BST薄膜的直接感光法圖形化及其性能研究的開題報告摘要：BST（BaSrTiO3）是一種具有非常高介電常數(shù)、鐵電性和光學(xué)性質(zhì)的陶瓷材料，被廣泛應(yīng)用于電子器件、光學(xué)器件等領(lǐng)域。其中，BST薄膜具有很好的光電性能，可以通過直接感光法制備出具有一定結(jié)構(gòu)特征的圖案，可用于光電器件等領(lǐng)域。本文擬對BST薄膜的直接感光法圖形化及其性能進行研究。關(guān)鍵詞：BST薄膜，直接感光法，圖形化，光電性能一、研究背景和意義隨著納米技術(shù)和微納技術(shù)的發(fā)展，光學(xué)器件和光電器件越來越受到人們的關(guān)注，而高介電常數(shù)、鐵電性和光學(xué)性質(zhì)的陶瓷材料被廣泛應(yīng)用于電子器件、光學(xué)器件等領(lǐng)域。BST（BaSrTiO3）是一種具有這些特性的材料，其應(yīng)用前景非常廣闊。其中，BST薄膜具有很好的光電性能，可以通過直接感光法制備出具有一定結(jié)構(gòu)特征的圖案，可用于光電器件等領(lǐng)域。因此，對BST薄膜的直接感光法圖形化及其性能進行研究具有重要的科學(xué)意義和應(yīng)用價值。二、研究內(nèi)容和方案本研究旨在通過直接感光法制備BST薄膜，并對其進行圖形化和性能研究，具體研究內(nèi)容和方案如下：1.BST薄膜制備采用射頻磁控濺射法在K9玻璃基板上制備BST薄膜，具體工藝條件如下：Feedingtargets:BaO，SrOandTiO2Substratematerial:K9glassSputteringtemperature:700℃Argongaspressure:2.0PaSputteringpower:150W2.直接感光法制備BST薄膜圖案采用直接感光法制備BST薄膜圖案，具體方法如下：（1）BST薄膜表面覆蓋一層UV感光劑。（2）在感光劑表面上，利用光掩膜技術(shù)進行光刻，去除部分感光劑。（3）進行紫外光照射，在未被去除的感光劑表層形成具有一定結(jié)構(gòu)特征的圖案。3.BST薄膜性能測試（1）利用XRD對BST薄膜進行晶體結(jié)構(gòu)分析。（2）采用原子力顯微鏡（AFM）對BST薄膜進行表面形貌和粗糙度分析。（3）在光掩膜上，采用紫外光照射和微波燒結(jié)技術(shù)進行退火，并分析其對BST薄膜性能的影響。4.研究結(jié)果及意義通過研究，本文將獲得如下成果：（1）成功制備出BST薄膜，并通過XRD分析其晶體結(jié)構(gòu)。（2）采用直接感光法制備出了BST薄膜具有一定結(jié)構(gòu)特征的圖案。（3）利用原子力顯微鏡分析了BST薄膜的表面形貌和粗糙度，并對退火對其性能的影響進行了分析。（4）研究結(jié)果表明，BST薄膜具有良好的光電性能，可用于