采購需求填寫說明1.采購需求應(yīng)在充分調(diào)研的基礎(chǔ)上形成，編寫要求科學(xué)合理，需求參數(shù)僅需寫出工作中實際需求的功能性的指標。2.一般參數(shù)需要給出范圍，或者是優(yōu)于該范圍。3.投標人資格要求須遵照我國法定機構(gòu)制定的強制性規(guī)定，非法定資質(zhì)不能作為投標人資格要求，不能要求有ISO9001類對企業(yè)規(guī)模要求的資質(zhì)。4.一般不能有“行業(yè)頂級”“國際知名品牌”等類似表述。5.正確編寫所有公示、化學(xué)符號，英文縮寫需要給出中文解釋。采購需求一、該項目最高限價為人民幣（180）萬元。二、采購需求應(yīng)當(dāng)完整、明確，并包括以下內(nèi)容：（一）項目概述采購高功率脈沖等離子體輔助磁約束氣相沉積系統(tǒng)一套（二）采購標的的數(shù)量、采購項目交付或者實施的時間和地點：1.采購標的的數(shù)量：1臺2.交付時間：合同簽訂后5個月3.交付地點：西安交通大學(xué)指定地點；（三）技術(shù)需求（采購標的需滿足的質(zhì)量、安全、技術(shù)規(guī)格、物理特性等要求）：1.功能性需求：精細過濾、納米超硬、多功能成膜2.技術(shù)性需求：產(chǎn)品清單及指標要求：名稱技術(shù)指標真空系統(tǒng)真空室有效凈尺寸不低于600×600（直徑×高，單位mm），配備可控轉(zhuǎn)動機構(gòu)、水冷機構(gòu)、循環(huán)水機及空壓機。循環(huán)水機流量4立方/小時，溫度20±5℃，壓力2.5kg/cm2工裝架配備可用于實驗和中試的涂層公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架各1套，共2套；配套轉(zhuǎn)架推車1套；兩工位轉(zhuǎn)架存放臺1套真空泵配備獨立可控的分子泵1臺抽速1900升/秒機械泵:2臺，包括：1臺抽速200立方米/小時1臺抽速60立方米/小時羅茨泵1臺抽速150升/秒2.離子源及電源陰極弧離子源2套配備具有永、電調(diào)節(jié)磁場且直徑不小于100mm的陰極弧離子源及其配套直流電源，最大弧電流200A。磁約束離子源具有磁過濾功能的彎管弧離子源一套參數(shù)：XY方向正交掃描磁場1套配備波形發(fā)生器1臺三組磁約束線圈電流0-5A，電壓0~5V，連續(xù)可調(diào)電流0~10A，電壓0~15V，連續(xù)可調(diào)電流0~10A，電壓0~20V，連續(xù)可調(diào)一組磁聚焦線圈1）電流0~5A，電壓0~5V，連續(xù)可調(diào)磁控濺射離子源磁控濺射離子源2套尺寸不低于：400×100（長×寬,單位mm），配備獨立直流電源控制參數(shù)：空載電壓：DC800V工藝電壓：DC200~800V電流：DC0~15A工作模式：電流連續(xù)可調(diào)遠控方式：模擬量可遠傳冷卻模式：風(fēng)冷/水冷刻蝕離子源刻蝕離子源一套，尺寸不低于：400×100（長×寬，單位mm），可實現(xiàn)工件的惰性氣體離子刻蝕參數(shù)：空載電壓：脈沖DC2500V工藝電壓：脈沖DC100~2000V脈沖頻率：≥40KHZ占空比：30％~90％連續(xù)可調(diào)電流：脈沖DC0~5.0A工作模式：電壓連續(xù)可調(diào)遠控方式：模擬量遠傳冷卻模式：風(fēng)冷/水冷高頻脈沖偏壓電源電壓0~800V連續(xù)可調(diào)，功率不低于5kW,脈沖頻率不低于100kHz，可實現(xiàn)在線數(shù)據(jù)采集供氣及加熱系統(tǒng)供氣系統(tǒng)配備質(zhì)量流量計獨立控制的氣路四套，精度±5%加熱系統(tǒng)具備獨立加熱系統(tǒng)，升溫速度大于5℃/min控制系統(tǒng)軟硬件配備工業(yè)控制計算機1套，其中，CPU：2.7GHz，內(nèi)存：4GB，19寸液晶顯示器；可實現(xiàn)所有操作的軟件控制及數(shù)據(jù)采集存儲運行技術(shù)指標極限真空優(yōu)于3×10-6mbar，漏率0.5Pa<1小時加熱溫度20~400℃3.