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非理想效應(yīng)和遷移率變化:GaAs、InP的情形
非理想效應(yīng)
遷移率變化:GaAs、InP的情形（104V/cm)與Si相比，GaAs、InP的特點：存在漂移速度峰值遷移率大存在負微分遷移率區(qū)飽和漂移速度小非理想效應(yīng)
遷移率變化:速度飽和效應(yīng)漏源電流下降
提前飽和飽和漏源電流與柵壓成線性關(guān)系飽和區(qū)跨導(dǎo)與偏壓及溝道長度無關(guān)截止頻率與柵壓無關(guān)非理想效應(yīng)
彈道輸運非彈道輸運MOSFET溝道長度L>0.1μm，大于散射平均自由程；載流子從源到漏運動需經(jīng)過多次散射；載流子運動速度用平均漂移速度表征；彈道輸運MOSFET溝道長度L<0.1μm，小于散射平均自由程；載流子從源到漏運動大部分沒有一次碰撞-彈道輸運；高速器件、納米器件；提高集成度：同樣功能所需芯片面積更小提升功能：同樣面積可實現(xiàn)更多功能降低成本：單管成本降低改善性能：速度加快，單位功耗降低若尺寸縮小30％，則柵延遲減少30％，工作頻率增加43％單位面積的晶體管數(shù)目加倍每次切換所需能量減少65％，節(jié)省功耗50％完全按比例縮小(FullScaling)尺寸與電壓按同樣比例縮小電場強度保持不變最為理想，但難以實現(xiàn)恒壓按比例縮小(FixedVoltageScaling)尺寸按比例縮小，電壓保持不變電場強度隨尺寸的縮小而增加，強場效應(yīng)加重一般化按比例縮小(GeneralScaling)尺寸和電場按不同的比例因子縮小迄今為止的實際做法漏、源區(qū)擴散結(jié)深rj表面空間電荷區(qū)厚度xdTn溝道MOSFET短溝道長溝道n溝道MOSFET窄溝道寬溝道源-體
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