滬蘇浙皖地方計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范上海市市場(chǎng)監(jiān)督管理局江蘇省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布浙江省市場(chǎng)監(jiān)督管理局安徽省市場(chǎng)監(jiān)督管理局JJF(皖）98-2020微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板校準(zhǔn)規(guī)范主要起草單位：上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院參加起草單位：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院JJF(皖）98-2020JJF(皖）98-2020I II 8 9 JJF(皖）98-2020JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001—2011《通用計(jì)量JJF(皖）98-20201微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板校準(zhǔn)規(guī)范GB/T3505—2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語、定義GB/T19067.1—2003產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法測(cè)量標(biāo)GB/T19067.2—2004產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法測(cè)量注：凡是注明日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本規(guī)范。3.2掃描探針顯微鏡（scanningprobemicroscope,S基于探針對(duì)被測(cè)樣品進(jìn)行表面形貌掃描成像的顯微樣品的不同相互作用來探測(cè)待測(cè)樣品表面或界面在納米尺3.3計(jì)量型掃描探針顯微鏡（metrologicalscanningprobemicroscope,MSPM）鏡。比如，沿X、Y、Z坐標(biāo)軸分別裝備校準(zhǔn)位置誤差的激光干涉測(cè)量系統(tǒng)的掃JJF(皖）98-20202圖1重心間距示意圖二維微納米柵格結(jié)構(gòu)，如一維、二維光柵，a.一維線間隔圖2線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板示意圖表1線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板計(jì)量特性技術(shù)要求序號(hào)計(jì)量特性名稱技術(shù)要求1平均線間隔P平均線間隔測(cè)量不確定度：2二維線間隔正交性MPE：±0.05°3線間隔均勻性s注：作為校準(zhǔn)，不判斷合格與否，表1中的計(jì)量特性技術(shù)要求，僅供參考。JJF(皖）98-20203在樣板有效測(cè)量區(qū)域內(nèi)均勻選取多條測(cè)量線，以其一表2校準(zhǔn)環(huán)境條件校準(zhǔn)室內(nèi)的溫度(℃)20±3室溫的變化(℃/h）≤0.5校準(zhǔn)室的相對(duì)濕度RH）校準(zhǔn)室的空氣潔凈度優(yōu)于10萬級(jí)被校準(zhǔn)樣板在室內(nèi)平衡溫度時(shí)間（h）>6表3微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板的校準(zhǔn)項(xiàng)目及相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)器序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)器1平均線間隔P計(jì)量型掃描探針顯微鏡X、Y方向測(cè)量不確定度：2二維線間隔的正交性3線間隔均勻性s使用計(jì)量型掃描探針顯微鏡掃描被測(cè)樣板，掃描4（1）（2）n——選取的刻線個(gè)數(shù).m進(jìn)行二維線間隔正交性測(cè)量時(shí)，在有效測(cè)量區(qū)域采用面掃描或十字垂線的掃5（7）圖3線間隔面掃描測(cè)量形貌圖以測(cè)量區(qū)域中心線為中心測(cè)量線，兩側(cè)分別取5條均勻分布的測(cè)量線，測(cè)量（8）6EQ\*jc3\*hps28\o\al(\s\up2(—),P)校準(zhǔn)后的線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板應(yīng)出具校準(zhǔn)證書，校準(zhǔn)證書的內(nèi)頁格式和信息參見7b）實(shí)驗(yàn)室名稱和地址；h）如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性和應(yīng)用有關(guān)時(shí)，應(yīng)對(duì)抽樣程序進(jìn)行j）本次校準(zhǔn)所用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性及有效性說明；p）未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn)，不得部分復(fù)制證書的聲明。8序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果1樣板線間隔實(shí)測(cè)值：測(cè)量結(jié)果不確定度：2樣板的正交性3樣板的均勻性校準(zhǔn)員：核驗(yàn)員：9線間隔樣板的平均線間隔是通過測(cè)量和計(jì)算后直接得到：P=f(xi)（C-1）P──線間隔的測(cè)量結(jié)果，nm；Xi──測(cè)量后得到的線間隔計(jì)算數(shù)值，nm。（C-2）（C-3）JJF(皖）98-2020表C.1測(cè)量重復(fù)性數(shù)據(jù)表樣板標(biāo)稱值（nm）測(cè)量平均值（nm）測(cè)量次數(shù)平均值的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差（nm）30003000.09X方向100009998.892.8Y方向1000010000.292.4其平均波長(zhǎng)值的最大相對(duì)變化量為4×10-8，平均線間隔測(cè)量中測(cè)量范圍為％，干涉儀測(cè)量微小位移時(shí)的非線性誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影干涉儀非線性誤差的特點(diǎn)通過修正可以將非線性誤差控制儀修正后的殘余非線性誤差在±0.5nm范圍內(nèi)，按均勻分布估計(jì)，其標(biāo)準(zhǔn)不確定P（C-6）在通過實(shí)驗(yàn)確定正交掃描角度后，樣板安放與測(cè)量掃斜角度一般可控制在0.75°內(nèi)。經(jīng)計(jì)算得到測(cè)量3μm和10μm傾斜誤差產(chǎn)生的橫向測(cè)量影響量分別為：0.3nm和1.0nm，按均勻分布處理，包含因子采JJF(皖）98-2020（C-9）C.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度匯總表樣品規(guī)格序號(hào)不確定度來源符號(hào)評(píng)定方法合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度uc3000nm1測(cè)量重復(fù)性u(píng)sA類1.7nm2激光干涉儀X、Y軸軸向運(yùn)動(dòng)誤差ucosB類3干涉儀非線性u(píng)nlB類4正交誤差uαB類5樣品安放uθB類10000nmX方向1測(cè)量重復(fù)性u(píng)sA類2.9nm2激光干涉儀X、Y軸軸向運(yùn)動(dòng)誤差ucosB類3干涉儀非線性u(píng)nlB類4正交誤差uαB類5樣品安放uθB類10000nmY方向1測(cè)量重復(fù)性u(píng)sA類2.5nm2激光干涉儀X、Y軸軸向運(yùn)動(dòng)誤差ucosB類3干涉儀非線性u(píng)nlB類4正交誤差uαB類5樣品安放uθB類JJF(皖）98-2020表C.3標(biāo)準(zhǔn)不確定度匯總表樣板規(guī)格合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度（uc）包含因子（k）擴(kuò)展不確定度（U）3000nm1.7nm23.4nmX方向10000nm2.9nm25.8nmY方向10000nm2.5nm25.0nmJJF(皖）98-2020圖D.1掃描角度確定方法示意圖EQ\*jc3\*hps19\o\al(\s\up7(P),P)EQ\*jc3\*hps16\o\al(\s\up5(1),1)EQ\*jc3\*hps19\o\al(\s\up7(c),s)EQ\*jc3\*hps19\o\al(\s\up7(os),in)EQ\*jc3\*hps19\o\al(\s\up7(α),α)EQ\*jc3\*hps16\o\al(\s\up5(1),1)?EQ\*jc3\*hps16\o\al(\s\up6(P2)