其他需求：（四）服務(wù)要求（采購標的需滿足的服務(wù)標準、期限、效率等要求）：1.質(zhì)保期：此項目采購的產(chǎn)品需保證質(zhì)保期不少于3年。2.服務(wù)期限：產(chǎn)品終身維修，質(zhì)保期滿后，仍需提供專業(yè)維修服務(wù)，投標人在投標文件中需注明維修服務(wù)單項報價。3.服務(wù)響應(yīng)時間：接到維修電話后2小時內(nèi)給予明確答復(fù)，24小時內(nèi)到達現(xiàn)場維修。維修人員到現(xiàn)場后若問題特殊無法現(xiàn)場修復(fù)的，供貨方需在48小時內(nèi)給出合理解決方案。4.其他服務(wù)要求：合同簽訂前須交納中標金額5%的履約保證金，設(shè)備到貨安裝、調(diào)試運行正常，驗收合格后一次性付清合同款，一年后無質(zhì)量問題解付履約保證金。（五）采購標的的驗收標準；（可續(xù)行）采購項目最終實施條件下：現(xiàn)場的檢驗指標及方法序號功能或指標驗收或測試方法1真空室有效凈尺寸不低于600×600（直徑×高，單位mm），配備可控轉(zhuǎn)動機構(gòu)、水冷機構(gòu)、循環(huán)水機及空壓機。循環(huán)水機流量4立方/小時，溫度20±5℃，壓力2.5kg/cm2現(xiàn)場測量驗證2工件架配備可用于實驗和中試的涂層公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架1套；配套轉(zhuǎn)架推車1套；兩工位轉(zhuǎn)架存放臺1套現(xiàn)場驗證3真空系統(tǒng)配備獨立可控的分子泵1臺抽速1900升/秒；機械泵2臺抽速200立方米/小時1臺，抽速60立方米/小時1臺；羅茨泵1臺，抽速150升/秒?yún)⒖荚O(shè)備銘牌，現(xiàn)場驗證4陰極弧離子源2套，配備具有永、電調(diào)節(jié)磁場且直徑不小于100mm的陰極弧離子源及其配套電源，最大弧電流200A。參考設(shè)備銘牌，可現(xiàn)場測量驗證5磁約束離子源具有磁過濾功能的彎管弧離子源一套參數(shù)：XY方向正交掃描磁場1套利薩如波形發(fā)生器一臺三組磁約束線圈電流0~5A，電壓0~5V電流0~10A，電壓0~15V電流0~10A，電壓0~20V一組磁聚焦線圈1）電流0~5A，電壓0~5V參考設(shè)備銘牌，可現(xiàn)場測量驗證6磁控濺射離子源磁控濺射離子源2套，尺寸不低于：400×100（長×寬,單位mm），配備獨立直流電源控制參數(shù)：空載電壓：DC800V工藝電壓：DC200~800V電流：DC0~15A工作模式：電流連續(xù)可調(diào)遠控方式：模擬量可遠傳冷卻模式：風(fēng)冷/水冷參考設(shè)備銘牌，結(jié)合電腦顯示可現(xiàn)場測量驗證7刻蝕離子源刻蝕離子源一套，尺寸不低于：400×100（長*寬，單位mm），可實現(xiàn)工件的惰性氣體離子刻蝕參數(shù)：空載電壓：脈沖DC2500V工藝電壓：脈沖DC100~2000V脈沖頻率：≥40KHZ占空比：30％~90％連續(xù)可調(diào)電流：脈沖DC0~5.0A工作模式：電壓連續(xù)可調(diào)遠控方式：模擬量遠傳冷卻模式：風(fēng)冷/水冷參考設(shè)備銘牌，結(jié)合電腦顯示可現(xiàn)場測量驗證8供氣系統(tǒng)配備質(zhì)量流量計獨立控制的氣路四套，精度±5%結(jié)合電腦顯示可現(xiàn)場驗證9加熱系統(tǒng)具備獨立加熱系統(tǒng)，最高400℃，升