1離子輔助沉積用射頻離子源4產(chǎn)品參數(shù)>3A>200h5.1工作環(huán)境a)環(huán)境溫度：5℃~40℃;b)環(huán)境相對濕度：30%RH～70c)大氣壓力：在86kPa～106kPd)不應(yīng)受到影響使用的震動和強(qiáng)電磁場干e)供電電源：三相208V交流電，交流電壓f)室內(nèi)應(yīng)無腐蝕性氣體，通風(fēng)良好。25.2外觀5.2.1產(chǎn)品應(yīng)外觀整齊、清潔，表面涂、鍍層無明顯剝落、擦傷、露底及污垢。5.2.2外殼應(yīng)平整，放于平臺上不應(yīng)有搖動現(xiàn)象。5.2.3零件結(jié)合處應(yīng)整齊，無毛刺、銳棱和粗糙不平現(xiàn)象，剛性連接部件不得松動。5.2.4儀器可拆卸部分應(yīng)無障礙地拆裝。5.2.5銘牌及標(biāo)志應(yīng)清楚，所有緊固件不得松動，各調(diào)節(jié)器件轉(zhuǎn)動靈活，功能正常。5.3尺寸偏差產(chǎn)品各部件實際尺寸與標(biāo)示尺寸相符，允許偏差為±5%5.4.1產(chǎn)品各部件應(yīng)齊全、完整，產(chǎn)品裝配應(yīng)正確5.4.2產(chǎn)品部件應(yīng)有足夠的強(qiáng)度在正常安裝和使用時不應(yīng)發(fā)生破壞或變形。5.5功率重復(fù)性5.6功率穩(wěn)定性產(chǎn)品在正常工作條件下，泄漏電流應(yīng)不大于擊）抗擾度試驗和電壓暫降、短時中斷和電壓變化抗擾度試驗時滿足5.5、5.6的3············································N——測量次數(shù)；應(yīng)在實際使用現(xiàn)場進(jìn)行，記錄產(chǎn)品自安裝使用開始至首次出現(xiàn)故障的累計工作時間。產(chǎn)品在正常工作條件下，泄漏電流應(yīng)不大于4√√√√√√—√—√ √—√√√8.3.2有下列情況之一時，應(yīng)進(jìn)行型式a)新產(chǎn)品試制定型鑒定；b)轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型鑒定；c)產(chǎn)品正式生產(chǎn)后，結(jié)構(gòu)、材料、工藝有較大改變可能影響產(chǎn)品性能；8.4.1每臺出廠檢驗的產(chǎn)品，各項檢驗項目均為合格時，該臺產(chǎn)品判定為合格。8.4.2型式檢驗的產(chǎn)品各項指標(biāo)與檢驗項目均合格時，該臺產(chǎn)品判定為合格；若出現(xiàn)不合格項目，應(yīng)9標(biāo)志、隨行文件、包裝、運輸和貯存9.1標(biāo)志a)產(chǎn)品型號、產(chǎn)品名稱；a)產(chǎn)品型號、產(chǎn)品名稱；c)包裝箱體積（長×寬×高）mm、毛重和凈重（e)產(chǎn)品