標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 43661-2024 表面化學(xué)分析 掃描探針顯微術(shù) 用于二維摻雜物成像等用途的電掃描探針顯微鏡(ESPM,如SSRM和SCM)空間分辨的定義和校準(zhǔn)》這一標(biāo)準(zhǔn)主要針對(duì)的是使用電掃描探針顯微鏡（Electrical Scanning Probe Microscopy, ESPM）進(jìn)行表面化學(xué)分析時(shí)，特別是當(dāng)這些技術(shù)被應(yīng)用于二維摻雜物成像等領(lǐng)域時(shí)的空間分辨率定義及其校準(zhǔn)方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于諸如掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡（Scanning Spreading Resistance Microscopy, SSRM）和掃描電容顯微鏡（Scanning Capacitance Microscopy, SCM）等特定類型的ESPM。

在內(nèi)容上，本標(biāo)準(zhǔn)首先明確了術(shù)語“空間分辨率”的含義，指出了它是衡量ESPM系統(tǒng)能夠區(qū)分兩個(gè)相鄰特征之間最小距離的能力的一個(gè)重要參數(shù)。接著，它詳細(xì)描述了如何通過實(shí)驗(yàn)手段來確定給定ESPM裝置的實(shí)際空間分辨率值，包括但不限于樣品選擇、測(cè)試條件設(shè)定以及數(shù)據(jù)分析方法等方面的要求。此外，還提供了一系列推薦的校準(zhǔn)流程和技術(shù)指南，旨在幫助用戶獲得準(zhǔn)確可靠的測(cè)量結(jié)果，并確保不同實(shí)驗(yàn)室間或同一實(shí)驗(yàn)室不同時(shí)期所得到的數(shù)據(jù)具有良好的可比性和重復(fù)性。

對(duì)于從事材料科學(xué)研究及相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，遵循此標(biāo)準(zhǔn)中的指導(dǎo)原則不僅有助于提高其使用ESPM技術(shù)進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)表征的工作效率與質(zhì)量，同時(shí)也為促進(jìn)國(guó)內(nèi)外同行之間的交流合作奠定了基礎(chǔ)。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2024-03-15 頒布
  • 2024-10-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 43661-2024表面化學(xué)分析掃描探針顯微術(shù)用于二維摻雜物成像等用途的電掃描探針顯微鏡(ESPM,如SSRM和SCM)空間分辨的定義和校準(zhǔn)_第1頁(yè)
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GB/T 43661-2024表面化學(xué)分析掃描探針顯微術(shù)用于二維摻雜物成像等用途的電掃描探針顯微鏡(ESPM,如SSRM和SCM)空間分辨的定義和校準(zhǔn)-免費(fèi)下載試讀頁(yè)

文檔簡(jiǎn)介

ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T43661—2024/ISO130832015

:

表面化學(xué)分析掃描探針顯微術(shù)

用于二維摻雜物成像等用途的

電掃描探針顯微鏡ESPM如SSRM和

(,

SCM空間分辨的定義和校準(zhǔn)

)

Surfacechemicalanalysis—Scanningprobemicroscopy—

Standardsonthedefinitionandcalibrationofspatialresolutionofelectrical

scanninrobemicroscoesESPMssuchasSSRMandSCMfor

gpp()

2D-dopantimagingandotherpurposes

ISO130832015IDT

(:,)

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T43661—2024/ISO130832015

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號(hào)和縮略語

4……………1

基本信息

5…………………2

銳邊法測(cè)量橫向分辨

6SCM……………4

銳邊法測(cè)量空間分辨

7SSRM……………7

附錄資料性分辨測(cè)量示例

A()SCM……………………9

附錄資料性分辨測(cè)量示例

B()SSRM…………………11

參考文獻(xiàn)

……………………13

Ⅰ

GB/T43661—2024/ISO130832015

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用表面化學(xué)分析掃描探針顯微術(shù)用于二維摻雜物成像等用途

ISO13083:2015《

的電掃描探針顯微鏡如和空間分辨的定義和校準(zhǔn)

(ESPM,SSRMSCM)》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)微束標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本文件起草單位中山大學(xué)廣東工業(yè)大學(xué)暨南大學(xué)

:、、。

本文件主要起草人龔力楊慕紫陳瑜張浩謝偉廣謝方艷丁喜冬陳建

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T43661—2024/ISO130832015

:

表面化學(xué)分析掃描探針顯微術(shù)

用于二維摻雜物成像等用途的

電掃描探針顯微鏡ESPM如SSRM和

(,

SCM空間分辨的定義和校準(zhǔn)

)

1范圍

本文件描述了用于測(cè)量掃描電容顯微鏡或掃描擴(kuò)展電阻

(scanningcapacitancemicroscope,SCM)

顯微鏡空間橫向分辨的方法該方法涉及使用銳

(scanningspreadingresistancemicroscope,SSRM)(),

邊的器件這種顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的載流子分布成像和其他電學(xué)特性的測(cè)量

。2。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

表面化學(xué)分析詞匯第部分掃描探針顯微術(shù)術(shù)語

ISO18115-22:(Surfacechemicalanalysis—

Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning-probemicroscopy)

注表面化學(xué)分析詞匯第部分掃描探針顯微術(shù)術(shù)語

:GB/T22461.2—20232:(ISO18115-2:2021,MOD)

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

ISO18115-2。

31

.

電掃描探針顯微術(shù)electricalscanningprobemicroscopyESPM

;

采用導(dǎo)電探針測(cè)量材料電學(xué)特性例如電容電阻電場(chǎng)等的掃描探針顯微術(shù)

(

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