6)式中:m—測量點的數(shù)量;n—每個測量點包含的測量次數(shù);Ekj—第j個測量點第k次的測量值,lx;Ej—第j個測量點測量值的算術平均值,lx。通過公式(C.6)計算出合并樣本標準偏差如下:sp=4.65lx4.65由于每個測量點實際測3次(n=3),因此重復測量引入的不確定度分量u1sp=4.65lx4.65u1==u1==3C.3.4.2照度計分辨力引入的不確定度u2照度計的分辨力為1lx,分散區(qū)間半寬為0.5lx,按均勻分布計算,則0.53u2=0.53lx=0.29lxC.3.4.3標準器具引入的不確定度u3照度計的最大允許誤差為±10%,全部測量結果的平均值為549.9lx,按均勻分布JJF2053—202320計算,則u3=549.9×100%3lx=31.7lxC.3.5標準不確定度一覽表標準不確定度一覽表見表C.6。表C.6照度測量結果標準不確定度一覽表不確定度來源ui標準不確定度/lx測量重復性u12.69分辨力u20.29標準器具u331.7C.3.6合成標準不確定度uc由于各不確定度間不相關,則uc==uc==31.8lx取k=2,則C.4噪聲測量結果不確定度評定U=ku取k=2,則C.4.1測量方法“A”計權模式;打開工作臺照明燈及風機,在正常工作狀態(tài)下,在工作臺前面中心水平向外300mm,且距工作臺面380mm高度處測量噪聲,重復測量3次。關閉工作臺照明燈及風機,在相同位置測量背景噪聲,重復測量3次。當背景噪聲平均值不大于55dB時,根據(jù)公式(C.8)計算實際噪聲。當背景噪聲平均值大于55dB時,實測值參照儀器操作手冊提供的曲線或表進行修正。如不滿足,應用標準校正曲線或表C.7進行修正,通過公式(C.9)進行計算。C.4.2測量模型N'iN'N'iN=NiN=Ni-ΔNN=式中:N'—背景噪聲平均值,dB;N—背景噪聲單次測量值,dB;N—實際噪聲,dB;(C.7)(C.8)(C.9)JJF2053—202321Ni—總噪聲單次測量值,dB;ΔN—從測量總噪聲中減去的值(計算方法詳見表C.7),dB。表C.7噪聲測量值修正表測量總噪聲與背景噪聲的差值/dB從測量總噪聲中減去的值/dB0~2降低背景噪聲,重新測試334~526~101>100C.4.3不確定度來源根據(jù)上述測量模型以及測量方法,其不確定度來源主要包括以下3個方面:a)測量重復性引入的標準不確定度u1;b)聲級計分辨力引入的標準不確定度u2;c)標準器具引入的標準不確定度u3。C.4.4測量不確定度評定C.4.4.1測量重復性引入的不確定度分量u1使用聲級計在工作臺前面中心水平向外300mm,且距工作臺面380mm高度處測量噪聲,連續(xù)測量10次,對重復測量結果進行分析(背景噪聲小于55dB,實際噪聲忽略背景噪聲的影響),測量結果見表C.8。表C.8噪聲測定結果次數(shù)123